大宗气体特气系统介绍剖析

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1、TRAINING FOR GAS,2011.5.18,Section 1,气体的类型,Section 2,气体供应方式,Section 3,气体设备,Section 4,尾气处理,Section 5,控制系统,Content,Section 6,大众气体输送系统,Section 7,压缩空气(CDA),气体类型,1,按照气体的使用量分类: (1),大宗气体: (2),特殊气体: 2,按照气体的性质分类: (1),惰性性气体 (2),助燃性气体 (3),易燃性气体 (4),腐蚀性气体 (5),氧化性气体,气体类型,3,按照气体的纯度分类: (1),一般气体: (2),高纯气体: 4,按照气体常温

2、条件下的状态分类: (1),气态气体 (2),液态气体 (3),高压气体 (4),低压气体,1: On-site gas generator supply: CDA,GN2,O2 现场制造气体 2: Bundle supply: H2,He 集装格供应气体 3: Lorry tank supply: Ar,O2 液体槽车供应气体 4: Gas cylinder supply: Special Gas 钢瓶供应气体,气体供应方式,流量计,Tank Lorry,N2 Plant,液态气体储罐,Purity Gas,General Gas,Outside Of Building,Inside Of

3、Building,过滤器 0.02m, 0.01m,无尘室,气体纯化器,过滤器 (0.05m),过滤器 (0.1m),调压器,气化器r,气体供应方式,气体输送系统,特殊气体系统,气体输送系统,特殊气体系统-流程图,特殊气体集中输送系统(BSGS),气体输送系统,气瓶柜,安全设计 (外壳) 不锈钢 316L VIM/VAR 选用材料符合特殊气体需要 100% 内表面电子抛光 无颗粒 泄漏率: 1 x 10 10 Atm-cc/sec (He) PLC 控制 & 触摸瓶 操作 和 维护方便 全自动循环工艺 自动工艺钢瓶切换 安全选项 & 联动装置 显示器 : EL Mono or TFT Colo

4、r,气瓶柜 流程图,Gas Cabinet Flow Diagram,A : PROCESS B : PURGE N2 C : GENERAL N2 D : LEAK CHECK He E : EXHAUST,气体分流箱(VMB),在不用停止供气的条件下增加使用点 降通过减少气瓶柜的数量来降低费用 系统和安全选项类似于气瓶柜 设计简洁 1 X 8 输送,VMB P&ID, : Process In : Process Out : Process Out : Process Out : Process Out : Process Out : Process Out : Process Out :

5、 Process Out : Purge N2 In : Gas In,气体输送系统, BSGS (特殊气体集中输送系统) 防止更换钢瓶时,钢瓶接头咬死 持久保持高洁净度: 减小钢瓶内杂质结合的几率. 降低频繁更换钢瓶所涉及的人员成本及项目管理成本. 连续不间断供气 降低污染, 减少维护费用 减少气瓶柜数量以降低成本. 简化二次配管工作 供应量: 0300 slpm 二次降压: 0150 psig 5psig 系统和安全选项类似于气瓶柜,气体输送系统,尾气处理,Safety Design & System Designed with Anti-corrosion Material Easy O

6、peration and Maintenance Low Running Cost High Efficiency PLC Controller & Touch Panel Full Auto Cycle Process Safety Option & Interlocks Applicable Monitoring System Dry Scrubber Thermal Wet Scrubber Plasma Type POU Scrubber,Controller of Gas and Chemical Supply System,Free Volt Main Power PLC Proc

7、ess Touch Panel Operation Display : EL Mono or TFT Color COM : RS-232C 422, 485, Data Highway Box Size W796 x D330 x H315,Monitoring System,GMS Concept Flow,Monitoring System,GMS,大众气体,定义:在空气中可以提取的气体,如氮气,氧气,氩气,氦气等. 储藏方式:低温储罐,高压钢瓶,低温气体,低温液体 在常压下一般沸点低于-180 例如 液氧 (-182.9) 液氩 (-185.7) 液氮 (-195.8) 液氦 (-26

8、8.9),低温储罐,储罐和槽车,大众气体输送系统,钢瓶内气体,(1)压缩气体 临界温度低于-10的气体,经加高压压缩,仍处于气态者称压缩气体,如氧、氮、氢、空气、氩、氮等。这类气体钢瓶若设计压力大于或等于12MPa(125kg/cm2)称高压气瓶。 (2)液化气体 临界温度10的气体,经加高压压缩,转为液态并与其蒸气处于平衡状态者称为液化气体。 (3)溶解气体 单纯加高压压缩,可产生分解、爆炸等危险性的气体,必须在加高压的同时,将其溶解于适当溶剂,并由多孔性固体物充盛。在15以下压力达0.2MPa以上,称为溶解气体(或称气体溶液),,高压钢瓶,大众气体输送系统-气瓶架,大众气体输送系统-气体汇流排,压缩空气(Compress Dryer Air),压缩空气(CDA)是指经空气压缩机压缩后,经干燥,压力高于大气压的空气. 压缩空气是一种能源,是一种由电能转化而来的能源。作为用来开动机具和阀门的主要能源,它易于控制,使用方便,能灵巧精确地完成动作,有缓冲作用,而且不发热、没有污染。,空气压缩机及辅助设备,空气压缩机,冷冻式干燥机,过滤器,储罐,空压机站内流程图,

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