第7章-磁电式传感器

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1、第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器7.1磁电感应式传感器磁电感应式传感器7.2霍尔式传感器霍尔式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器返回主目录第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器7.1磁电感应式传感器磁电感应式传感器磁电感应式传感器又称磁电式传感器, 是利用电磁感应原理将被测量（如振动、位移、转速等）转换成电信号的一种传感器。 它不需要辅助电源就能把被测对象的机械量转换成易于测量的电信号, 是有源传感器。由于它输出功率大且性能稳定, 具有一定的工作带宽（101000 Hz）, 所以得到普遍应用。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 一、一、 磁电感

2、应式传感器工作原理磁电感应式传感器工作原理根据电磁感应定律, 当w匝线圈在恒定磁场内运动时, 设穿过线圈的磁通为, 则线圈内的感应电势E与磁通变化率d/dt有如下关系: E-w (7 - 1) 根据这一原理, 可以设计成两种磁电传感器结构: 变磁通式和恒磁通式。 图7 - 1是变磁通式磁电传感器, 用来测量旋转物体的角速度。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 图7 - 1（a）为开磁路变磁通式: 线圈、 磁铁静止不动, 测量齿轮安装在被测旋转体上, 随之一起转动。每转动一个齿, 齿的凹凸引起磁路磁阻变化一次, 磁通也就变化一次, 线圈中产生感应电势,其变化频率等于被测转速与测量齿轮齿数的乘

3、积。这种传感器结构简单, 但输出信号较小, 且因高速轴上加装齿轮较危险而不宜测量高转速。 图7 - 1(b)为闭磁路变磁通式, 它由装在转轴上的内齿轮和外齿轮、永久磁铁和感应线圈组成, 内外齿轮齿数相同。 当转轴连接到被测转轴上时, 外齿轮不动, 内齿轮随被测轴而转动, 内、外齿轮的相对转动使气隙磁阻产生周期性变化, 从而引起磁路中磁通的变化,使线圈内产生周期性变化的感生电动势。显然，感应电势的频率与被测转速成正比。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 图 7 - 2 为恒磁通式磁电传感器典型结构， 它由永久磁铁、线圈、弹簧、金属骨架等组成。 磁路系统产生

4、恒定的直流磁场, 磁路中的工作气隙固定不变, 因而气隙中磁通也是恒定不变的。其运动部件可以是线圈（动圈式）, 也可以是磁铁（动铁式）, 动圈式（图7 - 2（a）和动铁式（图7 - 2(b)）的工作原理是完全相同的。 当壳体随被测振动体一起振动时, 由于弹簧较软, 运动部件质量相对较大。当振动频率足够高（远大于传感器固有频率）时, 运动部件惯性很大, 来不及随振动体一起振动, 近乎静止不动, 振动能量几乎全被弹簧吸收, 永久磁铁与线圈之间的相对运动速度接近于振动体振动速度, 磁铁与线圈的相对运动切割磁力线, 从而产生感应电势为 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式

5、传感器 E=-B0Lwv (7 - 2) 式中: B0 工作气隙磁感应强度; L每匝线圈平均长度; W线圈在工作气隙磁场中的匝数; v相对运动速度。 二、二、 磁电感应式传感器基本特性磁电感应式传感器基本特性 当测量电路接入磁电传感器电路中, 磁电传感器的输出电流Io为 Io= （7 - 3）式中: Rf测量电路输入电阻; R 线圈等效电阻。第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器传感器的电流灵敏度为 SI= (7 - 4)而传感器的输出电压和电压灵敏度分别为 (7 - 5) (7 - 6) 当传感器的工作温度发生变化或受到外界磁场干扰、 机械振动或冲击时, 其灵敏度将发生变化而产生测量误差。 相

6、对误差为第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 1. 非线性误差非线性误差 磁电式传感器产生非线性误差的主要原因是: 由于传感器线圈内有电流I流过时, 将产生一定的交变磁通I, 此交变磁通叠加在永久磁铁所产生的工作磁通上, 使恒定的气隙磁通变化如图7 - 3所示。 当传感器线圈相对于永久磁铁磁场的运动速度增大时, 将产生较大的感生电势E和较大的电流I, 由此而产生的附加磁场方向与原工作磁场方向相反, 减弱了工作磁场的作用, 从而使得传感器的灵敏度随着被测速度的增大而降低。第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 当线圈的运动速度与图7 - 3所示方向相反时, 感生电势E、 线圈感应电流反向, 所产生

