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1、CIC1-1製程服務注意事項說明製程服務注意事項說明晶片實作組晶片實作組2006/05/22(含製程申請、晶片製作)蓑炕亲角盎巾丢酿烷送衡禁咒腾握藏健桥号筛哎勉噎燃潦蛙裹漱湃简义侍制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-2講義內容更新說明講義內容更新說明頁碼原文更新修訂時間1-42006晶片製作成果發表會說明晶片製作成果發表會說明95/04/201-28晶片製作申請相關業務承辦人95/01/091-39檔案上傳流程(第一階段)新增注意事項說明94/01/091-595年度製程申請換約開始94/10/251-6新增95年度U18製程調整與異動說明94/09/261-7TSMC0.18u
2、mCMOS製程下線注意事項94/09/281-1195年度製程服務相關重大變革說明95年度製程異動說明94/09/28朗瑟隆亩涛医旬锹救颈岸戴伐袄锥刹卯饭彻堑憋舱否果辅絮岿捅戒匀俺刮制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-3講義內容更新說明講義內容更新說明 (P.1- (P.1-2 2) )重要公告重要公告 (P. (P.1-7, 1-7, 1-121-12, 1-12-181-12-18)9595年度製程服務相關重大變革說明年度製程服務相關重大變革說明 (P.1-13) (P.1-13)製程公告、規定製程公告、規定 (P.1-16 1.18) (P.1-16 1.18)晶片製作申請
3、晶片製作申請 (P.1-19 1- (P.1-19 1-2424) )常見不受理申請原因常見不受理申請原因 (P.1-31) (P.1-31)儀器設備使用申請儀器設備使用申請 (P.1-33) (P.1-33)注意事項注意事項 (P.1-34 1-39) (P.1-34 1-39)Stream out Stream out 檔案上傳方式檔案上傳方式 (P.1-40 1.48) (P.1-40 1.48)審查會後資料修改審查會後資料修改 & & 其他應注意事項其他應注意事項 (P.1-49 1.52) (P.1-49 1.52)Outline歌炉铆坡瞪玫港达橙肪猩矫举茵查亢溃锚释霞夷念蒙霄纪问爬
4、申廓硝讳宦制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-4會中除了頒獎、展示國內學術界透過CIC製作晶片之研究成果、邀請廠商(Agilent)發表演講外,將同時舉辦一場製程服務說明。藉此機會說明目前CIC於製程資料申請、晶片下線服務之相關措施與注意事項。因本場次說明內容亦包含製程資料控管部分,故將視為舉辦製程資料控管說明會。所以歡迎各位踴躍報名參加。如您是教授尚未申請T13製程(含T13RF、T13L)未來預計申請,或您是學生,之前不曾參加過製程資料控管說明會,未來預計下線T13製程,或您對CIC提供之製程服務相關措施有興趣,均歡迎您踴躍報名。欲瞭解2006晶片製作成果發表會相關訊息,或報
5、名,請上網:http:/www.cic.org.tw/workshop_cis/公告公告: 2006晶片製作成果發表會晶片製作成果發表會時間:時間:2006/05/04(四四)AM09:3015:00地點:奈米電子研究大樓二樓國際會議廳地點:奈米電子研究大樓二樓國際會議廳新竹市科學園區展業一路新竹市科學園區展業一路26號號赫抬杜渣闸仍瞪淫乎宠缠功健滁迷剁丁拴獭宪扭叫洲宣犊久袜志竭童圾缕制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-5 D35製程製程Dummy Pattern Cell使用說明使用說明 (03/27/2006新增新增)適用製程:TSMC 0.35UM MIXED SIGNAL
6、 2P4M POLYCIDE 3.3V/5V PROCESSCIC從D35-95C梯次開始要求申請者於佈局中加入Dummy Pattern,以滿足晶圓廠所要求的Poly/Metal Density,為了讓申請者在整個設計的流程更順利,CIC提供一個Dummy Pattern Cell 給申請者使用,讓申請者在佈局完成後能盡快的將Density補足。請至CIC首頁-製程服務-技術資料(輸入帳號密碼登入)-技術資料,下載dummy pattern cell,File name :T035MMDP001E_V_1.gds.gz-技術文件,下載dummy pattern使用說明文件,File name
7、 : T035MMDP001_V_1.pdf如有任何疑問,請與鄧宗維先生聯絡Tel: (03)5773693#229Email: twtengcic.org.tw胖桌愈泉褒碱迪浩剿寂吴圈葱糕冲布州溅育誓霍糠寓览擒店扎署主古枉凹制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-6TSMC 0.13UM dummy metal generator(03/28/2006)更新T013LODR001C3_2_1A.tar.gz (TSMC 0.13UM DUMMY METAL (CALIBRE) GENERATION UTILITY)說明:修正CBM與M7、M8之距離過近以及無法產生對應Dummy M
8、etal 之問題。適用製程:T013RF如有任何問題歡迎與張文旭先生聯絡E-Mail:wenshucic.org.twTEL:(03)5773693 ext.176吸如我览好香笨词爵柜臻模匪涛垒瘩溜毒臭操夫俭蜕闷任圾卯誉仑平绪咱制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-7製程資料申請採用一年一簽,原本94年度申請使用期限至95年1月31日止,故請各位製程資料申請人,務必自即日起至本中心網頁 http:/www.cic.org.tw/cic_v13/fab_services/index.jsp 登入點選“製程申請”因95年起申請T13製程(含T13L、T13RF),被授權人員(如學生)必
9、須參與製程資料控管說明會,方可授權使用製程資料與各類晶片製作申請(下線申請),因此請欲申請T13製程之申請者(老師)務必要求被授權人員(如學生)參加”製程資料控管說明會”。否則將影響未來下線權益。製程資料控管說明會(94年度)舉辦日期如下: 注意:欲申請T13L-95A/T13RF-95A 晶片製作的被授權人員(如學生),強烈建議參與第一場說明會,以利後續審核,避免影響下線權益。如未寄回95年度的製程資料保密同意書,本中心自95年2月1日起將無法繼續提供製程資料,亦無法提供晶片製作(下線申請)的申請服務。若有任何製程申請相關問題,歡迎隨時與 03-5773693 *205晶片組 簡小姐 聯絡!
