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1、防静电原理及工艺纪律要求防静电原理及工艺纪律要求 20212021年年8 8月月1111日日第一部分：防静电根底知识引引 言言 随着电子元器件技术的开展，静电对元器件运用呵斥的危害越来越明显。元器件的尺寸越来越小，尤其是微电子器件。 新型特种器件多数也都是静电敏感元器件 。作为静电主要来源的各种高分子资料被广泛采用。主要内容主要内容n1.1 1.1 静电和静电放电的定义和特点静电和静电放电的定义和特点n1.2 1.2 静电的产生静电的产生 n1.3 1.3 静电的来源静电的来源 n1.4 1.4 静电放电的三种方式静电放电的三种方式 n1.5 1.5 静电放电失效静电放电失效 1.11.1静静
2、电和静和静电放放电的定的定义和特点和特点 什么是静电(Electrostatic，static electricity)？通俗地来说，静电就是静止不动的电荷。它普通存在于物体的外表。是正负电荷在部分范围内失去平衡的结果。静电是经过电子或离子转移而构成的。静电可由物质的接触和分别、静电感应、介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生。1.11.1静静电和静和静电放放电的定的定义和特点和特点 那什么是静电放电Electrostatic Discharge， ESD呢？处于不同静电电位的两个物体间的静电电荷的转移就是静电放电。这种转移的方式有多种，如接触放电、空气放电。普通来说，静电只需在发生静电放电
3、时，才会对元器件呵斥损伤和损伤。如人体带电时只需接触金属物体、或与他人握手时才会有电击的觉得。1.11.1静静电和静和静电放放电的定的定义和特点和特点静静电电放放电电景景象象虽虽然然是是过过电电应应力力一一种种，但但与与通通常常所所说说的的过过电应力相比有其本身的特点：电应力相比有其本身的特点：首先，电压较高；首先，电压较高；其次，继续时间短；其次，继续时间短；第三，释放的能量较低。第三，释放的能量较低。1.2 1.2 静电的产生静电的产生n1.2.1 1.2.1 摩擦产生静电摩擦产生静电n1.2.2 1.2.2 感应产生静电感应产生静电n1.2.3 1.2.3 静电荷静电荷n1.2.4 1.
4、2.4 静电势静电势n1.2.5 1.2.5 影响静电产生和大小的要素影响静电产生和大小的要素1.2 1.2 静电的产生静电的产生n假设两种不同资料的物件因直接接触或静电感应而导致相互间电荷假设两种不同资料的物件因直接接触或静电感应而导致相互间电荷的转移，使之存在过剩电荷，这样就产生了静电。的转移，使之存在过剩电荷，这样就产生了静电。n带有静电电荷的物体之间或者它们与地之间有一定的电势差，称之带有静电电荷的物体之间或者它们与地之间有一定的电势差，称之为静电势。为静电势。n静电产生的方式有很多，如接触、摩擦、冲流、冷冻、电解、压电、静电产生的方式有很多，如接触、摩擦、冲流、冷冻、电解、压电、温差
5、等。温差等。n主要是两种方式，即摩擦产生静电和感应产生静电。主要是两种方式，即摩擦产生静电和感应产生静电。1.2.1 1.2.1 摩擦产生静电摩擦产生静电n只需两种不同的物体接触再分别就会有静电产生。只需两种不同的物体接触再分别就会有静电产生。n摩擦生电主要发生在绝缘体之间。摩擦生电主要发生在绝缘体之间。n摩摩擦擦产产生生静静电电的的大大小小主主要要与与摩摩擦擦物物体体本本身身的的资资料料性性质质有有关；关；n此此外外也也遭遭到到许许多多要要素素的的影影响响，如如环环境境的的湿湿度度、 摩摩擦擦的的面积、分别速度、接触压力、外表干净度等。面积、分别速度、接触压力、外表干净度等。1.2.2 1.
