单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,1、所需化学药剂及辅助材料：,1.1氢氟酸,1.2硝酸,1.3盐酸,1.4冰醋酸：,纯乙酸在16.6以下时能结成冰状的固体，所以常称为,冰醋,，乙酸是规定的一种酸度调节剂酸 洗,1.5氨水,1.6漏斗,1.7量杯,1.8花篮,1.9搅拌棍,1.10冲洗槽,酸 洗,酸 洗,2、使用的劳保防护用品：,2.1防酸服,2.2防酸雨鞋,2.3防酸围裙,2.4口罩,2.5防酸面罩,2.6防酸手套,酸 洗,3、准备工作：,3.1检查劳保防护用品是否穿戴规范3.2检查通风效果是否良好酸 洗,4、操作步骤：,4.1当班负责人根据物料的不同性质安排相应的生产工艺4.2当硅料装入酸洗花篮中，装料时注意轻拿轻放容量不得超过该花篮高度的三分之一4.3根据各种原料配置不同比例的酸清洗时应注意勤搅拌，若有大量黄烟说明氢氟酸比例过高，此时应加入硝酸或在通风口处加氨水待硅料与酸反应不大时应及时换酸回收的废酸不得超过该桶的三分之二，且桶盖不可拧的太紧，一般二圈半到三圈，再标示该酸的名称以备再使用酸 洗,酸 洗,4.4用清水冲洗硅料上残留的酸防止硅料中有酸残留与碱起反应，转交给碱煮环节。
4.5碱煮过后的硅料必须用5%的氢氟酸加高纯水浸泡3分钟以上，冲洗干净后再进入烘房4.6清洗多晶硅时如有U型料，必须将U型部位敲开后作业，因为U型部一般含有石墨酸 洗,5、注意事项：,5.1不得擅自更改清洗工艺或盲目生产5.2所有原料在清洗过程中不得赤手接触5.3水龙头以要用即开，不用即关为原则，杜绝浪费现象烘 房 作 业,1、使用工具及设备：,1.1烘箱,1.2超声波,1.3电导率测试仪,1.4花篮,1.5烘车,1.6水池,1.7锦纶网布,烘 房 作 业,2、使用防护用品：,2.1无尘服,2.2无尘帽,2.3防酸雨鞋,2.4口罩,2.5防酸手套,烘 房 作 业,3、准备工作：,3.1检查洁净服，手套，雨鞋，口罩是否穿戴整齐，头发是否暴露3.2检查超声波及烘箱的电源是否正常，设备性能是否有异常情况3.3检查酸洗入烘房的硅料中是否有酸碱残留并起冲洗干净烘 房 作 业,4、操作步骤：,4.1对交接班的产品批次、性质、超声时间进行了解4.2超声波放入三分之二的高纯水并铺上网布4.3将硅料倒入超声波、超声，每台超声波小料不得超过7kg，大料不得超过15kg,4.4启动超声波电源调节所需要的时间。
烘 房 作 业,4.5每隔十分钟搅拌一次，30分钟换一次水4.6关闭超声波用高纯水冲洗，硅料连过四个冲水池4.7脱水两分钟，待脱水机不在转动时，取出硅料放在花篮上铺开，装烘车推进烘箱烘 房 作 业,4.8启动烘箱，设定时间，根据料不同所设定不同的时间4.9待到达预设的时间后，戴上PVC手套、尼龙手套检查硅料是否烘干，主要表现为没有成团与叠片现象4.10戴上防烫手套拉出烘车关闭电源4.11等硅料冷却后装入干净周转箱，填写制程流转卡，并称出流出料的实际重量烘 房 作 业,5注意事项：,5.1清洗过程中，不能赤手接触产品，对正在超声的产品要勤搅拌5.2产品装入烘车时由上往下装，卸车时由下往上卸，避免铁锈掉入硅料中5.3保证周装箱的清洁度对于较大的块料，必须轻拿轻放，不得直接倒入箱中5.4烘箱出料时，必须用耐高温操作以防烫伤，严禁用棉质防护用品与硅料接触无 尘 分 选,1、作业使用的工具：,1.1竹镊子,1.2分选盒,无 尘 分 选,2、使用的劳保用品：,2.1无尘服,2.2无尘帽,2.3无尘鞋,2.4口罩,2.5手套,无 尘 分 选,3、作业前准备工作：,3.1检查劳保用品是否穿戴规范3.2检查洁净房进出口设备是否正常，防止紧急出口的堵塞。