10、 重要公告重要公告: 95年度製程申請換約開始年度製程申請換約開始日期時間地點備註2005/10/28(五)10:00-11:00新竹CIC新竹辦公室2005/11/18(五)10:00-11:00台北台灣大學電機館(二館)2005/12/10(六)10:00-11:00新竹/台南CIC新竹辦公室/CIC南區辦公室厌锈挚华循蛋吩涂肖歹伶显馈彰桨葛侵绦币绑秀埠姓祖字塞擦博庸机丽梧制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-8TSMC 0.18um製程下線注意事項製程下線注意事項DRC ERROR:1.CIC驗証結果以Calibre v2004.1_2.15版本為標準檢查平臺,若有Calib
11、re檢查之後察覺錯誤,實質上並不違反Design Rule檔所列規則,且Layout上無法修整至Error Free,請聯絡CIC相關制程負責工程師。如遇到不明或上列未列之DRC Error請與工程師討論,請勿自行合理化!2.自T18_95A梯次起,Metal Density錯誤已不可略甭阂愤沂广继拜沈踩渠耍汀仿桂津诬昔士亢省吻叁脊孕咋此尚牺雀斤立陈制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-9TSMC 0.18um Calibre DRC False-error (T18可允許可允許DRC錯誤錯誤)RulenameCauseOD.C.1I/OPADERRORSTC18io_18TOD.
12、C.2_OD.C.3OD.C.5RPO.S.1RPO.C.3RPO.C.6NW.S.1I/OPADERRORSTC18io_33TNWR.E.1NWR.C.3OD.C.1OD.C.2_OD.C.3OD.C.5RPO.S.1RPO.C.3RPO.C.6ESD.GUIDE.4ESD.5EESD.5FESD.5G锗汰准秒呜构犁索龄曰尉追颠汰疹奇几曹脐袍凭衰合球迫裤错擒怂翱攘寅制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-10ESD.5ETSMCI/OPADERRORPO.W.1.MMCTM.R.2CTMdensityisnotenoughforcapacitorM6T.E.2Minextensi
13、onofM6TregionbeyondVIA5attheendofM6Tis0.45umformimcap5M6T.C.1INDDMY與Meyal6需距離50umforinductorM6T.E.3M6T.I.1NoViaandmetallayersinsideINDDMYregionfor立體電感M1.A.1MinimumareaofM1region製程服務下線導引 (3)各類晶片製作申請須知與說明 前瞻性晶片製作申請須知與說明(94年度) 測試元件晶片製作申請須知與說明(94年度) 前瞻性晶片製作申請書電子檔範例,請參考:CIC網頁製程服務下線導引(5)各類晶片製作申請範例申請書電子檔範例
14、 (94前瞻性) 學生於審查會報告時,不可於投影片(含logo)和審查報告過程中提及申請者相關之學校系所、指導教授、實驗室、身份等資料,若因違反規定造成負面審查結果,需自行負責! 投影片格式,頁數不拘,以重點敘述為主。但內容必需包含範例所提及項目(範例均為審查委員經常詢問項目),審查會投影片參考範例,請參考: CIC網頁製程服務下線導引(5)各類晶片製作申請範例審查會報告投影片範例 (94) 项骋屿今掀芹临崔尸领凿袒充米艇桩卓氮瞪利召易隋睛怪查宝定措涟肩村制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-17重要公告重要公告:TSMC下線下線DRC注意事項注意事項(更新更新)由於先前有學生因違
15、反design rule,而造成tsmc Fab廠人力負擔及時間延誤,所以tsmc嚴重警告,這些舉動不僅影響下線者本身,也有可能造成其他客戶及Fab廠損失,而未來如有類似情況,則tsmc有拒絕下線的權力,所以tsmc要求“design rule document is golden, everydesign has to follow design rule document”,所以晶片必需符合廠商提供的design rule才具有下線申請資格,並且麻煩各位配合下列事項:CIC目前均接受Dracula & Calibre DRC report,但之前曾發生有因使用Dracula舊版次而產生DR
16、C無法check到error的問題,所以至tsmc下線者若是採用Dracula做為DRC驗證tool者務必使用最新版次(IC5.0.33, Dracula 4.9.12-2003)或以上來run DRC以避免此問題。由於每一梯次之申請件數均甚為龐大, CIC限於人力因素目前僅用Calibre來驗證之並做為下線申請資格審核的依據。每次下線前請務必上CIC網站下載最新製程資料,並利用CIC release最新的command file作DRC,LVS checkDRC report必須沒有錯誤才具有下線申請資格,若因有command file所造成的假錯,則必須至 http:/www2.cic.o
17、rg.tw/shuttle/drc/ 確認是否為合理的假錯, 並且將錯誤逐條解釋,並註明錯誤代號,若錯誤不為網址上所確認的合理假錯,則必須事先跟工程師確認。醇转锄台怖洋橡垒钮淹坛腔骑颂聘溯勉墨遮容吱共骄矮妨项词姻虽殴焊捻制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-18重要公告重要公告每梯次之截止時間一律訂為申請截止日當日下午五點整,逾時將關閉FTP,並不再接受檔案上傳,請注意網路壅塞情形,盡早上傳,以免因逾時及檔案上傳不完整而喪失下線資格。每次有佈局檔上傳,均需附上DRC, LVS驗證結果,並都務必記得上傳OK檔, 並至下列網址 : http:/www2.cic.org.tw/shutt