6、2.2 感应产生静电感应产生静电n当当一一个个导导体体接接近近带带电电体体时时，会会遭遭到到该该带带电电体体构构成成的的静静电电场场的的作作用用，在在接接近近带带电电体体的的导导体体外外表表感感应应出出异异种电荷种电荷n显然，非导体不能经过感应产生静电。显然，非导体不能经过感应产生静电。1.2.3 1.2.3 静电荷静电荷n静静电的的本本质是是存存在在剩剩余余电荷荷。电荷荷是是一一切切的的有有关关静静电景象本景象本质方面的物理量。方面的物理量。n表表示示静静电电荷荷量量的的多多少少用用电量量表表示示，其其单位位是是库仑，由于，由于库仑的的单位太大通常用微位太大通常用微库或或纳库n1 1库仑C
7、C106106微微库CCn1 1微微库(C) (C) 103103纳库 (nC) (nC)1.2.4 1.2.4 静电势静电势n带带有有静静电电电电荷荷的的物物体体之之间间或或者者它它们们与与地地之之间间有有一一定定的的电势差，称之为静电势，也叫静电电压。电势差，称之为静电势，也叫静电电压。n实实践践环环境境中中产产生生的的静静电电电电压压通通常常是是指指带带电电体体与与大大地地之之间的电位差。间的电位差。静静电压可表示可表示为V(Qd)/(A)(1.3)1.2.5 1.2.5 影响静电产生和大小的要素影响静电产生和大小的要素n静电的产生及其大小与环境湿度和空气中的离子浓度有亲密的关静电的产生
8、及其大小与环境湿度和空气中的离子浓度有亲密的关系。系。n与普通场所相比，在空气纯真的场所与普通场所相比，在空气纯真的场所( (如超净车间如超净车间) )内，因空气中内，因空气中的离子浓度低，所以静电更加容易产生。见下页表的离子浓度低，所以静电更加容易产生。见下页表1.41.4。 表表1.4 1.4 电子消费中产生的静电势的典型值单位：电子消费中产生的静电势的典型值单位：V V 1.3 1.3 静电的来源静电的来源n1.3.1人体静电人体静电n1.3.2仪器和设备的静电仪器和设备的静电n1.3.3器件本身的静电器件本身的静电n1.3.4其它静电来源其它静电来源1.3.1 1.3.1 人体静电人体
9、静电人体是最重要的静电源，这主要有三个方面的缘由。人体是最重要的静电源，这主要有三个方面的缘由。其一，人体接触面广，活动范围大。其一，人体接触面广，活动范围大。其其二二，人人体体与与大大地地之之间间的的电电容容低低，少少量量的的人人体体静静电电荷荷即即可可导导致致很很高高的静电势。的静电势。其其三三，人人体体的的电电阻阻较较低低，相相当当于于良良导导体体，人人体体某某一一部部分分带带电电即即可可呵呵斥全身带电。斥全身带电。1.3.2 1.3.2 仪器和设备的静电仪器和设备的静电n仪仪器器和和设设备备也也会会由由于于摩摩擦擦或或静静电电感感应应而而带带上上静静电电。仪仪器器设设备备带带电电后，与
10、元器件接触也会产生静电放电，并呵斥静电损伤。后，与元器件接触也会产生静电放电，并呵斥静电损伤。1.3.3 1.3.3 器件本身的静电器件本身的静电n电电子子元元器器件件的的外外壳壳(主主要要指指陶陶瓷瓷、玻玻璃璃和和塑塑料料封封装装管管壳壳)与与绝绝缘缘资资料料相相互互摩摩擦擦，也也会会产产生生静静电电。器器件件外外壳壳产产生生静静电电后后，会会经经过过某某一一接地的管脚或外接引线释放静电，也会对器件呵斥静电损伤。接地的管脚或外接引线释放静电，也会对器件呵斥静电损伤。1.3.4 1.3.4 其它静电来源其它静电来源n除除上上述述三三种种静静电电来来源源外外，在在电电子子元元器器件件的的制制造造
11、、安安装装、传传送送、运运输输、实实验验、储储存存、丈丈量量和和调调试试等等过过程程中中，会会遇遇到到各各种种各各样样的的由由绝绝缘缘资资料料制制成成的的物物品品，如如表表1.6所所列列。这这些些物物品品相相互互摩摩擦擦或或与与人人体体摩擦都会产生很高的静电势。摩擦都会产生很高的静电势。n表表1.6电子元器件操作环境的其它静电源电子元器件操作环境的其它静电源1.5 1.5 静电放电的三种方式静电放电的三种方式n1.5.1带电人体的放电方式带电人体的放电方式n1.5.2带电机器的放电方式带电机器的放电方式n1.5.3充电器件的放电方式充电器件的放电方式 图1.3 人体放电实例 图1.4 充电器件
