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1、气体纯化技术Purificationv基于“FAB”模式纯化所有的大宗气体（N2、O2、Ar、He、和CAD）v可以将纯度低于1ppb的气体纯度提高到0.1ppbv产气流量范围从10M3/hr到3000M3/hr。v对大量的特气也能纯化。Pure Gas Technologiesv吹扫/柜式纯化器v点使用式纯化器v区域纯化器v大型纯化器Bulk Gas Purification Technologiesv材料及操作原则v杂质去除v应用MaterialsGetters:均质金属（无支撑）：球状锆、钒、钛Supported Metals:支撑性材料、反应金属：球状铜、镍、铂、保护性物质Zeolit
2、es：均质金属：球状、分子筛Operationv纯化进程1、催化氧化2、物理吸收3、化学吸收催化氧化v催化氧化进程：将甲烷、非甲烷碳氢化合物氧化CO2和H2O。v方法：催化器+加温+O2v保护性物质+铂，300400 ，富氧环境v反应过程： 2H2+O2=2H2O 2CO+1O2=2CO2 1CH4+2O2=1CO2+2H2O催化氧化N2/ArO2COH2CH4CO2H2OH2OCO2CO2H2OPdPdOOO2PdO物理吸收v分子筛v优点： 1、能有效去除CO2与H2O（不去除O2） 2、筒室温度可控 3、进程在高温下完全可逆v缺点： 1、常量普通 物理吸附N2/ArO2COH2CH4CO2
3、H2OCO2H2O H2OH2OCO2化学吸收v支撑性金属（吸收器）：铜、镍、等v优点：1、金属能化学吸附O2、CO、H22、金属网格能物理吸附H2O与CO23、筒室温度可控4、进程在高温下完全可逆：NiO+H2+加温=Ni+H2O5、局部压力不会造成重大影响化学吸附支撑性金属N2/ArCOH2H2OCO2NiNiOO2Ni OONiNi化学吸收v捕获器：锆、钒、钛、等v优点：1、化学方式吸收N2、CH4、O2、H2O、CO、H2、CO22、筒室温度可控（低产量）或加热过程最优化3、相对较高的产量4、局部压力不会造成重大影响化学吸附捕获器He/ArHZrZrOO2Zr NCZrCO2/CON2
4、CH4热扩散 表面杂质 扩散至大宗气体300-400 0 CZrCZrCZrNZrNZrOZrO氧气纯化工艺催化床吸附床物理吸附物理吸附物理吸附物理吸附H H2 2OOH H2 2CHCH4 4COCO+O+O2 2COCO2 2+H+H2 2OOCOCO2 2PS6装配图仪表气体系统图PS6纯化器人机界面vSTATUS指示性的显示系统状态vTIME为当前进行步骤计时vTEMP& PRESSURE指示性的显示当前的压力温度vFLOW当前进程气体流量数人机界面按键v在任何界面下激活目录条v回到主界面v在任何界面下进入报警和警告界面v关闭报警声 提高/减低所需值 在多个文档中切换 人机界面操作v按
5、下 后出现的界面：Restart：启动初纯化器，或者在出现报警后取消报警并重启纯化器。Details:深入显示当前系统的控制点参数。Alarms:激活报警界面，显示激活的报警，警告及信息。Events:激活历史事件表，显示最多500条历史事件。人机界面操作v按下 后的界面人机界面操作人机界面操作故障处理v故障报警界面：v按下 后显示的界面。故障处理v当出现故障的时候STATUS信息会从System OK变到闪烁的Alarm、Warning信息。vACCEPT:点击确认单个报警信息。vALL：点击确认所有报警信息。vACCEPT后的警报信息会显示为灰色v未ACCEPT得警报信息会显示为红色v信息代码：表示Alarm 表示Warningv气Fault Reporting.xml结束v感谢大家！FIN！ vampirctutor