7、的附加磁场方向与工作磁场同向, 从而增大了传感器的灵敏度。其结果是线圈运动速度方向不同时, 传感器的灵敏度具有不同的数值, 使传感器输出基波能量降低, 谐波能量增加。即这种非线性特性同时伴随着传感器输出的谐波失真。显然，传感器灵敏度越高, 线圈中电流越大, 这种非线性越严重。 为补偿上述附加磁场干扰, 可在传感器中加入补偿线圈, 如图7 - 2（a）所示。 补偿线圈通以经放大K倍的电流, 适当选择补偿线圈参数, 可使其产生的交变磁通与传感线圈本身所产生的交变磁通互相抵消, 从而达到补偿的目的。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 2. 温度误差温度误差 当

8、温度变化时, 式（7 -7）中右边三项都不为零, 对铜线而言每摄氏度变化量为dL/L0.16710-4, dR/R0.4310-2 , dB/B每摄氏度的变化量取决于永久磁铁的磁性材料。对铝镍钴永久磁合金, dB/B-0.0210-2, 这样由式(7 - 7)可得近似值: t(-4.5%)/10 (7 - 8) 这一数值是很可观的, 所以需要进行温度补偿。 补偿通常采用热磁分流器。热磁分流器由具有很大负温度系数的特殊磁性材料做成。它在正常工作温度下已将空气隙磁通分路掉一小部分。当温度升高时, 热磁分流器的磁导率显著下降, 经它分流掉的磁通占总磁通的比例较正常工作温度下显著降低, 从而保持空气隙

9、的工作磁通不随温度变化, 维持传感器灵敏度为常数。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 三、三、 磁电感应式传感器的测量电路磁电感应式传感器的测量电路 磁电式传感器直接输出感应电势, 且传感器通常具有较高的灵敏度, 所以一般不需要高增益放大器。但磁电式传感器是速度传感器, 若要获取被测位移或加速度信号, 则需要配用积分或微分电路。 图 7 - 4 为一般测量电路方框图 四、四、 磁电感应式传感器的应用磁电感应式传感器的应用 1. 动圈式振动速度传感器动圈式振动速度传感器 图 7 - 5 是动圈式振动速度传感器结构示意图。 其结构主要由钢制圆形外壳制成, 里面用铝支架将圆柱形永久磁铁与外壳固定

10、成一体, 永久磁铁中间有一小孔, 穿过小孔的芯轴两端架起线圈和阻尼环, 芯轴两端通过圆形膜片支撑架空且与外壳相连。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 工作时, 传感器与被测物体刚性连接, 当物体振动时, 传感器外壳和永久磁铁随之振动, 而架空的芯轴、线圈和阻尼环因惯性而不随之振动。 因而, 磁路空气隙中的线圈切割磁力线而产生正比于振动速度的感应电动势, 线圈的输出通过引线输出到测量电路。 该传感器测量的是振动速度参数, 若在测量电路中接入积分电路, 则输出电势与位移成正比; 若在测量电路中接入微分电路, 则其输出与加速

11、度成正比。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 2. 磁电式扭矩传感器磁电式扭矩传感器 图 7 - 6 是磁电式扭矩传感器的工作原理图。 在驱动源和负载之间的扭转轴的两侧安装有齿形圆盘, 它们旁边装有相应的两个磁电传感器。磁电传感器的结构见图7 - 7所示。 传感器的检测元件部分由永久磁场、感应线圈和铁芯组成。 永久磁铁产生的磁力线与齿形圆盘交链。当齿形圆盘旋转时, 圆盘齿凸凹引起磁路气隙的变化, 于是磁通量也发生变化, 在线圈中感应出交流电压, 其频率等于圆盘上齿数与转数乘积。 当扭矩作用在扭转轴上时, 两个磁电传感器输出的感应电压u1和u2存在相位差。这个相位差与扭转轴的扭转角成正比。