12、放电实例 1.5.1 1.5.1 带电人体的放电方式带电人体的放电方式n由于人领会与各种物体间发生接触和磨擦，又与元器件接触，所以由于人领会与各种物体间发生接触和磨擦，又与元器件接触，所以人体易带静电，也容易对元器件呵斥静电损伤。普遍以为大部分元人体易带静电，也容易对元器件呵斥静电损伤。普遍以为大部分元器件静电损伤是由人体静电呵斥的。器件静电损伤是由人体静电呵斥的。n带静电的人体可以等效为图带静电的人体可以等效为图1.51.5的等效电路，这个等效电路又称人体的等效电路，这个等效电路又称人体静电放电模型静电放电模型Human Body ModelHuman Body Model。RPCPVP图1
13、.5 带电人体的静电放电模型 1.5.2 1.5.2 带电机器的放电方式带电机器的放电方式n机机器器由由于于摩摩擦擦或或感感应应也也会会带带电电。带带电电机机器器经经过过电电子子元元器器件件放放电电也也会会呵呵斥斥损损伤伤。机机器器放放电电的的模模型型Machine Machine ModelModel如如图图1.61.6所所示示。与人体方式相比，机器没有电阻，电容那么相对要大。与人体方式相比，机器没有电阻，电容那么相对要大。CMVM图1.6 带电机器的放电模型1.5.3 1.5.3 充电器件的放电模型充电器件的放电模型 n在在元元器器件件装装配配、传传送送、实实验验、测测试试、运运输输和和储
14、储存存的的过过程程中中由由于于壳壳体体与与其其它它资资料料磨磨擦擦，壳壳领领会会带带静静电电。一一旦旦元元器器件件引引出出腿腿接接地地时时壳壳体体将将经经过过芯芯体体和和引引出出腿腿对对地地放放电电。这这种种方方式式的的放放电电可可用用所所谓谓带带电电器件模型器件模型(Charged-Device Model(Charged-Device Model，CDM)CDM)来描画。来描画。n双极型器件的双极型器件的CDMCDM等效电路如图等效电路如图1.7(a)1.7(a)所示。所示。nMOSMOS器件的器件的CDMCDM等效电路如图等效电路如图1.7(b)1.7(b)所示。所示。 图1.7 带电器
15、件的静电放电模型a 双极型器件 bMOS器件1.6 1.6 静电放电失效静电放电失效n1.6.1 1.6.1 失效方式失效方式n 电电子子元元器器件件由由静静电电放放电电引引发发的的失失效效可可分为突发性失效和潜在性失效两种方式。分为突发性失效和潜在性失效两种方式。n 据据统统计计，在在由由静静电电放放电电呵呵斥斥的的运运用用失失效效中中，潜潜在在性性失失效效约约占占9090，而而突突发性失效仅占发性失效仅占1010。n1.6.2 1.6.2 失效机理失效机理n 静静电电放放电电失失效效机机理理可可分分为为过过电电压压场场致致失失效和过电流热致失效。效和过电流热致失效。1.6.2 1.6.2
16、失效机理失效机理n过电压场致失效多发生于过电压场致失效多发生于M0S器件，包括含有器件，包括含有MOS电容或钽电电容或钽电容的双极型电路和混合电路；容的双极型电路和混合电路；n过电流热致失效那么多发生于双极器件，包括输入用过电流热致失效那么多发生于双极器件，包括输入用pn结二极管结二极管维护的维护的MOS电路、肖特基二极管以及含有双极器件的混合电路。电路、肖特基二极管以及含有双极器件的混合电路。n实践元器件发生哪种失效，取决于静电放电回路的绝缘程度。实践元器件发生哪种失效，取决于静电放电回路的绝缘程度。n无论是过压失效还是过流失效，都必需思索时间效应。无论是过压失效还是过流失效，都必需思索时间
17、效应。第一第一部分部分小结小结n1.1静电和静电放电的定义和特点静电和静电放电的定义和特点n1.2静电的产生静电的产生n1.3静电的来源静电的来源n1.4静电放电的三种方式静电放电的三种方式n1.5静电放电失效静电放电失效第二部分：制造过程中的 防静电损伤技术主要内容主要内容n2.1 2.1 静电防护的作用和意义静电防护的作用和意义n2.2 2.2 静电对电子产品的损害静电对电子产品的损害n2.3 2.3 静电防护的目的和总的原那么静电防护的目的和总的原那么n2.4 2.4 静电防护资料静电防护资料n2.5 2.5 静电防护器材静电防护器材n2.6 2.6 静电防护的详细措施静电防护的详细措施