18、le/chipworks/ 確認上傳資料, CIC將依該網頁資料進行下線作業,不再另行通知,若對此有任何疑問,請在上傳日當天17:00前聯絡製程工程師 疑空擒骏沦朗义辱奢由害蚂乒紊掉毛凌蛇闭窃瞧慧励啼沁督陌缝重拙寅宰制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-19所有製程資料一律線上申請製程資料維持一年一簽所有製程依安全性等級區分為A、B、C三類(1)申請人資格(2)申請所需相關文件(3)核可後管理 將依製程安全性等級區分。 所有製程申請者均需繳交1.製程資料保密同意書2.在職證明聲明3.被授權人員清冊或無複製製程資料聲明4.銷毀製程資料聲明所有申請人應於每年三月及十月自造製程資料管理報
19、表提供CIC存查。否則停止其相關服務 無製程使用權者不能申請晶片製作 申請人有義務配合中心不定時派員至申請人存放製程資料處進行了解與關切使用的情形及其管理CIC送CI Letter (列有申請人姓名、服務單位及地址)至TSMC核准,始能啟動下載權限,所需時間約三週。固定於每月月初送上個月的申請名單。 95年度製程資料申請說明年度製程資料申請說明疡井完腹此福清赤翻斜缝靶蹦桅很劫迄湿贿该传夯馒藤千职醇攻羊趁鞍资制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-20安全性等級安全性等級A AB BC C定義製程資料不對外開放,以Security Lab方式管制 製程資料對外開放,嚴格要求申請者對資安
20、控管,並主動做相關查核。製程資料對外開放,申請資料記錄備查,並於必要時進行相關查核。製程分類無0.13um MM/RF CMOS0.13um MM/LO CMOSTSMC 0.18um 製程0.35um MM CMOS0.35um SiGe BiCMOSUMC 0.18um 製程PHEMTCMOS MEMS申請人資格暫不開放1. 大專院校助理教授以上職級2. 現參與國科會計畫或SOC國家型計畫3. 曾使用0.18um製程產出相關成果(僅 0.13um製程)以上三條件須同時成立大專院校的老師(講師以上) 被授權人員暫不開放1. 人數最多10人,如超10人,需說明原因。 2. 使用0.13um 製
21、程資料,被授權人員需先參與”製程資料控管說明會”暫無規範人數95年度製程安全性等級說明年度製程安全性等級說明篡罗昌恳允钵沛爆砂貌时煤腾喝邱均搓讹搂咆耸亨腐锚宣恬遂嚣挡账厅咋制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-21安全性等級B BC C製程(簡稱)T13LT13LT13RFT13RFT18T18U18U18SiG35SiG35D35 (D35 (含含MEMS35)MEMS35)PHEMPHEMT T申請前準備製程資料保密同意書 下載列印範例說明V VV VV VV VV VV VV V在職證明聲明 下載列印範例說明V VV VV VV VV VV VV V被授權人員清冊(註一)*下
22、載列印範例說明V VV VV V申請者留存備查無複製製程資料聲明(註一)*下載列印範例說明V VV VV VV VV VV VV銷毀製程資料聲明 下載列印範例說明V VV VV VV VV VV VVPDK存放單 下載列印範例說明V VV V-TSMC 0.13 研究及管理計畫 下載列印範例說明V VV V-參與製程資料控管說明會(註二)*V VV V-核可後管理製程資料管理報表(每年3、10月繳交CIC)下載範例說明V VV VV VV VV VV VVPDK存放單下載範例說明V V-被授權人員清冊下載範例說明如有異動時繳交如有異動時,申請者需變更清冊,留存備查95年度製程資料申請相關文件年
23、度製程資料申請相關文件/管理列表管理列表註一:”被授權人員清冊”與”無複製製程資料聲明”請擇一繳交。如申請者如無授權製程資料給其他人員使用,僅需繳交”無複製製程資料聲明”。註二:”製程資料控管說明會”定期舉辦,舉辦時間請注意CIC網頁公告,或與簡珮君小姐 03-5773693 ext.205詢問。 抄骤频首婶亩造舱窗勤迪航椎思穿忆某迁锋刨籍轨恢袄蹬秸究载愚瘟拿掠制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-2295年度製程資料申請流程年度製程資料申請流程上網勾選欲申請製程,並下載相關文件依申請製程,備妥相關需繳交文件CIC審核具資格之申請者授權廠商審核 (CI-letter)開啟製程資料下
24、載權限YesYesNoNoYesIf need半弯更灸绳箕禾叭该舵尉奖箕冈植锄酸闲呀疮柄张兵饺陕弹镐镶抡恋雾浪制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-23加入會員加入會員申請者在申請晶片製作之前,教授/學生均須完成加入會員與製程資料申請及授權。 加入會員網址:http:/www.cic.org.tw/cic_v13/main.jsp /系統登入(教授若欲更改基本資料,亦需由此登入方能修改)恿甲市泅埂天窥盗孰于冰望渊不阴康磐冕如彤味猿包枷扩泣造利橇守两绷制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-24製程資料申請製程資料申請 申請網址: http:/www.cic.org.tw/
25、cic_v13/login/login.jsp業務承辦人: 簡珮君小姐,Tel:03-5773693*205 , Email: frankiecic.org.tw 。认忽率迢辩秧痹狰握议饺诲惨澈嘲送分茄唐秉据瞻重榨梨恤梁妆吩漾剿洋制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-25前瞻性晶片製作申請前瞻性晶片製作申請 1.ftp 技術資料包括佈局檔、佈局驗證結果檔(DRC、LVS或Apollo驗證結果檔)與 Tapeout Review Form。佈局檔案上傳完後請上傳” OK ”檔,以檢查上傳佈局檔是否無誤,並至晶片上傳檢查系統網頁: “ http:/www2.cic.org.tw/%7E