12、这样传感器就可以把扭矩引起的扭转角转换成相位差的电信号。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器7.2 霍尔式传感器霍尔式传感器 霍尔传感器是基于霍尔效应的一种传感器。1879年美国物理学家霍尔首先在金属材料中发现了霍尔效应, 但由于金属材料的霍尔效应太弱而没有得到应用。随着半导体技术的发展, 开始用半导体材料制成霍尔元件, 由于它的霍尔效应显著而得到应用和发展。 霍尔传感器广泛用于电磁测量、压力、加速度、振动等方面的测量。 一、一、 霍尔效应及霍尔元件霍尔效应及霍尔元件 1. 霍尔效应霍尔效应 置于磁场中的静止载流导体,

13、当它的电流方向与磁场方向不一致时, 载流导体上平行于电流和磁场方向上的两个面之间产生电动势, 这种现象称霍尔效应。该电势称霍尔电势。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 图 7 - 8 所示, 在垂直于外磁场B的方向上放置一导电板, 导电板通以电流I, 方向如图所示。导电板中的电流是金属中自由电子在电场作用下的定向运动。此时, 每个电子受洛仑磁力fm的作用，fm大小为 fm =eBv （ 7 - 9）式中: e电子电荷; v电子运动平均速度; B磁场的磁感应强度。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 fm的方向在图 7 - 8 中是向上的, 此时电子除了

14、沿电流反方向作定向运动外, 还在fm的作用下向上漂移, 结果使金属导电板上底面积累电子, 而下底面积累正电荷, 从而形成了附加内电场EH, 称霍尔电场, 该电场强度为 EH= （7 - 10） 式中UH为电位差。霍尔电场的出现, 使定向运动的电子除了受洛仑磁力作用外, 还受到霍尔电场的作用力, 其大小为eEH，此力阻止电荷继续积累。 随着上、下底面积累电荷的增加, 霍尔电场增加, 电子受到的电场力也增加, 当电子所受洛仑磁力与霍尔电场作用力大小相等、 方向相反时, 即第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 eEH=evB （7 - 11）则 EH=vB （7 - 12）此时电荷不再向两底面积累,

15、 达到平衡状态。 若金属导电板单位体积内电子数为n, 电子定向运动平均速度为v, 则激励电流I=nevbd, 则 v= （7 - 13）将式（7 -13）代入式（7 - 12）得 EH= （7 -14）第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 将上式代入式（7 - 10）得 UH = （7 -15） 式中令RH =1/（ne）, 称之为霍尔常数, 其大小取决于导体载流子密度，则 UH =RH （7 - 16）式中KH=RH/d称为霍尔片的灵敏度。由式（7 - 16）可见, 霍尔电势正比于激励电流及磁感应强度,其灵敏度与霍尔常数RH成正比而与霍尔片厚度d成反比。为了提高灵敏度, 霍尔元件常制成薄片形

16、状。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 对霍尔片材料的要求, 希望有较大的霍尔常数RH, 霍尔元 件 激 励 极 间 电 阻 R=L/（ bd） , 同 时R=UI/I=EIL/I=vL/（nevbd）, 其中UI为加在霍尔元件两端的激励电压，EI为霍尔元件激励极间内电场，v为电子移动的平均速度。 则 (7 - 17)解得 RH= （7 - 18）从式（7 - 18）可知, 霍尔常数等于霍尔片材料的电阻率与电子迁移率的乘积。若要霍尔效应强, 则RH值大, 因此要求霍尔片材料有较大的电阻率和载流子迁移率。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器一般金属材料载流子迁移率很高, 但电阻率很小; 而

17、绝缘材料电阻率极高, 但载流子迁移率极低。故只有半导体材料适于制造霍尔片。目前常用的霍尔元件材料有: 锗、 硅、砷化铟、 锑化铟等半导体材料。 其中N型锗容易加工制造, 其霍尔系数、 温度性能和线性度都较好。N型硅的线性度最好, 其霍尔系数、 温度性能同N型锗相近。锑化铟对温度最敏感, 尤其在低温范围内温度系数大, 但在室温时其霍尔系数较大。砷化铟的霍尔系数较小, 温度系数也较小, 输出特性线性度好。 表 7 - 1 为常用国产霍尔元件的技术参数。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 2. 霍尔元件基本结构霍尔元件基本结

18、构 霍尔元件的结构很简单, 它由霍尔片、 引线和壳体组成, 如图 7 - 9(a)所示。 霍尔片是一块矩形半导体单晶薄片， 引出四个引线。1、1两根引线加激励电压或电流，称为激励电极；2、2引线为霍尔输出引线，称为霍尔电极。 霍尔元件壳体由非导磁金属、陶瓷或环氧树脂封装而成。 在电路中霍尔元件可用两种符号表示，如图7- 9(b)所示。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 3. 霍尔元件基本特性霍尔元件基本特性 1） 额定激励电流和最大允许激励电流 当霍尔元件自身温升10时所流过的激励电流称为额定激励电流。 以元件允许最大温升为限制所对应的激励电流称为最大允