18、 2.1 2.1 静电防护的作用和意义静电防护的作用和意义n2.1.1多数电子元器件是静电敏感器件多数电子元器件是静电敏感器件n2.1.2静电对电子行业呵斥的损失很大静电对电子行业呵斥的损失很大n2.1.3静电对元器件呵斥的潜在损伤静电对元器件呵斥的潜在损伤n2.1.4国内企业的情况国内企业的情况2.1.1 2.1.1 多数电子元器件是静电敏感器件多数电子元器件是静电敏感器件2.1.1 2.1.1 电子元器件是静电敏感器件电子元器件是静电敏感器件表2.1一些器件的静电敏感度2.1.2 2.1.2 静电对电子行业呵斥的损失很大静电对电子行业呵斥的损失很大n电电子子行行业业如如微微电电子子、光光电
19、电子子的的制制造造和和运运用用厂厂商商由由于于静静电电呵呵斥斥的的损损失失和和危危害害是是相相当当严严重重的的，每每年年的的损损伤伤达达数数十十亿亿美圆。美圆。图2.1Ti公司某一年客户失效器件缘由的分析统计图2.2 1993年从制造商、测试方和运用现场得到的3400例失效案例统计2.1.3静静电对元器件呵斥的潜在性元器件呵斥的潜在性损伤ESD对电子元器件的危害子元器件的危害还表如今它的潜在性：表如今它的潜在性：定定义：即器件在遭到即器件在遭到ESD应力后并不力后并不马上失效，而会在上失效，而会在运用运用过程中逐程中逐渐退化或忽然失效。退化或忽然失效。这时的器件是的器件是“带伤任任务(work
20、wounded)。这是人是人们对静静电危害危害认识不不够的一个主要的一个主要缘由。由。特点：特点：(1)无法无法鉴别和剔除；和剔除；(2)累累积性。性。处理的方法：理的方法：防止或减少防止或减少这种种损失的最好方法就是采取静失的最好方法就是采取静电防防护措施，使元器件防止静措施，使元器件防止静电放放电的危害。的危害。2.1.4 2.1.4 国内外的企业情况国内外的企业情况n国国际上在上在19791979年成立了年成立了EOS/ESDEOS/ESD研研讨协会：会：n 美美军标883E“883E“微微电路路实验方方法法中中关关于于ESDESD等等级评价价的的规范已先后范已先后7 7次修次修订；n
21、美美国国多多数数主主要要的的电子子制制造造商商在在八八十十年年代代初初也也曾曾经建建立立了了他他们的的ESDESD组织机构；机构；n我国在我国在这方面的任方面的任务起步要晚很多，差距起步要晚很多，差距较大：大：n 在在静静电防防护方方面面，合合资和和独独资企企业的的情情况况较好好，起起步步较早早，大大多多参参照照国国外外企企业的的做做法法，民民品品企企业也也曾曾经认识到到静静电问题重重要要性性，消消费线的的静静电防防护方方面面投投入入人人员和和资金金，获得得了了很好的效果。很好的效果。2.2 2.2 静电对电子产品的损害静电对电子产品的损害n静电对电子产品的损害有多种方式，并具有本身的特点。静
22、电对电子产品的损害有多种方式，并具有本身的特点。n2.2.1 2.2.1 静电损害的方式静电损害的方式n2.2.2 2.2.2 静电损害的特点静电损害的特点n2.2.3 2.2.3 能够产生静电损害的制造过程能够产生静电损害的制造过程2.2.1 2.2.1 静电损害的方式静电损害的方式n静静电电的的根根本本物物理理特特性性为为：吸吸引引或或排排斥斥，与与大大地地有有电电位位差差，会会产产生生放放电电流。电电流。n 这三种特性能对电子元器件的三种影响：这三种特性能对电子元器件的三种影响：n (a) (a) 静电吸附灰尘，降低元器件绝缘电阻缩短寿命。静电吸附灰尘，降低元器件绝缘电阻缩短寿命。n (
23、b) (b) 静电放电静电放电ESDESD，呵斥电子器件破坏。，呵斥电子器件破坏。n (c) (c)静静电电放放电电产产生生的的电电磁磁场场幅幅度度很很大大达达几几百百伏伏/ /米米频频谱谱极宽极宽 n 从从几几十十兆兆到到几几千千兆兆，对对电电子子产产器器呵呵斥斥干干扰扰甚甚至至损损坏坏电电磁磁 n 干扰干扰2.2.2 2.2.2 静电损害的特点静电损害的特点n(1)隐蔽性隐蔽性n人体感知的静电放电电压为人体感知的静电放电电压为23KVn(2)潜在性和累积性潜在性和累积性n(3)随机性随机性n(4)复杂性复杂性n在在分分析析损损伤伤缘缘由由和和区区别别其其他他损损伤伤方方面面很很复复杂杂2.