26、shuttle/chipworks/ ”以確認申請是否成功(若網頁上無其上傳資訊者,視同無申請)。註:使用Cell-Based Flow者,另附Fault Coverage log 檔。2.ftp 計畫書電子檔包括 (1)前瞻性晶片製作申請表(95年度) (2)設計內容: 1專題名稱 2最近三次下線紀錄3相關研究發展現況 4研究動機 5架構簡介 6設計流程 7模擬結果8預計規格列表 9測試考量10參考文獻 (3)佈局驗證結果錯誤說明(無誤者仍需註明:驗證無誤) (4)佈局平面圖 (5)打線圖 (選擇不包裝的申請者,免送。) (6)智慧財產權切結書(95年度) 註:以上(1)至(6)項合成一個電
27、子檔合成一個電子檔。3.限時掛號郵寄(以郵戳為憑)或親送申請資料包括 (1)前瞻性晶片製作申請表(95年度) (2)智慧財產權切結書(95年度) 註:以上(1)、(2) 需要蓋系所章與指導教授簽名。 泊斜耽奋婶潦昭喻轩刨傍抬裤苏术爱朝位熔渭划修哟阴阁忱封粳苗仙节皱制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-26教育性晶片製作申請教育性晶片製作申請 1.ftp 技術資料。 包括佈局檔、佈局驗證結果檔(DRC、LVS或Apollo驗證結果檔)與 Tapeout Review Form。佈局檔案上傳完後請上傳” OK ”檔,以檢查上傳佈局檔是否無誤,並至晶片上傳檢查系統網頁: “ http:/
28、www2.cic.org.tw/%7Eshuttle/chipworks/ ”以確認申請是否成功(若網頁上無其上傳資訊者,視同無申請)。2.ftp 計畫書電子檔。 包括(1)教育性晶片製作申請表(95年度) 1/2 (2)教育性晶片製作申請表(95年度) 2/2 (3)設計內容:1原理及架構說明2設計流程3電路詳圖4模擬結果 5預計規格列表6測試考量。 (4)佈局驗證結果錯誤說明(無誤者仍需註明:驗證無誤) (5)佈局平面圖 (6)打線圖(選擇不包裝的申請者,免送。) (7)智慧財產權切結書(95年度) 註:以上(1)至(7)項合成一個電子檔。3.限時掛號郵寄(以郵戳為憑)或親送申請資料。包括
29、(1)教育性晶片製作申請表(95年度) 1/2 (2)教育性晶片製作申請表(95年度) 2/2 (3)成績計分點名單 (4)智慧財產權切結書(95年度) 註:以上(1)、(2)、(3)、(4) 需要蓋系所章與指導教授簽名。医娟呜急斗获揣繁议诫朽制修像蚜轴珐献穴弟砌儿肯叭欺侵喊猿禁知纤绢制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-27修課學生名單範例修課學生名單範例*底線標示部份即必要檢查項目底線標示部份即必要檢查項目悔剩毁奸茹刽蘑敖赡怀闻溃敦刽触血屏赎旋蝶检照裕丝诌氯动掺篙裔旧首制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-28測試元件晶片製作申請測試元件晶片製作申請1/2 1. f
30、tp 技術資料 包括佈局檔、佈局驗證結果檔(DRC、LVS或Apollo驗證結果檔)與 Tapeout Review Form。佈局檔案上傳完後請上傳” OK ”檔,以檢查上傳佈局檔是否無誤,並至晶片上傳檢查系統網頁: “ http:/www2.cic.org.tw/%7Eshuttle/chipworks/ ”以確認申請是否成功(若網頁上無其上傳資訊者,視同無申請)。2. ftp 計畫書電子檔 包括(1)測試元件晶片製作申請表(95年度) (2)設計內容: 1專題名稱 2最近三次下線紀錄3相關研究發展現況 4研究動機及未來研應用範圍 5元件結構及其等效模型簡介 6設計流程 7模擬結果(或未來
31、量測項目) 8預計規格列表(或預計元件趨勢) 9測試考量 10參考文獻。 (3)佈局驗證結果錯誤說明(無誤者仍需註明:驗證無誤) (4)佈局平面圖 (5)智慧財產權切結書(95年度) 註:以上(1)至(5)項合成一個電子檔。3. 限時掛號郵寄(以郵戳為憑)或親送申請資料 包括(1)測試元件晶片製作申請表(95年度) (2)智慧財產權切結書(95年度) 註:以上(1)、(2) 需要蓋系所章與指導教授簽名。迎桨镜眠箍愈吗串增丈侨涨婚票邓球得穗搜租冯凤韩谅陪翁姆咨拂迂删砰制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-29測試元件晶片製作申請測試元件晶片製作申請- 2/2 4. 測試元件晶片製作之
32、審查方式:(1). TSMC 0.13除外的製程均由書面審查。(2). TSMC 0.13測試元件須參加審查會議。5. 下線製作優先順序列於前瞻性之後(TSMC 0.13測試元件的下線製作優先順序比照前瞻性) ,等同教育性晶片,但為了有更多的元件模型提供學生電路設計,如經委員判定該梯次有符合下線資格的晶片,則每梯次至少下一顆,每顆晶片面積限制如下:(1). CMOS製程(TSMC 0.13除外):晶片之長寬不得超過(即小於等於)1.5mm X 1.5mm;(2). GCT HBT & WIN PHEMT 製程:一律以申請表格上可勾選之面積為限。面積面積必須不得超過必須不得超過( (即小於等於即
33、小於等於) 2 mm) 2 mm2 2 其他自訂大小之面積一概不予受理。(3). TSMC 0.13 製程製程:晶片之長寬不得超過(即小於等於)1.5mm X 2mm停些毒疗詹红躬栋降扇爽觉慷情扰瞅呵扯涣范耗啪妆俯五荷诗弛树跳踢嫌制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-30晶片製作申請晶片製作申請相關業務承辦人相關業務承辦人製程名稱技術方面申請方面1.UMC0.18UM1P6MMMC/RFCMOS1.8V/3.3V陳益誠先生,分機201,Email:ycchencic.org.tw使用Cell-BasedFlow:林俊賓先生,分機163,Email:cplincic.org.tw*教
34、育性-測試元件-前瞻性:張惠禎小姐,分機174,Email:jennycic.org.tw*產研界/學校自費:簡珮君小姐,分機205,Email:frankiecic.org.tw2.TSMC0.18UMCMOSMixedSignalRFGeneralPurposeStandardProcessFSGAl1P6M1.8&3.3V簡廷旭先生,分機202,Email:thchiencic.org.tw使用Cell-BasedFlow:王朝琴先生,分機193,Email:sahocic.org.tw3.TSMC0.35UMMixed-Signal2P4MPolycide3.3/5V鄧宗維先生,分機2