19、许激励电流。因霍尔电势随激励电流增加而性增加, 所以, 使用中希望选用尽可能大的激励电流, 因而需要知道元件的最大允许激励电流, 改善霍尔元件的散热条件, 可以使激励电流增加。 2） 输入电阻和输出电阻 激励电极间的电阻值称为输入电阻。霍尔电极输出电势对外电路来说相当于一个电压源, 其电源内阻即为输出电阻。以上电阻值是在磁感应强度为零且环境温度在205时确定的。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 3） 不等位电势和不等位电阻 当霍尔元件的激励电流为I时, 若元件所处位置磁感应强度为零, 则它的霍尔电势应该为零, 但实际不为零。 这时测得的空载霍尔电势称不等位电势。 产生这一现象的原因有:

20、霍尔电极安装位置不对称或不在同一等电位面上; 半导体材料不均匀造成了电阻率不均匀或是几何尺寸不均匀; 激励电极接触不良造成激励电流不均匀分布等。 不等位电势也可用不等位电阻表示 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 式中: U0不等位电势; r0不等位电阻; IH激励电流。 由上式（7 - 19）可以看出, 不等位电势就是激励电流流经不等位电阻r0所产生的电压。 4） 寄生直流电势 在外加磁场为零#, 霍尔元件用交流激励时, 霍尔电极输出除了交流不等位电势外, 还有一直流电势, 称寄生直流电势。 其产生的原因有: 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 激励电极与霍尔电极接触不良, 形成非欧姆接

21、触, 造成整流效果; 两个霍尔电极大小不对称, 则两个电极点的热容不同, 散热状态不同形成极向温差电势。寄生直流电势一般在 1mV以下, 它是影响霍尔片温漂的原因之一。 5） 霍尔电势温度系数 在一定磁感应强度和激励电流下, 温度每变化1时, 霍尔电势变化的百分率称霍尔电势温度系数。它同时也是霍尔系数的温度系数。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 4. 霍尔元件不等位电势补偿霍尔元件不等位电势补偿 不等位电势与霍尔电势具有相同的数量级, 有时甚至超过霍尔电势, 而实用中要消除不等位电势是极其困难的, 因而必须采用补偿的方法。 由于不等位电势与不等位电阻是一致的, 可以采用分析电阻的方法来找

22、到不等位电势的补偿方法。如图 7 - 10 所示, 其中A、B为激励电极, C、D为霍尔电极, 极分布电阻分别用R1、 R2、 R3、 R4表示。理想情况下, R1=R2=R3=R4, 即可取得零位电势为零（或零位电阻为零）。 实际上, 由于不等位电阻的存在, 说明此四个电阻值不相等, 可将其视为电桥的四个桥臂, 则电桥不平衡。为使其达到平衡， 可在阻值较大的桥臂上并联电阻（如图7 - 10（a）所示）, 或在两个桥臂上同时并联电阻（如图7 - 10(b)所示）。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 5. 霍尔元件温度补偿霍尔元件温度补偿 霍尔元件是采用半

23、导体材料制成的, 因此它们的许多参数都具有较大的温度系数。当温度变化时, 霍尔元件的载流子浓度、迁移率、电阻率及霍尔系数都将发生变化, 从而使霍尔元件产生温度误差。 为了减小霍尔元件的温度误差, 除选用温度系数小的元件或采用恒 温措施外, 由UH=KHIR可看出：采用恒流源供电是个有效措施, 可以使霍尔电势稳定。 但也只能减小由于输入电阻随温度变化而引起的激励电流I变化所带来的影响。 霍尔元件的灵敏系数KH也是温度的函数, 它随温度的变化引起霍尔电势的变化。霍尔元件的灵敏度系数与温度的关系可写成第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 KH=KH0（1+T） （7 - 20）式中: KH0温度T0