进洁净房时必须经风淋十五秒左右3.3检查洁净房各处电源开关是否正常，电子称、封包机等各种生产工具性能是否正常无 尘 分 选,4、操作步骤：,4.1从烘房口交接产品，并由当班负责人检查产品是否有异常，如有异常情况，需填写“腐蚀车间不良品跟踪表”交至酸洗当班班长处理4.2由组长将货分发给线上员工，根据产品性质的不同挑出不良品及垃圾，分选时必须严格把好质量关，杜绝任何含杂质或氧化、蓝/白雾、水印等因酸洗不到位的不良品转入下道工序无 尘 分 选,4.3将分选出的不合格品再交至酸洗工序重新作业，合格的产品由品检处进行检查4.4经品检后的合格品按相应的重量用无尘袋进行包装，然后用封包机封口存放并在无尘袋上贴上标签注明相应的品名、批号和总量品质部抽检：,主要是对电阻率进出抽检，如果有强电流的要进行剔除,无 尘 分 选,5、注意事项：,5.1穿戴无尘劳保用品时，头发不允许外露、戴三层手套，由内到外顺序依次是一次性尼绒手套、一次性皮手套、棉手套5.2净化设备必须定期检修，确保车间内作业温度适宜，如出现呼吸困难等异常现象，立即撤离现场至安全区无 尘 分 选,5.3分选作业时，严禁作业人员赤手接触免洗料、严禁不戴口罩近距离对硅料部讲话，以防止硅料中沾有唾液、头发、油脂污染，从而确保免洗料的质量。
5.4打包作业时，操作现场物品需严格区分，以防止笔套、钥匙、竹镊子、标签等非硅料物品混入产品中单晶装料,石墨坩埚放在炉内，石英坩埚放在石墨坩埚内，石英坩埚是盛放硅料的容器，一定要注意干净，用时要检验是否干净，里面是否有气泡单晶装料,1、作业目的：,为更防止原料在操作过程中玷污，规范员工在装料时使用正确的操作方法，避免因不规范操作影响原料的品质2、作定范围：,适用于单晶车间装料作业单晶装料,3、作业内容：,3.1、领取原料时保证包装表面干净整洁、无损伤，如果包装袋表面灰尘太多，必须清洁后再领取（防止表面灰尘在装料时掉落在坩埚内）3.2、把备好的硅料及石英坩埚放在操作平台上，穿上装料工作服、戴好口罩、无尘帽及PVC手套（防止上身除了脸部之外的其他部位外露，戴好装料手套后只允许碰内包装袋、石英坩埚及原料）单晶装料,3.3、打开真空包装取出石英坩埚，检查有无异物，并对光检查石英坩埚有无气泡、黑点、裂纹，如有直径大于2的气泡拒绝使用确认无误后轻轻放入三瓣埚内，放平，高出三瓣埚内要抣匀，确认后放置保温盖及装料护板（防止衣袖与保温盖摩擦）单晶装料,3.4、取碎料35kg平铺于埚底，大块料放置边上，为了稳固可放一些小块料。
中等块的料放置中间，将剩下的小块料放入，尽量填满缝隙最后整理上部硅料，高出石英坩埚的要向内倾斜（禁止使用金属物品和放在地板上敲料）单晶装料,3.5、装料完毕后，用吸尘器吸尽装料时掉落在护板上的硅粉，然后取出护板，将三瓣埚降至化料位置（化料埚位：平口下0110，不可低于110），放置好保温盖和导流筒，并保证原料不接触导流筒3.6、将经过腐蚀后，干净的籽晶安装在夹头上，注意将籽晶位置摆正用沾有酒精的无尘纸将炉筒密封面接合部污物除去，检查无误后合上炉盖和上炉筒。