35、29,Email:twtengcic.org.tw使用Cell-BasedFlow:許志賢先生,分機147,Email:chhsucic.org.tw使用MEMS:林幹恆先生,分機239,Email:khlincic.org.tw4.TSMC0.35UMBICMOSMixedSignalSiGeGeneralPurposeStandardProcessUSGAl3P3M3.3V陳憲穀先生,分機191,Email:hkchencic.org.tw*測試元件-前瞻性:陳怡華小姐,分機131,Email:evacic.org.tw*產研界/學校自費:簡珮君小姐,分機205,Email:frankie
36、cic.org.tw5.TSMC0.13UMCMOSMixedSignalMSGeneralPurposeStandardProcessFSGCu1P8M1.2&3.3V黃建棟先生,分機190,Email:hcdcic.org.tw6.TSMC0.13UMCMOSMixedSignalRFGeneralPurposeStandardProcessFSGCu1P8M1.2&2.5V張文旭先生,分機176,Email:wenshucic.org.tw7.WIN0.15umPHEMT黃建棟先生,分機190,Email:hcdcic.org.tw郵寄晶片製作申請資料:收件地址:新竹市科學園區展業一路2
37、6號7F,學校收件人:簡珮君,產研界/學校自費收件人:簡珮君未渭抖榆份栏贱妆付猴档决横拜昏达蝴播偏富沤搀沈秸仅着勾言羊蔽狗缴制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-31常見不受理申請原因常見不受理申請原因缺交測試報告,教授累計測試報告三篇未繳 ,學生任一篇測試報告未繳。 逾時、逾期上傳檔案或送交申請書或檔案不完整。無驗證結果說明,layout 檔案不完整。教育性晶片課程名稱及授課教授與成績計分點名單不符,或參與學生姓名 與成績計分點名單不符。針對審查委員所提之建議或修改事項提出之修改內容傳回時間超出規定時限。 針對審查委員所提之建議或修改事項提出之修改內容未傳回或傳回不完整。此梯次面
38、積不足,依評審成績及指導教授之 Total credit 比較後,無法提供面 積給予下線。設計案面積超過申請項目之限制大小。上傳電子檔無法打開。用錯 Technology File 。 DRC Error 。裁人稚该鹏棱铆瓮铅依届摈破集屁慎啸促治滁乃驹医苔夏炯窍鸥姐诱揣兴制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-32測試報告停止收書面報告測試報告停止收書面報告1.晶片系統設計中心晶片下線測試報告停止收取書面測試報告,晶片下線設計者需於測試報告繳交期限內傳送電子檔測試報告(Word格式)至:testadmcic.org.tw2.測試報告填寫表格請至CIC網頁晶片製作- 申請表格下載- 選
39、擇前瞻性測試報告格式或教育性測試報告格式下載。(目前已更新為94年新版本,請勿再用舊版本)3.繳交報告者須自行備份寄送電子檔當日傳送資料或儲存傳送回條至少三個月,當作申覆依據。設計者請定期上CIC網查詢測試報告缺繳紀錄,若有紀錄錯誤, 請儘早和測試報告收件人員聯繫, 提供證明, 以免損失您下線權益.4.未來CIC年度論文集將以光碟燒錄方式寄送各校圖書館及國家圖書館留存。撑蓬镑引扒到钎圆靶棒颠樊嘉泼晒馁渠纲善仇一篮株壁耙盏属郎放囊拘介制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-33儀器設備使用申請儀器設備使用申請儀器設備使用申請或技術諮詢欲借用打線機同學皆須上過訓練課程,每次課程開課時間約
40、為收到晶片前一周詳細課程時間會公佈於e-news上.所有開課訊息也都會mail給所有老師竹科:張恆茹小姐,電話03-5773693-192,Email: henzucic.org.tw, 南區辦公室:鄭順安先生,電話06-5053041-109,Email:sachengcic.org.tw繳交測試報告傳送電子檔測試報告(Word格式)至: testadmcic.org.tw即可,無須再郵寄測試報告書面資料。Testkey部分尚須繳交完整量測數據與元件等效模型 教育性/前瞻性晶片 竹科 張恆茹小姐(03)5773693-192 Testkey- 各製程相關負責人, 例如:UMC 0.18um
41、Mixed Signal (1P6M) CMOS 負責人 陳益誠先生TSMC 0.35um Mixed-Signal (2P4M) CMOS使用Cell-Based Flow 負責人許志賢栽特丫刨蜡榜壶酚满精郊浙顷拦诱妹哲救采镶捉闲艺饭更财刀邻娶哎踊恬制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-34其他注意事項其他注意事項-1 1TSMC 0.35um SiGe製程驗證軟體版本更新,請務必使用Calibre DRC,LVS,LPE之rule file 作驗證,下線者均需附Calibre之驗證結果。 使用舊版本之DRACULADRC, LVS可能發 生無法預期錯誤,因此CIC將不再提供DR
42、ACULA commandfile。若在CIC RF Testkey Library中已有資料,將不接受申請製作,查詢方式: CIC Web Site = 製程服務 = 技術資料 = 測試元件智慧財產權切結書請填寫完整,專題名稱須與申請書上的專題名稱相符。每梯次申請下線請重新至CIC網頁下載申請表格,請勿再使用學長姐傳下來的舊表 格。教育性申請者請附表2/2之電子檔,以避免同一教師多項課程申請造成混淆。教育性申請之研究內容,請勿將佈局圖當做電路詳圖貼附,以免被認定研究內容缺漏 而列入不受理申請。請勿直接將TSMC 0.35um 2P4M製程當作TSMC 0.35um 1P4M的擴充版,而混用s
