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1、 超导材料自20世纪初被发现，到了90年代高温超导材料取得了快速的发展，超导温度不断提高，特别是进入21世纪以来，以铋系和钇系为代表的高温超导材料，无论是块材、膜材和带材都有了很大的发展，是21世纪具有战略意义的高新技术。高温超导基片高温超导基片YBCO高温超导材料高温超导材料高温超导磁铁目前，我国高温超导技术已奠定了较好的基础，其中，钇系目前，我国高温超导技术已奠定了较好的基础，其中，钇系块材料已成功地应用于世界首辆高温超导磁悬浮列车。虽然我国块材料已成功地应用于世界首辆高温超导磁悬浮列车。虽然我国铋系和钇系超导材料实现了批量化生产，但针对不同的应用，其铋系和钇系超导材料实现了批量化生产，但
2、针对不同的应用，其性能仍需进一步提高。性能仍需进一步提高。未来值得关注的研究内容包括：未来值得关注的研究内容包括：4制备技术的低成本化。6.5.10 微型元件制备技术微型元件制备技术近年来微型元件制备技术，已成为一个重要的发展方向。近年来微型元件制备技术，已成为一个重要的发展方向。在在21世纪，渗透到科学技术各个部门的一个关键技术就是微系世纪，渗透到科学技术各个部门的一个关键技术就是微系统技术（统技术（micro-system-technology），上海在），上海在2003年成立微年成立微系统研究所。香港在系统研究所。香港在2004年年5月成立微技术制造科技中心。月成立微技术制造科技中心。有
3、人认为微系统技术是纳米技术和人类社会的纽带。它在资有人认为微系统技术是纳米技术和人类社会的纽带。它在资讯科技、通讯、光电子、医疗、汽车等领域有着广泛的应用。它讯科技、通讯、光电子、医疗、汽车等领域有着广泛的应用。它已成为提升竞争力的关键要素。它影响着人类生活的多方面。计已成为提升竞争力的关键要素。它影响着人类生活的多方面。计算机和手机中就利用微系统技术制造的万亿个元件完成其功能，算机和手机中就利用微系统技术制造的万亿个元件完成其功能，使人们可以在信息世界中遨游。使人们可以在信息世界中遨游。与传统的制造工艺不同，常用的新工艺有：与传统的制造工艺不同，常用的新工艺有：最精密的激光加工，例如在人头发
4、（最精密的激光加工，例如在人头发（ 60m)上刻字。可切割、上刻字。可切割、钻孔、标记、抛光。分辨率达钻孔、标记、抛光。分辨率达0.5m。还有医学诊断用的微型超声。还有医学诊断用的微型超声传感器，是用传感器，是用4000个个PZT压电瓷柱（边长压电瓷柱（边长100m，高，高400m），），排列在很小的空间内构成的。排列在很小的空间内构成的。微型元件量产微型元件量产从从1990年后微型元件量产迅速发展起来，目前，生产中多用年后微型元件量产迅速发展起来，目前，生产中多用电脑控制，可自动、大批量生产。电脑控制，可自动、大批量生产。德国某陶瓷材料研究中心（德国某陶瓷材料研究中心（Ceramic Lab
5、oratory at the Institute for Materials Research at the Research Centre in Karlsruhe）建立了微装配系统，能满足传送、装配、测量、调试）建立了微装配系统，能满足传送、装配、测量、调试等工序，其中一个主要部件工具变换系统，包含多个工位，其压电等工序，其中一个主要部件工具变换系统，包含多个工位，其压电平台可覆盖平台可覆盖100m100m、分辨率达、分辨率达1nm。日本也利用压电瓷驱。日本也利用压电瓷驱动器，制出精密定位系统及显微滑座，分辨率动器，制出精密定位系统及显微滑座，分辨率25nm，定位误差小，定位误差小于于0.
6、2m。国际上已经发展出一些结构部件，如显微光学、显微驱动、显国际上已经发展出一些结构部件，如显微光学、显微驱动、显微流动、显微医疗等以及微型泵、微混合器、吸附器、微型反应器微流动、显微医疗等以及微型泵、微混合器、吸附器、微型反应器等，并实现连续生产。等，并实现连续生产。微型技术中所用的陶瓷材料主要为压电铁电等功能陶瓷，但也微型技术中所用的陶瓷材料主要为压电铁电等功能陶瓷，但也常涉及氧化铝瓷、氧化锆瓷及羟基磷灰石瓷等。常涉及氧化铝瓷、氧化锆瓷及羟基磷灰石瓷等。微型机械产品微型机械产品微型昆虫微型昆虫微型加热器微型探针近日，美国伊利诺斯州立大学化学工程师研制出世界上最小的燃料近日，美国伊利诺斯州立
7、大学化学工程师研制出世界上最小的燃料电池，只有电池，只有3毫米大小。研究人员称这种微型氢燃料电池有望代替目前毫米大小。研究人员称这种微型氢燃料电池有望代替目前便携式产品中的电池便携式产品中的电池。据报道，目前德国已经有三个单位（据报道，目前德国已经有三个单位（Research Centre Research Centre in in KarlruheKarlruhe，Ulm Ulm UniverityUniverity，FraunhoferFraunhofer Institute Institute）进行微电子元件及微机研制。认为将来可能发展出成吨的进行微电子元件及微机研制。认为将来可能发展出成吨的微型制品，微型结构与功能瓷之间的联结，将创造很大的微型制品，微型结构与功能瓷之间的联结，将创造很大的经济价值及发展机遇。经济价值及发展机遇。
