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1、洁净室运作介绍洁净室运作介绍无尘室运作介绍报告大纲1.洁净室定义与历史演练2.洁净室的标准规范与分类3.洁净室系统设计模式4.洁净室构装设备与材料5.洁净室的测试与验收6.洁净室的运转管理无尘室运作介绍CLEAN ROOM定义洁净室洁净室洁净室洁净室 也称也称也称也称 洁净室、洁净室、洁净室、洁净室、CLEAN ROOMCLEAN ROOM，定义为：定义为：定义为：定义为： Defined by 209E : A room in which the concentration Defined by 209E : A room in which the concentration of airb
2、orne particles is controlled specified limitsof airborne particles is controlled specified limits。定义：将空气中微粒子，温度，湿度，室压，气流，风速，振定义：将空气中微粒子，温度，湿度，室压，气流，风速，振定义：将空气中微粒子，温度，湿度，室压，气流，风速，振定义：将空气中微粒子，温度，湿度，室压，气流，风速，振动，噪音，照明，及微生物等控制在一定值内的空间称之。动，噪音，照明，及微生物等控制在一定值内的空间称之。动，噪音，照明，及微生物等控制在一定值内的空间称之。动，噪音，照明，及微生物等控制在
3、一定值内的空间称之。按照控制对象区分：按照控制对象区分：按照控制对象区分：按照控制对象区分： 1.1.以浮游以浮游以浮游以浮游微粒子微粒子微粒子微粒子为对象的工业洁净室（为对象的工业洁净室（为对象的工业洁净室（为对象的工业洁净室（Industrial Clean Industrial Clean RoomRoom） 2.2.以浮游以浮游以浮游以浮游微生物微生物微生物微生物为对象的生化洁净室（为对象的生化洁净室（为对象的生化洁净室（为对象的生化洁净室（Biological Clean RoomBiological Clean Room） 无尘室运作介绍洁净室历史演进1958 美国发展太空科技开始
4、研究洁净室1961 完成美国空军洁净室相关规格1963 完成美国联邦洁净室规格 Federal Standard No.209无尘室运作介绍洁净室国际标准规范美国联邦 FED STD 209ISO / TC 209 无尘室运作介绍洁净室标准FED STD 209E无尘室运作介绍洁净室标准ISO / TC 209无尘室运作介绍无尘室运作介绍洁净室的分类层流模式乱流模式混合模式无尘室运作介绍空气气流之流动成一均匀之直线空气经由覆盖率100% HEPA 进入室内由高架地板回风适用于class1100层流型系统无尘室运作介绍空气由空调箱经风管与洁净室内之HEPA进入洁净室并由高架地板或侧面回风此型适用
5、于Class 1K100K乱流型系统无尘室运作介绍并用型系统高架地板回风区C-100C-10KC-10K无尘室运作介绍乱流式层流式并用式优点1. FILTER及空气处理设备简单容易；2. 设备费用低廉；3. 房间的扩充比较容易。1. 不受作业人数、作业状态影响，可保持高的洁净度；2. 换气次数多，从启动到所定状态所费时间极短。3. 污染物直接被吸到地板下，扩散度极低。1. 风量相对少，整体装置比较少；2. 设备费用中，比层流低廉；3. 作业人员影响小缺点1. 室内洁净度受到作业人数左右；2. 容易发生涡流；3. 换气次数少，从启动到所定状态所费时间较慢。1. 天花板全面装设高效FILTER，
6、因此更换保养不方便；2. 设备费用高；3. 作业空间不宜扩充。1. 收到生产机台尺寸、形状限制；2. 人、物动线计划受到限制；3. 不宜做大规模的修改。C/R各方式之比较无尘室运作介绍C/R系统基本要求控制微粒子数量至一定标准防止外界微尘粒子进入室内产生的微尘粒子与有害气体迅速的排出室外维持室内温度、湿度和压力防止静电的干扰系统稳定与节约能源考量无尘室运作介绍C/R洁净设施中央空调系统（AIR CORTROL SYSTEM）FFU（FAN FILTER UNIT）FMU（FAN MODULE UNIT）空气浴尘机（AIR SHOWER、PASS PAX）洗手烘干机（HAND WASHER DR
7、YER MACHINE）缓冲区（BUFFER ROOM）黏着脚垫（STICKY MAT）高效滤网（High Efficienty Particulate Air）泄压阀（Pressure damper）真空吸尘器（VACUUM CLEANER）无尘衣服（DUST FREE GARMENTS）等等无尘室运作介绍休息休息一下一下！无尘室运作介绍C/R检证验收项目HEPA泄漏测试风速风量测试正压测试洁净度测定温湿度测定照度测试绝缘测试其他测试无尘室运作介绍C/R检证条件CLEAN ROOM的验收条件：A条件条件（as-built）竣工时的洁净室仅其附属设备处于运转状态。B条件条件（as-rest）非作业时的洁净室生产机台以定位安装，开机运作中，但无作业人员的状态C条件条件（operational）作业时的洁净室所有的附属设备运行，生产机台开机运作，作业人员在场的生产状态条件C/R设备生产设备生产人员AYNNBYYNCYYY无尘室运作介绍洁净室的运转管理清净度管理温湿度管理室压控制管理气流速度管理人员教育管理无尘衣着管理节约能源管理无尘室运作介绍自然界之尘埃浓度无尘室运作介绍