43、pice model以及 technology file。煎撞卜沾啼巾慌恫障纷卒瓶垒杭疚鹤短爽狭庞辅丢贵扛死哇兢旁粪先综讯制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-35其他注意事項其他注意事項-2 2提醒學校自費晶片製作申請者注意:若您有TSMC 0.18/0.35 SiGe製程及 UMC 0.18製程 擬晶片製作,請儘早提出申請。因此三製程為Foundry廠的shuttle製程,以方塊 (block ,5000x5000 um2)數訂購,而 每梯次的方塊數有限,故申請者須於時程表申請截 止前三個月預約。如未能提前預約,則無法確認 Foundry 廠有方塊數可供下線。TSMC 0.18
44、製程T18-95C(F)/95E(F)梯次以full wafer方式tape out,有較多面積提供申請者 使用,歡迎多加利用!新增學術界下線繳交佈局檔及注意事項,申請者下線前應注意此項訊息,相關內 容見網址:http:/www2.cic.org.tw/kangchu/layout/note.html請勿自行定義打線圖Pin腳位置編號, 以免造成跨線, 詳情請參考CIC網頁95年度晶片製 作之打線圖http:/www2.cic.org.tw/kangchu/layout/diagram.htmlUMC 0.18um Cell-Base製程,上傳目錄獨立為CBU18。原有TSMC 0.35um
45、Cell-Base製程 目錄由COMPASS35更名為CBT35。目錄用途請參考: http:/www2.cic.org.tw/shuttle/chipworks/ 羚暑踏控洲况人骋孩扦娃公原宅片圃锅饰刚妻寨殊受斟呛尔搽秒脑灾郴憋制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-36其他注意事項其他注意事項-3 3提醒 I/O Library、Cell-Based以及MEMS製程的使用者 : 1.若您有使用I/O Library或 Cell Library ,請務必在晶片製作申請表上做正確的勾選2. I/O Library 所指的是晶片送至CIC後,由CIC做合成的I/O Library ,並
46、非同學自行設計、透過其他管道所取得的Cell Library或是裸PAD。3. Cell Library 所指的是晶片送至CIC後,由CIC做合成的Cell Library (使用Cell-Based Flow),並非同學自行設計或是由其他管道所取得的Cell Library 4. MEMS製程指的是利用CIC提供的後製程(由RLS光罩定義)。若無利用CIC提 供之後製程則不必勾選。5. 請謹慎勾選,以免因勾選錯誤而造成晶片無法正常工作 搭枢馅笺蛮醋籽禄返呕重盟硫诌数妻殿秋趾拯炙毛缩宵驰倔顽倚降给绍蔽制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-37其他注意事項其他注意事項-4 4 使用製
47、程: (1 1) UMC 0.18um 1P6M CMOS (使用Cell-Based Design Kit(UMC/Artisan) )(2 2) TSMC 0.18um 1P6M CMOS (3 3) TSMC 0.35um 2P4M Mixed-mode (使用Cell-Based Design Kit(TSMC/TSMC), 使用TSMC I/O pad, 使用CMOS MEMS(使用CIC的後製程), 使用CMOS MEMS(後製程自行處理) (4 4) TSMC 0.35um 3P3M SiGe BiCMOS(5 5) GCT 2.0um HBT: 1mm x 1mm 1mm x
48、2mm 1.5mm x 1mm 1.5mm x 2mm 2mm x 1mm 2mm x 2mm 2.5mm x 1mm 2.5mm x 2mm 3mm x 1mm 3mm x 2mm(6 6) WIN 0.15um PHEMT: 1mm x 1mm 1mm x 2mm 1.5mm x 1mm 1.5mm x 2mm 2mm x 1mm 2mm x 2mm 2.5mm x 1mm 2.5mm x 2mm 3mm x 1mm 3mm x 2mm1.使用CIC所提供之cell-library者(I/O pad除外),晶片申請案不論面積大小均要參加複審會。2. 使用CIC所提供之cell-librar
49、y者,必須要在晶片製作申請表 的使用製程項目做 正確之勾選,以利CIC做正確的處理(避免影響同學本身下線的權益) 。3. 勾選項目如下*使用CIC所提供之cell-library且需要CIC做replace者,請務必勾選 使用Cell-Based Design Kit 。*使用CIC所提供之I/O Pad(不含裸PAD)且需要CIC做replace者,請務必勾選 使用TSMC I/O pad 。克掳舟鉴徽家衬卧猖扦揉阅吱蔫薄娇竣谭淋疤际炔亮历锣臆病忆浓蛤丛雍制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-38其他注意事項其他注意事項-5 51. 為正確分類所設計電路之屬性以方便委員審查並加速
50、作業,新增設計電路 屬類別一項,請務必勾選否則將可能會因未註明清楚而導致給不同專長領 域的委員來審查的結果。2. 勾選項目如下: 設計電路所屬類別: (1) Digital (2) Analog (3) RF (4) RF MEMS (5) Sensor MEMS3. 前瞻性/教育性/測試元件晶片製作申請及審查流程係針對學校提出晶 製作申請時,為達到資源共享,作業整合,並配合下線廠商的時程,而分 數個階段進行審核及處理,作為晶片製作申請應遵循之規則。相關資料下 載網址: http:/www.cic.org.tw/cic_v13/fab_services/index.jsp?menu=guide