24、2.3 2.2.3 能够产生静电损害的制造过程能够产生静电损害的制造过程(1)元元器器件件制制造造过过程程在在这这个个过过程程，包包含含制制造造，切切割割、接接线线、检检验到交货。验到交货。(2)印印刷刷电电路路版版消消费费过过程程收收货货、验验收收、储储存存、插插入入、焊焊接接、品品管、包装到出货。管、包装到出货。(3)设备制造过程设备制造过程电路板验收、储存、装配、品管、出货。电路板验收、储存、装配、品管、出货。(4)设备运用过程设备运用过程收货、安装、实验、运用及保养。收货、安装、实验、运用及保养。(5)设备维修过程设备维修过程2.3 2.3 静电防护的目的和总的原那么静电防护的目的和总
25、的原那么n 2.3.1 目的和原那么 n 2.3.2 根本思想和技术途径 2.3.1 2.3.1 目的和原那么目的和原那么 n静静电电防防护护的的根根本本目目的的：在在电电子子元元器器件件、组组件件、设设备备的的制制造造和和运运用用过过程程中中，经经过过各各种种防防护护手手段段，防防止止因因静静电电的的力力学学和和放放电电效效应应而而产产生生或或能能够够产产生生的的危危害害，或或将将这这些些危危害害限限制制在在最最小小程程度度，以以确确保保元元器器件件、组组件件和和设设备备的的设设计计性性能能及及运运用用性能不致因静电作用遭到损害。性能不致因静电作用遭到损害。n原原那那么么：静静电电防防护护应
26、应从从控控制制静静电电的的产产生生和和控控制制静静电电的的散散失失两两方方面面进进展展：控控制制静静电电产产生生主主要要是是控控制制工工艺艺过过程程和和工工艺艺过过程程中中资资料料的的选选择择；控控制制静静电电的的散散失失那那么么主主要要是是加加速速静静电电的的走漏和中和；走漏和中和；两两者者共共同同作作用用的的结结果果就就有有能能够够使使静静电电电平不超越平安限制，到达静电防护的目的。电平不超越平安限制，到达静电防护的目的。 2.3.2 2.3.2 根本思想和技术途径根本思想和技术途径 对对静静电电敏敏感感器器件件进进展展静静电电防防护护和和控控制制的的根根本本思思想想有两条：有两条：(1)
27、 (1) 对能够产生静电的地方要防止静电的聚集。对能够产生静电的地方要防止静电的聚集。 (2)(2) 对已存在的电荷积聚，迅速可靠地消除掉。对已存在的电荷积聚，迅速可靠地消除掉。2.3.2 2.3.2 根本思想和技术途径根本思想和技术途径根本途径有：根本途径有：1工艺控制法工艺控制法2走漏法走漏法3静电屏蔽法静电屏蔽法4复合中和法复合中和法5整净措施整净措施2.3.2 2.3.2 根本思想和技术途径根本思想和技术途径n(1) 工艺控制法n 旨在使消费过程中尽量少产生静电荷.为此应从工艺流程、资料选择、设备安装和操作管理等方面采取措施，控制静电的产生和积聚，抑制静电电位和静电放电的才干，使之不超
28、越危害的程度。n(2) 走漏法n 旨在使静电经过走漏到达消除的目的。通常采用静电接地使电荷向大地走漏；也有采用增大物体电导的方法使静电沿物体外表或经过内部走漏，如添加静电剂或增湿。最常见的是任务人员带的防静电腕带，静电接地柱。n(3) (3) 静静电屏蔽法屏蔽法n内内场屏屏蔽蔽：用用接接地地的的屏屏蔽蔽罩罩把把带电体体与与其其它它物物体体隔隔分分开开来来，这样带电体的体的电场将不会影响周将不会影响周围其它物体。如其它物体。如仪器器设备的金属机壳。的金属机壳。n外外场屏屏蔽蔽：用用屏屏蔽蔽罩罩把把被被隔隔离离的的物物体体包包围起起来来，使使其其免免受受外外界界电场的影响。如的影响。如GaAsGa
