《pecvd桨的位置设定剖析》由会员分享，可在线阅读，更多相关《pecvd桨的位置设定剖析（25页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、PECVD桨位置设定,培训要点,桨的运动分类 桨的水平位置的设定 桨的垂直位置的设定 桨开炉门时的位置的设定,桨,桨运动分类,桨由碳化硅材料制成，具有耐高温等性能。作用是将石墨舟放入或取出石英管。 桨运动可分为： 1、EFM水平运动; 2、SLS垂直运动.,桨的水平位置的设定,步骤1、 进入CEASAR界面，如下图。,图5,步骤2、点击Mannual 出现下图的状态（进入人工操作状态），如下图。,桨的水平位置的设定,步骤3、点击Boat出现下图状态（进入对桨的位置设定的状态），如下图。,步骤4、点击position出现下图状态（进入对桨的水平位置设定的状态），如下图。,步骤5、点击setpoi
2、nt出现下图状态（进入对桨的水平位置值得设定状态）,如下图。 minimum=0mm、maximum=2082mm、default（默认值）=0 mm.,2 桨的垂直位置 桨的垂直位置可分为上位和下位（作用是将舟在炉管托起和放下的作用）,PECVD桨的垂直位置的设定,桨的上下位设置,步骤1、 进入CEASAR界面，如下图,步骤2、点击Mannual 出现下图的状态（进入人工操作状态），如下图,图15,步骤3、点击Boat出现下图状态（进入对桨的位置设定的状态），如下图,步骤4、点击SLS出现下图的状态（进入对桨的上下位设定）,图16,步骤5、点击setpoint出现图下的状态（进入对桨的上下位
3、值的设定）,图17,步骤6、点击GoUp出现下图的状态（进入桨的上位设定）,图18,点击GoDown出现下图状态(进入对桨的下位设定）,图19,PECVD开炉门桨的位置设定,步骤1、 进入CEASAR界面，如下图,步骤2、点击Mannual 出现下图的状态（进入人工操作状态），如下图,步骤3、点击Boat出现下图状态（进入对桨的位置设定的状态），如下图,步骤4、点击position出现下图状态（进入对桨的水平位置设定的状态），如下图,步骤5、点击setpoint出现下图状态（进入对桨的水平位置值得设定状态）。,步骤6、输入22 出现下图的状态（进入开炉门时桨的位置的设定）,开炉门时的状态,THANK YOU,