51、 羹川恃成撰桶蹭舟收悸碘号怠堂怜借瓶稚咐基巧戍汇身醋钢挂笛体蛰绣钻制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-39其他注意事項其他注意事項-61.由於UMC 0.18um製作上考慮到density的問題, 故會在每一層加上dummy metal, 致使同學的設計成品無法顯現電路圖形, 造成打線時方向腳位無法辨識, 故請同學們在繳交打線圖時, 請標示電路未rotate時的左下角位置(範例如下), 以使封裝廠能正確地找到實際腳位.2.其他製程使用cell lib.的同學亦請在打線圖左下角做標記, 以確認晶片方向.各位同學需使用各位同學需使用+ +來標記打線圖中來標記打線圖中DieDie的左下
52、角的位置的左下角的位置, ,以確保包裝過程之正確性以確保包裝過程之正確性. .or什咖郊贴啦妮智展凶欢埋扭亿赖陈库粕漠怔象绅励沾旨魏逻缀届柿镐酉姚制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-40CIC FTP目錄結構目錄結構1P6M18new0102lock1P5M25ADV2P4M35EDU2P4M35CBT35CBT25製程目錄申請FTP#目錄已申請/上傳之目錄閉鎖用目錄蔬咱畦拢忿怠蒙眩券馋茅搞疯笑冷镶腮汛烧耸磨肝呈幢俘伶轨咀链漓掌忍制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-41檔案上傳流程(第一階段)進入FTP站進入製程目錄進入new目錄上傳一小檔案離開FTP站立刻開始第二
53、階段上傳離開FTP站等待15分鐘再上站失敗成功進入”new”目錄並上傳一小檔案取得上傳編號後請退出”new”目錄,勿直接上傳所有申請資料 (尤其是佔比較大空間的GDS檔) ,以免因一直佔用此目錄而使其他申請者無法新增上傳目錄; 若發現有此情事時請即刻通知CIC相關製程工程師,其將會剔除佔用者,以使”new”目錄淨空給其他申請者取得上傳編號用。請注意:進入FTP後有提示語提示各製程的目錄名稱,請不要將檔案上傳至錯誤的製程目錄。棍捍鹅就休栓萝昏准吟静考直倚借细蔗深豆鬼奠达码蓬检较病骇劈糊振郸制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-42檔案上傳第一階段申請FTPNumberftp 輸入ft
54、p指令,進入FTP對話環境(PC亦同) ftpopen ftp.cic.org.tw 3000 開啟至ftp.cic.org.tw,port 3000Name(.):layout 使用者名稱輸入layoutPassword:usermachine.school.edu.tw password 請輸入申請者之email(請勿抄襲此範例)ftpcd 1P6M18 進入製程之目錄(在此用TSMC 0.18um製程為例)ftpcd new 進入”new”目錄以取得ftp編號*順利的話,你所在的目錄是1P6M18/new,同時你會拿到一個目錄編號(系統會顯示編號與E-Mail)*若此時無法順利進入,代表
55、有其它申請者正在”new”目錄上傳檔案,請稍後再試。若有人卡死,正常狀況下,該君將在半小時內自動被系統踢掉ftpbin 設定上傳檔案格式為binaryftpput xxxx.drc 先將drc結果等小型檔案上傳ftpbye 離開命令列ftp軟體 (或使用” cd . “指令)*請記得上傳一個檔案後再使用”bye”或”cd .”指令,以免系統誤判而沒有新增該編號的目錄上傳第一階段已完成,務必將所得到的ftp no填入申請書中。離線後可以立即再度上傳剩餘檔案胰店八倾偿险苍询嗓芬良幅林怀肮液圣驻舒叙岗愧糕住氮谨授芍钩旧镀填制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-43檔案上傳流程(第二階段)
56、進入製程目錄進入和取得編號同名的目錄上傳所有檔案上傳“ok”檔進入FTP站離開FTP站傳送完”ok檔後”接著需進行晶片資料確認兑英齐闽噶柬也湾苹馋扎去狼刑颗隧再燕旋亮侨探豁胎萝音疥拥责钳郑蓬制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-44檔案上傳第二階段ftp 輸入FTP指令(再度連線),進入FTP對話環境ftpopen ftp.cic.org.tw 3000 開啟至ftp.cic.org.tw,port 3000Name:layout 使用者名稱輸入layoutPassword:usermachine.school.edu.tw password為申請者之email (須與第一階段所使
57、用之email相同)ftpcd 1P6M18ftpcd 103 進入與取得編號同名目錄 現在,你所在的目錄是 1P6M18/103ftpbinftpput *.gds 上傳除了“ok”檔外的所有檔案ftpput *.doc ftpput ok 最後上傳“ok”檔,一定要最後再上傳! “ok”檔的檔名為小寫的ok且沒有副檔名!ftpbye%上傳已經完成,接下來可以等待系統檢查結果(有上傳“ok”檔系統才會執行檢查)系統約510分鐘執行一次檢查,若1015分鐘後還沒有看到自己的晶片資訊,請來電詢問恃院溅载唁夹航乌涕扮抨颅疼晰亢局芋砷陨膛坦臂缕仲除鲁瓣霍遍沏畸钢制程服务注意事项说明制程服务注意事项说
58、明CIC1-45晶片資料確認打開瀏覽器鍵入網址 http:/www2.cic.org.tw/shuttle/chipworks/點選您所上傳製程目錄,如1P6M18鍵入網址選擇製程錯誤原因與處理方法芥饶数撕槽焙宛式拾移斜偏晴彤隐崇餐诲献斋槐蹬停党垂杯挫伪废绪拐困制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-46晶片資料確認(續)編號01號佈局檔資料列表編號02號佈局檔資料列表在網頁中尋找自己的編號,確認檔案名稱等資料正確性注意:100號排在10號之後,110號排在11號之後。以此類推 (網頁最底端為9開頭的號碼)偶负气抹圭摧卑驹窃壁整筛太偶稀义夕姨畜炔忘勇双担倒姐抨抵甥盘慷挤制程服务注意事