29、As器件包装多采用金属盒或金属膜。器件包装多采用金属盒或金属膜。n(4) (4) 复合中和法复合中和法n 旨旨在在使使静静电荷荷经过复复合合中中和和的的方方法法，到到达达消消除除的的目目的的。通通常常利利用用静静电消消除除器器产生生带有有异异号号电荷荷的的离离子子与与带电体体上上的的电荷荷复复合，到达中和的目的。合，到达中和的目的。n(5) (5) 整整净措施措施n 旨旨在在防防止止尖尖端端放放电的的景景象象。为此此，应该尽尽能能够使使带电体及周体及周围物体的外表物体的外表坚持光滑和干持光滑和干净，以便减少尖端放，以便减少尖端放电的能的能够性。性。2.3.2 2.3.2 根本思想和技术途径根本
30、思想和技术途径2.4 2.4 主要的静电防护工程器材主要的静电防护工程器材n2.4.1防静电资料防静电资料n2.4.2静电防护器材静电防护器材2.4.1 2.4.1 静电防护资料静电防护资料静电防护资料或防静电资料在静电防护和控制工程中占有重要的位置，由防静电资料制成的静电防护用品如容器、服装、传送带等是制造过程中必不可少的。2.4.1.1 与静电防护资料有关的根本概念2.4.1.2 静电防护资料的主要参数2.4.1.1 2.4.1.1 与静电防护资料有关的根本概念与静电防护资料有关的根本概念n电阻和电阻率电阻和电阻率n体电阻率体电阻率n外表电阻率外表电阻率n电阻电阻n外表电阻外表电阻n体电阻
31、体电阻n绝缘资料绝缘资料n导电资料导电资料n耗散资料耗散资料n屏蔽资料屏蔽资料n抗静电性抗静电性2.4.1.2 2.4.1.2 静电防护资料的主要参数静电防护资料的主要参数防静防静电资料的主要参数料的主要参数1 1 表征起表征起电才干的参数：才干的参数： 外表静外表静电位位U U，带电量量Q Q或或电荷面密度荷面密度 ；2 2表征衰减才干的参数：表征衰减才干的参数： 外表外表电阻阻RSRS，走漏，走漏电阻阻R R对制品；制品； 外表外表电阻率阻率S S 、体、体电阻率、阻率、V V对资料；料； 时间常数常数 或静或静电半衰期半衰期t1/2t1/2： 对 介介 质 ， 对 导 体体 RC RC
32、1/e1/e ; ; t1/2=0.69t1/2=0.69 2.4.3 2.4.3 静电防护资料的分类静电防护资料的分类以外表电阻率(单位/)划分如下：1041051012静静电耗散耗散资料料静电绝缘资料静电屏蔽静电屏蔽静电导体静电导体n根据防静电资料的来源可以分为天然资料和人造资料两大类。根据防静电资料的来源可以分为天然资料和人造资料两大类。n人造资料主要有两种制造方法：人造资料主要有两种制造方法：n 一是在原来的资料中添加带电性资料或物质，添加的资料或制品一是在原来的资料中添加带电性资料或物质，添加的资料或制品具有永久性；具有永久性；n 另一种方式是外表涂敷，如今也有耐久的高分子外表活性剂
33、。另一种方式是外表涂敷，如今也有耐久的高分子外表活性剂。2.5 2.5 静电防护器材静电防护器材n静电防护器材主要分为两大类静电防护器材主要分为两大类: :n防静电制品防静电制品 和和 静电消除器静电消除器n防静电制品是由防静电资料制成的物品，主要作用是防止或减防静电制品是由防静电资料制成的物品，主要作用是防止或减少静电的产生和将产生的静电谢放掉。少静电的产生和将产生的静电谢放掉。n静电消除器用来中和那些在绝缘资料上积累的、无法用泄放方静电消除器用来中和那些在绝缘资料上积累的、无法用泄放方法消除的静电电荷。法消除的静电电荷。2.5.1 2.5.1 防静电资料的制品防静电资料的制品n2.5.1.
