【2017年整理】多晶硅铸锭切片用水工艺的介绍说明

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1、技术资料由北京水处理公司提供多晶硅铸锭切片用水工艺的介绍说明根据生长方法的不同,多晶硅可分为等轴晶、柱状晶。通常在热过冷及自由凝固的情况下会形成等轴晶,其特点是晶粒细,机械物理性能各向同性。如果在凝固过程中控制液固界面的温度梯度,形成单方向热流,实行可控的定向凝固,则可形成物理机械性能各向异性的多晶柱状晶,太阳能电池多晶硅锭就是采用这种定向凝固的方法生产的。在实际生产中,太阳能电池多晶硅锭的定向凝固生长方法主要有浇铸法、热交换法(HEM)、布里曼(Bridgeman)法、电磁铸锭法,其中热交换法与布里曼法通常结合在一起。热交换法及布里曼法都是把熔化及凝固置于同一坩埚中( 避免了二次污染),其中

2、热交换法是将硅料在坩埚中熔化后,在坩埚底部通冷却水或冷气体,在底部进行热量交换,形成温度梯度,促使晶体定向生长。布里曼法则是在硅料熔化后,将坩埚或加热元件移动使结晶好的晶体离开加热区,而液硅仍然处于加热区,这样在结晶过程中液固界面形成比较稳定的温度梯度,有利于晶体的生长。其特点是液相温度梯度 dT/dX 接近常数,生长速度受工作台下移速度及冷却水流量控制趋近于常数,生长速度可以调节。工艺特点工作台通冷却水,上置一个热开关,坩埚则位于热开关上。硅料熔融时,热开关关闭,结晶时打开,将坩埚底部的热量通过工作台内的冷却水带走,形成温度梯度。同时坩埚工作台缓慢下降,使凝固好的硅锭离开加热区,维持固液界面

3、有一个比较稳定的温度梯度,在这个过程中,要求工作台下降非常平稳,以保证获得平面前沿定向凝固。多晶硅生产用水传统工艺流程技术资料由北京水处理公司提供预处理系统-反渗透系统-粗混床-精混床-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(18M.CM)预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象 (15M.CM)预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精密过滤器-用水对象 (5M.CM)多晶硅生产用水新型工艺流程预处理-反渗透-EDI 装置-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(18M.CM)预处理-一级反渗透-二级反渗透-EDI 装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(15M.CM)预处理-反渗透-EDI 装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(5M.CM)多晶硅生产纯水设备特点多晶硅生产纯水设备在工艺设计上,取达到国家自来水标准的水为源水,再设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO 反渗透主机系统、离子交换混床系统(EDI 电除盐系统)等。

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