24、时的KH值; T =T- T0温度变化量; 霍尔电势温度系数。 并且大多数霍尔元件的温度系数是正值, 它们的霍尔电势随温度升高而增加（1+T）倍。如果,与此同时让激励电流I相应地减小, 并能保持KHI乘积不变, 也就抵消了灵敏系数KH增加的影响。图 7 - 11 就是按此思路设计的一个既简单、 补偿效果又较好的补偿电路。第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 电路中用一个分流电阻Rp与霍尔元件的激励电极相并联。 当霍尔元件的输入电阻随温度升高而增加时, 旁路分流电阻Rp自动地加强分流, 减少了霍尔元件的激励电流I, 从而达到补偿的目的。 在图 7 - 11 所示的温度补偿电路中, 设初始温度为T

25、0, 霍尔元件输入电阻为Ri0, 灵敏系数为KH1, 分流电阻为Rp0, 根据分流概念得 IH0= （7 - 21）当温度升至T时, 电路中各参数变为第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 Ri=Ri0（1+T）（7 - 22） Rp=Rp0（1+T）（7 -23）式中: 霍尔元件输入电阻温度系数; 分流电阻温度系数。则 虽然温度升高T, 为使霍尔电势不变, 补偿电路必须满足温升前、 后的霍尔电势不变, 即 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 UH0=UH KH0IH0B=KHIHB （7 - 25）则 KH0IH0=KH IH （7 - 26）将式（7 - 20）、 （7 - 21）、 （7

26、 - 24）代入上式, 经整理并略去、 (T)2高次项后得 Rp0= （7 - 27） 当霍尔元件选定后, 它的输入电阻Ri0和温度系数及霍尔电势温度系数是确定值。由式（7 - 27）即可计算出分流电阻Rp0及所需的温度系数值。为了满足R0及两个条件, 分流电阻可取温度系数不同的两种电阻的串、并联组合, 这样虽然麻烦但效果很好。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 二、二、 霍尔式传感器的应用霍尔式传感器的应用 1. 霍尔式微位移传感器霍尔式微位移传感器 霍尔元件具有结构简单、体积小、动态特性好和寿命长的优点, 它不仅用于磁感应强度#, 有功功率及电能参数的测量, 也在位移测量中得到广泛应用

27、。 图7 - 12 给出了一些霍尔式位移传感器的工作原理图。 图（a）是磁场强度相同的两块永久磁铁, 同极性相对地放置, 霍尔元件处在两块磁铁的中间。由于磁铁中间的磁感应强度B=0, 因此霍尔元件输出的霍尔电势UH也等于零, 此时位移x=0。若霍尔元件在两磁铁中产生相对位移, 霍尔元件感受到的磁感应强度也随之改变, 这时UH不为零, 其量值大小反映出霍尔元件与磁铁之间相对位置的变化量, 这种结构的传感器, 其动态范围可达 5 mm, 分辨率为 0.001mm。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 图（b）所示是一种结构简单的霍尔位移传感器, 由一块永久磁铁

28、组成磁路的传感器, 在x=0 时, 霍尔电压不等于零。 图（c）是一个由两个结构相同的磁路组成的霍尔式位移传感器, 为了获得较好的线性分布, 在磁极端面装有极靴, 霍尔元件调整好初始位置时, 可以使霍尔电压UH=0 。 这种传感器灵敏度很高, 但它所能检测的位移量较小, 适合于微位移量及振动的测量 。 2. 霍尔式转速传感器霍尔式转速传感器 图 7 - 13 是几种不同结构的霍尔式转速传感器。 磁性转盘的输入轴与被测转轴相连, 当被测转轴转动时, 磁性转盘随之转动, 固定在磁性转盘附近的霍尔传感器便可在每一个小磁铁通过时产生一个相应的脉冲, 检测出单位时间的脉冲数, 便可知被测转速。磁性转盘上小磁铁数目的多少决定了传感器测量转速的分辨率。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器 3. 霍尔计数装置霍尔计数装置 霍尔开关传感器SL3501是具有较高灵敏度的集成霍尔元件, 能感受到很小的磁场变化, 因而可对黑色金属零件进行计数检测。 图 7 - 14 是对钢球进行计数的工作示意图和电路图当钢球通过霍尔开关传感器时, 传感器可输出峰值20mV的脉冲电压, 该电压经运算放大器A（A741）放大后, 驱动半导体三极管VT（2N5812）工作, VT输出端便可接计数器进行计数, 并由显示器显示检测数值。 第第7章章 磁电式传感器磁电式传感器