34、2 2.5.1.2 防静电包防静电包装和运输制品等装和运输制品等n2.5.1.1 2.5.1.1 防静电防静电服装和腕带服装和腕带n2.5.1.3 2.5.1.3 防静电地板和台垫防静电地板和台垫n其他其他2.5.2 2.5.2 静电消除器静电消除器消电器、电中和器或离子平衡器消电器、电中和器或离子平衡器n静电消除器静电消除器nnn消电器的主要类型消电器的主要类型n感应式消电器；感应式消电器；n高压消电器；高压消电器；n放射性同位素消电器；放射性同位素消电器；n离子风消电器离子风消电器2.6 2.6 静电防护的详细措施静电防护的详细措施n2.6.1 2.6.1 建立静电平安任务区建立静电平安任
35、务区n2.6.2 2.6.2 包装、运输和存储过程的防静电措施包装、运输和存储过程的防静电措施n2.6.3 2.6.3 静电检测静电检测n2.6.4 2.6.4 静电防护的管理任务静电防护的管理任务2.6.1 2.6.1 建立静电平安任务区建立静电平安任务区图2.9典型的平安任务区表示图。n静电安任务区的建立主要包括：静电安任务区的建立主要包括：n1设置防静电接地系统；设置防静电接地系统；n2铺设防静电地板和台垫；铺设防静电地板和台垫；n3安装静电消除器；安装静电消除器；n4任务人员尤其是操作人员的静电防护：任务人员尤其是操作人员的静电防护：n5正确的操作方法正确的操作方法n6运用防静电器具：
36、如防静电容器、工具等；运用防静电器具：如防静电容器、工具等；n7控制防静电任务区的湿度和净度。控制防静电任务区的湿度和净度。2.6.1 2.6.1 建立静电平安任务区建立静电平安任务区5正确的操作方法正确的操作方法拿器件时拿外壳而不触摸管脚引线拿器件时拿外壳而不触摸管脚引线电路板安装时最后插入敏感器件电路板安装时最后插入敏感器件不带电插拔器件和电路板不带电插拔器件和电路板经常触摸静电接地柱经常触摸静电接地柱不做摩擦类动作等不做摩擦类动作等并且防止人和人之间直接传送。并且防止人和人之间直接传送。2.6.1 2.6.1 建立静电平安任务区建立静电平安任务区2.6.2 2.6.2 包装、运送和存储工
37、程的防静电措施包装、运送和存储工程的防静电措施n 主主要要目目的的是是防防止止静静电电的的产产生生：如如采采用用防防静静电电包包装装、器器件件引引脚脚等等电电位位、防防止止摩摩擦擦、即即时时接接地地消消电电等等。 由由于于没没有有平平安安任任务务区区或或接接地地系系统，必需特别谨慎！统，必需特别谨慎！n防静电包装的作用：防静电包装的作用：n 1 1、防止静电的产生和积累；如抗静电塑料装运管、防止静电的产生和积累；如抗静电塑料装运管n 2 2、使使器器件件的的一一切切管管脚脚短短路路，等等电电位位；如如金金属属规规范范，导导电电泡沫，对泡沫，对I I类静电敏感器件类静电敏感器件n 3 3、对外电
38、场屏蔽。、对外电场屏蔽。n运运送送过过程程防防止止摩摩擦擦、接接触触、振振动动和和冲冲击击等等；优优化化传传输输线线的的速速度度、采取消电措施等。采取消电措施等。2.6.3 2.6.3 静电检测静电检测(1)常用的静电检测仪表常用的静电检测仪表静电电位计、兆欧表高阻表、腕带检测仪、衔接监测仪等。静电电位计、兆欧表高阻表、腕带检测仪、衔接监测仪等。静静电电电电位位计计：适适于于导导体体的的接接触触式式会会改改动动待待测测物物体体的的导导电电情情况况和和适于绝缘体的非接触式利用静电感应原理。适于绝缘体的非接触式利用静电感应原理。非非接接触触式式静静电电计计：直直感感式式、旋旋转转叶叶片片式式、振振
