LCD制程

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1、 LCD制程1.、“中小型STN比大型STN好做”，這是必須要先有的概念。2、 整體觀去改9年的STN制程。（TSB4年+CPT83-875年）3、 放下身段，重新去找各制程的Margin是必須的。4. “要有制程能力的評估能力”5、 Index Up(Tact Up)常是最有效的Cost Down。6、 良率論成敗、對策辨英雄量產廠的現實殘酷。7、 時效性不良對策、新品開發、課戶送樣與教育訓練。洗淨 洗淨SPACER撒佈網印絕緣膜塗布加熱處理組合洗淨點燈檢查硬化配向膜塗布洗淨切割固烤貼偏光片灌LC洗淨外觀檢查加壓定向包裝封口洗淨均勻性與穩定性由于nd位相差的關系，STN的面板制程特別注意均勻

2、性。因為必須確保同一面板內之顯示品味一致性。尺寸越大、要求越嚴苛。中小尺寸STN在尺寸上有均勻性之優勢，原因是基板上面取數多，在小面積的情形下，同一面取的不均勻發生就較大尺寸面板數少者重要是穩定性，以求顯示之一致。中小尺寸的底色問題多會因優對均勻性的看法，然而實際上由設計著手的先行預防是無損對中小尺寸STN制程相關的均勻與穩定。准確與精密在量產中，由良率之考量來制定各制程的規格。所以在生產中，如何在既定的制程條件下，有准確的生產方式使產品皆符合所定的規格是重要的。而就產品間的品質一致性而言，必須要能有更精確的生產來達到此目的。不但箭無虛發（Ca）而且要求正中紅心(Cp)，其是對制程能力一基本要

3、求。對SPC都了解的各位，這里不再多做補充。穩定與均勻准確與精密之外，針對中小型STN多品種及面板之特性，要再加上穩定與均勻的考量。穩定與均勻也是補足准確與精密在時間與空間考量。時間的考量是：a. 開發設計時間b. 送樣的時間c. 量產交期d. 不良對策的反應時間空間的考量是：a. 面板狀況在廠內出貨與客戶組裝之差異b. 面板使用場所的設計考量c. 面板展示送樣場所d. 面板自身特性空間考量以上時空的限制是針對穩定及均勻要求的目的。部分項目在AT耐久性及設計特性目標設定時，或許都還檢討不到的。以下并對穩定及均勻的內容再做重點條列。設計的穩定a. 特性設計的穩定AT后的特性變異（衰減率）b. 顯

4、示書面的穩定經時變化的差異c. 特性表示的穩定整體特性的表現設計的均勻a. 特性設計的均勻AT后的特性變異（分布變異）b. 顯示書面的均勻整體視覺評估c. 特性表示的均勻視角變化的特性表現說明：1.視角以對比來定義，其僅含亮度之考量，并無含色度的限制。故于不同視角觀看面板時，并無視角方向考量。2.設計以直面（垂直書面）量測數值為依據，而實際顯示之均勻性及環境考量多無預估，待客戶回覆后才做第一次修正。3.中小尺寸面板之經時穩定性考量在AT項目不明確的狀況下，會演變成（消費者客戶CPT）的反應回饋才改善。其將在時間上有落差的品質劣勢。4.設計觀點到面板制做的結果，只論數值不論整體評價是以往大型ST

5、N無法即時反應客戶真實意見予廠內的主因。前車之監。工程的穩定a. 制程設定的穩定特性設計的對應b. 自工程品質穩定下工程的投入保証c. 設計搭配性穩定制程設計的檢討工程的均勻a. 自工程品質均勻整體特性的表現b. 設計搭配性均勻經時變化的差異c. 特性表示的均勻配合面板特性表現均勻說明：1. 送樣制程的可靠度不佳。送樣品OK之制程黑心至量產時，良率多發生問題，其表于最初之試投品參數找尋有問題。徹底檢討必要。2. 中小尺寸之機動性生產性強，新品開發量產必須建立規范。時效競爭，Route遵循為一有效率之計。有別于設計Rule的制程規范是要從制程SPC統計圖的回饋建立的3. Data Base之建立

6、從必須由量產結果再做回饋修正。不做回饋及再現騅的Data Base是沒有插安全梢的手榴彈。4. 單一制程的自工程保障已証實不足以保障全觀念，若不加入實際之面板目視檢視，只論規格，將有“卦萬漏一”之可能偏失。理由是規格部分無法全部滿足實際面板評價所需！生產的穩定a. 生產技能的穩定生產設計的對應b. 制程搭配性穩定制程設計的檢討c. 設計搭配性穩定特性設計的檢討生產的均勻a. 生產技能的均勻顯示均勻性要求b. 自工程品質均勻上下工程的配合考量c. 特性表示的均勻制程與設計的總檢討說明：1. 面板作業性多的生產方式是制程中最大變因。“生產設計”是要設計出不容易變動的作業方式，保持高同質性。例如基板

7、堆疊的數量，基板、面板拿取的順序等。“制程設計”是要設計出可容許作業性變動的參數設定。例如加熱時間、加壓時間延長的考量等。“特性設計”是要在設計初的特性考量區間做作業性可容許的評價考量。此部分是較困難但會是最有用的方法。例如面板數的Layout檢討及Spacer搭配來克服Gap不均等。2. 生產技能的檢討必要 作業方式的檢討在大型STN轉至中小型STN之作業方式變動檢討性必須經過檢核。產品之穩定性、均勻性在作業方式的對應評估中要有實際的檢証。 例如Ca值的指標定期回饋，洗淨制程考量等同效不同作業方式、作業Flow的比較等。穩定、准確且均勻所有制程的要求原則其實很簡單，就是要穩定、准確且均勻。穩