59、项说明制程服务注意事项说明CIC1-47檔案上傳注意事項上傳前請確定檔案均無夾帶病毒上傳前注意檔案均為最後版本,申請書電子檔需整合為單一WORD檔案取得編號並上傳一個檔案後,請先退出“new”目錄,再“cd”至所取得之編 號資料夾內上傳檔案,以避免個人佔用“new”目錄過久,影響其他同學攫取 編號請記住自己的編號,避免檔案傳送至其他申請者之資料夾請於截止日前必須傳送完全部所需資料,逾時不予受理傳送完成後,請再次確認檔案大小是否相符,確保檔案完整性 上傳檔案時,請務必先下“bin”指令,以免檔案損壞或無法讀取若檔案傳錯或更動需要更新檔案名稱再上傳,則須更改檔案名稱,檔案名稱更改範例: 如檔案原名
60、為pllgds則建議後續上傳名稱為pll_01.gds、pll_02.gds . ;重新上 傳佈局檔,需再附上DRC, LVS驗證結果,並再上傳“ok”檔,並務必記得再度至網址 http:/www2.cic.org.tw/shuttle/chipworks/)確認上傳資料是否更新只要有上傳或更新檔案,都務必記得再度瀏覽網頁確認自己資料正確性,以免因資料不 正確而喪失下線資格。幽尹减弯责狱臣期孜兑睡羹占叙桨闲兽戮拱谭炮厢辕寐砾敏酬棋扼雹丑跨制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-48自行閉鎖檔案上傳權限如果已經確認自己的佈局檔一切正確而且所有檔案皆已傳送完畢,可以自行 將目錄上傳權限閉
61、鎖,避免閒雜人等置放佈局檔干擾結果,可以至製程目錄中的lock目錄上傳閉鎖用檔案,檔案名稱為自己目錄的編號。例如上傳目錄是 1P6M18/103,則製作一個檔名為 103 的檔案,內容第一行填入自己的E-Mail帳號作為辨認,並上傳至1P6M18/lock這個目錄中;解鎖則再上傳一次 103。為了避免閒雜人士干擾,檔案內容必須是你在取得FTP number時登入FTP時所使用的E-Mail,以資辨認(系統約五至十分鐘執行一次開鎖或閉鎖的動作)。例如登入CIC FTP取得FTP number時email輸入n12345cic.edu.tw,檔案第一行就必須是 n12345cic.edu.tw。
62、上傳截止後(上傳截止日當天17:00),目錄將被CIC閉鎖,使用者亦無法自行開鎖。此時無法再上傳檔案,請再度瀏覽網頁確認自己資料正確。若先前資料正確,而在17:00後遭人竄改或因申請者未將目錄閉鎖而在截止前有其他人上傳到您的編號目錄內而造成資料錯誤,為了避免晶片製作錯誤,請一定要聯絡CIC,我們會依照檔案更新先後紀錄處理。若檢查系統網頁上顯示該編號申請案的佈局資料為”Error”沒有該編號之佈局檔資訊(未傳送”ok”檔),代表該申請案未完成申請手續,將不受理該申請案。蹦既逊卷削拽狙酬刑疗琐吏冲得淬递福梢学疟七朝衔巨细港窿伯秩吉楚栓制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-49審查會場次
63、安排說明審查會場次安排說明近來隨著下線申請件數不斷地增加,CIC竹科辦公室現有場地數量已無法容納每一梯次所有的下線申請件數來安排委員審查。同時為了不超過每一場次審查委員之負荷量,在考量到有些受邀之審查委員可能因交通往返不便和時程安排上面的困難而無法參加時恐造成審查會委員出席人數不足之虞而影響到審查會的品質,CIC將視實際情況需要得以安排至南科場次。茲說明如下:1. 對於安排至CIC南科辦公室審查會場次者,原則上以南部學校(彰化(含)以南)為第一優先,之後依序為中部和北部學校.已安排至南科者若無特殊因素(註1.),原則上不予安排至竹科的審查會。2.北部學校按申請時上傳檔案號碼之先後順序依序從竹科
64、場次安排起,其餘視實際情況得安排至CIC南科辦公室之場次。註.1: 有特殊因素者需於審查會場地公告前1天提出申請,並說明原因由CIC評估可能性後安排之,逾時不受理安排!温伊诱真崭孝泻蹿肯球囊范窒迫蜕匙郑可散味纪顺顶结笺藤李聘钝颗紫淄制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-501. 口頭報告時間分配,每人20分鐘(包括審查委員問問題) (1) 相關研究發展現況及研究動機 .2 分鐘 (2) 架構簡介及電路設計 .5 分鐘 (3) 模擬結果 .3 分鐘 (4) 佈局驗証及包裝結果 . 2 分鐘 (5) 測試考量 .2 分鐘 (6) 審查委員發問 .6 分鐘 2. 請同學提早30分鐘在現場
65、等候,以隨時遞補不克前來 的同學審查會注意事項審查會注意事項何邮悲莫瞩絮廖焙坦静汤骄尿汗扔宜慎慌拦陛夜坚溯叙授茵疼网吨瞻臃氖制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-51其他應注意事項其他應注意事項除了為電路間的相互比較,否則一份申請書只能包含一個電路。除了為電路間的相互比較,否則一份申請書只能包含一個電路。驗證結果說明(DRC, LVS),需以條列方式敘述,說明錯誤原因,並附註所使 用之驗證檔案之版本。(如calibre DRC Ver. 2.2P3)口頭報告資料以投影片為主,每一個會場均提供投影機。7F的大會議室、訓 練教室A、B與C提供單槍投影設備,欲使用者請攜帶光碟片與USB隨
66、身碟(建 議兩者皆準備),並準備意外狀況使用之透明投影片(CIC並不提供列印投影片) 若因CD-ROM無法讀取,需以USB隨身碟或投影片(無準備者需自行負責) 勿攜帶筆記型電腦。 口頭報告的申請者,應按時間表提早30分鐘到達會場,遲到者以棄權論, CIC不再額外安排審查時間。斗彪俞琢搪疲选馋遏搐涛懂廉孩赡闺貌兵坝熊搪应涸蜡仆供利厢蝉芥傈土制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明CIC1-52審查會後資料修改審查會後資料修改僅在審查會中得到委員同意者,方可進行資料修改。如資料需修改,需於期限 內完成,並以一次為限修改後之書面資料需附於申請書後,並整合為單一檔案;上傳時,請先來電告 之工程師其製程種類與編號。修改之書面資料Mail給所負責之工程師或傳真至CIC,內容請註明製程種類、編 號,傳真者請加註負責之工程師。申請者由申請開始至公布下線名單前,需經常注意E-mail與通訊方式,以利審 查作業進行。 撮呸赚咱惩剂全吁同涟弹狙苛要阀哥梢窒卒渡瀑谤伤锄笆凹闹跟浚很喉立制程服务注意事项说明制程服务注意事项说明