39、动动电电容容式式和和集集电电式。式。(2)静电检测分类静电检测分类按时间分：经常性、定期性和暂时性；按时间分：经常性、定期性和暂时性；按测试精度分：定量和定性按测试精度分：定量和定性按场所分：现场测试和实验室测试，按场所分：现场测试和实验室测试，2.6.4 2.6.4 静电防护的管理任务静电防护的管理任务(1(1 建立完好、严厉的防静电控制程序，贯彻到设建立完好、严厉的防静电控制程序，贯彻到设计计、采采购、消费工艺、质量保证、包装、存储购、消费工艺、质量保证、包装、存储和和运运输输等等各各环环节和部门；节和部门；2 2 醒目的静电敏感器件标志；醒目的静电敏感器件标志；3 3 静电防护的培训。静
40、电防护的培训。图图2.11各种防静电标志各种防静电标志(a)防静电任务区防静电任务区(b)和和c防静电容器、元件架、防静电容器、元件架、运输车等器材运输车等器材(d经防静电也处置的物品和场所经防静电也处置的物品和场所2.7 2.7 静电防护小结静电防护小结1 1将一切元器件当作是静电敏感器件；将一切元器件当作是静电敏感器件；2 2在没有良好接地的情况下，永远不要接触敏感器件或组件；在没有良好接地的情况下，永远不要接触敏感器件或组件；3 3假设假设ICIC不在工艺线或防静电任务台上时，将它们保管在接地屏蔽的容器中；不在工艺线或防静电任务台上时，将它们保管在接地屏蔽的容器中；4 4带有带有ICIC
41、的电路板必需在防静电任务台处置；的电路板必需在防静电任务台处置；5 5腕带、鞋套应每天检测，保证满足参数要求；腕带、鞋套应每天检测，保证满足参数要求；6 6一切仪器和设备都要接地；一切仪器和设备都要接地；7 7流过流过ICIC的气体和液体要坚持低速；的气体和液体要坚持低速；8 8长袖应卷起，并戴上防静电袖套；长袖应卷起，并戴上防静电袖套；9 9在没有其它防静电措施的情况下，不要拿装在防静电管中的在没有其它防静电措施的情况下，不要拿装在防静电管中的ICIC；1010在能够产生静电的工序运用定点离子消电器；在能够产生静电的工序运用定点离子消电器；1111腕带要坚持人体和地等电位；腕带要坚持人体和地
42、等电位；1212ESDESD维护任务台要坚持器件和地等电位；维护任务台要坚持器件和地等电位；第三部分：工艺纪律讲解1 1、如何了解工艺纪律？、如何了解工艺纪律？2 2、如何不违犯工艺纪律？、如何不违犯工艺纪律？n没有没有规矩，不成方矩，不成方圆。n养成良好的任养成良好的任务习惯。n1 1、员工有没有按要求戴好防静电手腕带，静电手腕带测试记录能否及真实、员工有没有按要求戴好防静电手腕带，静电手腕带测试记录能否及真实完好规范完好规范n2 2、电烙铁的接地电阻能否小于、电烙铁的接地电阻能否小于2020殴母，实践丈量温度能否在殴母，实践丈量温度能否在 制定的范围内。烙铁测试记录能否及时完好真实规范制定
43、的范围内。烙铁测试记录能否及时完好真实规范, ,烙铁烙铁, ,手带有手带有无文件规定检测并留下真实完好记录无文件规定检测并留下真实完好记录n3 3、员工有没有按要求封锁电源后插拔显示板线组、员工有没有按要求封锁电源后插拔显示板线组( (只适用开关板线只适用开关板线n4 4、芯片在程序烧录后能否存放在原包装或防静电器具里、芯片在程序烧录后能否存放在原包装或防静电器具里n5 5、任务台的地线能否可靠接地、任务台的地线能否可靠接地n6 6、检板工位有没有将检好的电路板放在防静电塑料垫上不叠板并带防静电、检板工位有没有将检好的电路板放在防静电塑料垫上不叠板并带防静电手腕带手腕带n7 7、在包装工位废品有没有按照、在包装工位废品有没有按照 要求进展包装要求进展包装n8 8、产废品周转包装所用容器能否与、产废品周转包装所用容器能否与 上指定的相符上指定的相符合合工艺纪律中对防静电方面有哪些要求？工艺纪律中对防静电方面有哪些要求？ 咦，才这么几道菜啊？少而精，正对胃口！ 今天真开心， 这里各方面 都很好！我觉得味道淡了点课程回想课程回想