8、定所求為在任何外在的干擾變動下仍能維持流品前后之特性相差無几。當然在其初，由設計上就可以先下功夫來著手考量，一般聽到的爭議與藉口來埋怨設計即是因此。（Cp）准確當然是維持品質一致的要求。在各條件確認后，一般是認為比較多的成份是應該要生產同仁來負責的部份。在設計與工程急診的過程中，是不能穩定或是不能更准確是兩方在實際與理論天秤上的晃動。大多為設計與生產之責任明分辨。而生產單位多又會先反應工程師關與設備設定的適正性，工程師多會再做一次判定，所以到頭來會是由（生產設計）的爭議演變到（工程設施）（工程生產）的糾葛。（Ca）均勻性其實就是整體的特性品質的一致性評估。這時的羔羊變成生產單位了，不論其是代罪

9、的亦或是沉默的。因為不論設備自動化程度多高，在治具的管理與設備的精度方面是第一個會讓人懷疑、要求驗証的。而當成品的精度是um級的時候，許多的驗証與瞎子摸象差不了多少，法官在判決的時候就只是自由心証而不是物証了。但這里要提出的觀念是由制程來配合設計及生產的部份。絕緣膜透明電極基板 內塗層配向膜spacer 面板結構設計是產品的源頭，而生產則是實現設計的手段，連系其間的則是制程。要能使設計無后顧之憂，生產有既定准則，制程就必須提供穩定、准確且均勻的設備及材料品質。就量產而言，其是達成其目標的Drive Force，往前推至設計，往后推至制程出來的作業手順。制程與設計、生產的關系當然互相牽連，然而在

10、中上尺寸的開發以及現人工作業仍多的情形下，制程主導的成分要少些，配合設計、生產的准備要多一點，其實配合即是最困難的。必須有超高功力才能受得起設計、生產的各種挑戰。靈敏與遲鈍要有機動性來接受中小STN的訂單、送樣要求，必須應用靈敏與遲鈍的手段與設計、工程及生產三方面。設計的靈敏設計的遲鈍工程的靈敏工程的遲鈍生產的靈敏生產的遲鈍 LCD製造工程別的技術課題面板製造工程主要技術課題配向處理工程配向膜塗布 塗布水平的自動迅速測定檢查手法 印刷版，roller的自動洗淨手法定向處理 塗布裝置的防止發塵，卸板時的發塵對策 定向水平的monitor檢知，反饋制程管理 定向時的靜電和發塵對策基板組合面板切割工

11、程SPACER撒布 撒佈均勻度的測定檢查裝置的制程管理 從濕式撒佈法到乾式撒佈法的轉換網印 網印塗佈的高速化高精細化 塗布裝置的防止發塵組合 提高組合的精度（1m）CELL硬化 紫外綫硬化性無溶劑 CELL硬化時間的縮短切割 自動化合理化生産線的切割制程管理 玻璃粉末的發塵防止，面板損傷防止LC注入封口工程LC注入 自動化合理化生産線的注入制程管理 LC的使用效率，污染的防止對策封口 自動化合理化生産線的封口制程管理 封口加壓的管理CELL GAP精密度的控制面板檢查貼偏光片工程面板檢查 全自動外觀 點燈檢查裝置貼偏光片 偏光片自動清潔機構的同步化 貼片裝置的發塵防止設計的靈敏與遲鈍1. 客戶

12、Vop符合之更動靈敏參數，除液晶外者為何？其必須與顏色相對反為遲鈍者為佳。換過來說，設計參數對顏色靈敏者，希其與Vop之間系遲鈍。（在Data Bank資料整理中之分析應包含此部分）2. 對比現Vop決定及顏色規格之綜合相關，在目視與實測數值的敏感分界值應該求出，其敏感區外的遲鈍區即應是設計所應著力點，前推PEP其Pattern間之Spacer是否真越小面板特性越佳？（最佳設計限制？）現有日本之面板并非實測光電特性數值皆佳，多僅是目視效果不錯。3. 其他各特性相關之參數關系亦是找其對何特性表示靈敏？何特性表示遲鈍？多樣整理在回饋調整時，牽一發動全身的情況減到最小，反而要像操控傀儡木偶一樣，精准

13、動作。4. 設計參數的靈敏與遲鈍多會復合一些光電特性，單一的關系恐不存在，在找尋結果的整理不得不考量復合的統計。雖然在設計參數中的靈敏與遲鈍之單一特性關系騅以明確界定，但有其資料可為參考時，其調整是最具威力的。工程的靈敏與遲鈍1. Cell Gap相關的靈敏度是重要的一個項目，在此已不用再多做說明。然而在所有的Cell制程中，或多或少會與Gap牽連。 故在此的問題反是如何規划各工程的比較。或許由長期經驗的現場記錄數值統計即可整理分析出細節的趨勢。2. 工程參數實應分為兩項：一是設備設定，一是材料特性。設備部分應有順序性的確認： a. 設備可調整之部分 b. 設備可調整部之數值可顯示部分兩者對工程中之影響重要性。其中a部分容易遺漏。材料部分是對其規格上下限之影響做必要之評估，將其影響性降至最遲鈍區，有時會需要工程設定的搭配。3. 工程的單一目的相當明確，對各特性相關的靈敏與遲鈍性亦是如此，但又回到原始的問題特性與特性間相互的關系為何，會又間接使各工程間的牽連發生。然而在程度上，仍可區分出靈敏與遲鈍的等級。 在設計參數底定或對策無法由設計參數對策時，工程參數的運用就變成排行第一的手段。在實際問題上，恐怕大多數仍將由工程對策來解決會有效、快速得多。生產的靈敏與遲鈍1. 基本上人工作業方式的變化最難掌握，差異很容易會過大，故能將所有作業方式統一，并使之影響遲鈍化是最佳的做法。