厂务系统厂务系统概述概述 一、一、厂务系统功能厂务系统功能目录目录三、三、厂务系统厂务系统流程流程二、二、厂厂务务系系统统使用材使用材质 一、一、厂务系统功能厂务系统功能 1.1 1.1 水系统在制程中的功能水系统在制程中的功能PCW制程冷却水制程冷却水制程机台冷却制程机台冷却UPW/DIW超超纯纯水水补补水水/清洗清洗/稀稀释释Chill Water冰水冰水冷却用冷源冷却用冷源/空空调调用冰水用冰水RW回收水回收水DI回收回收/冷凝回收冷凝回收/再生使用再生使用CW自来水自来水原水原水/一般用水一般用水 1.2 1.2 气体系统在制程中的功能气体系统在制程中的功能CDA压缩压缩干燥空干燥空气气搬运器搬运器/仪仪器之气器之气压压缸缸/一般冲吹一般冲吹GN2一般氮气一般氮气Purge/洁净洁净冲吹冲吹PN2纯纯化氮气化氮气Purge/空空间间填充填充/超超洁净洁净冲吹冲吹其他其他B-GAS大宗气体大宗气体制程需求制程需求/空空间间填充填充/超超洁净洁净冲吹冲吹S-GAS特殊气体特殊气体制程填充需求制程填充需求/制程需求制程需求 1.3 1.3 化学系统在制程中的功能化学系统在制程中的功能Chemical化学化学药药品品清清洁洁清洗清洗/制程需求制程需求 1.4 真空系真空系统统在制程中的功能在制程中的功能PV制程真空制程真空吸引吸引搬搬移移HV清清洁洁真空真空尘尘屑吸引清屑吸引清洁洁 Pump Line制程高真空制程高真空 制程制程转换转换之高真空建立之高真空建立Exhaust排气系排气系统统 制程制程转换转换之之废废气排除气排除Drain排水系排水系统统 制程使用之制程使用之废废DI/Chemical排放排放1.5 1.5 排气排气/ /排水系统在制程中的功能排水系统在制程中的功能 二、二、厂务系统使用材质厂务系统使用材质 2.1 2.1 水系统使用材质水系统使用材质PCW制程冷却水制程冷却水SUS 304/高高压软压软管管UPW/DIW超超纯纯水水CPVC/PVDF/PFA Chill Water冰水冰水SUS 304RW回收水回收水SUS 304CW自来水自来水SUS 304 CDA压缩压缩干燥空干燥空气气SUS 304L AP/BA/316L BAGN2一般氮气一般氮气SUS 316L BA/EPPN2纯纯化氮气化氮气SUS 316L EP其他其他B-GAS大宗气体大宗气体SUS 316L EP/PH2有有时时用双套管用双套管(EP/AP)S-GAS特殊气体特殊气体SUS 316L EP/双套管双套管/加加热热套套2.2 2.2 气体系统使用材质气体系统使用材质 2.3 2.3 化学系统使用材质化学系统使用材质有机有机类类化学化学药药品品溶溶剂类剂类→SUS 316 BA一般酸一般酸碱碱化学化学药药品品H2SO4/NaOH→PVC/CPVC其他其他化学化学药药品品CPVC/PFA/PVDF/PTFE 2.4 2.4 真空系统使用材质真空系统使用材质PV制程真空制程真空PVC SCH80/SUS 304HV清清洁洁真空真空PVC SCH80/SUS 304 2.5 2.5 排气系统使用材质排气系统使用材质Pump Line制程高真空制程高真空SUS 316 BA/EPGEX一般排气一般排气镀锌镀锌螺旋螺旋风风管管Solvent有机排气有机排气SUS 304全全焊焊式不式不锈钢风锈钢风管管Acid/Ak酸酸硷硷排气排气不不锈钢锈钢Teflon Coating风风管管 2.6 2.6 排水系统使用材质排水系统使用材质Drain一般排水一般排水PVC/PVC SCH80Solvent有机排气水有机排气水SUS 304不不锈钢锈钢管管Acid/Ak酸酸硷硷排气水排气水PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA 三、三、厂厂务务系系统统流程流程 3.1 3.1 制程冷却水系统简略流程制程冷却水系统简略流程原水原水补补水水膨膨胀胀水箱水箱冰水出冰水出冰水冰水进进板板 热热制程管制程管线线机台冷却机台冷却进进水水回水回水 3.2 3.2 冰水系统简略流程冰水系统简略流程冷却水塔冷却水塔MAU冰水冰水出出冰水冰水回回大大 气气冰水主机冰水主机冷媒循冷媒循环环VAUVAUAHU其他空其他空调调箱箱板板 热热冷却冷却水水 3.3 纯纯水系水系统简统简略流程略流程精密精密滤滤器器5μM 滤滤心心逆渗透模逆渗透模块块City Water自来水自来水多多层过滤层过滤器器阴阴/阳离子阳离子交交换树换树脂塔脂塔RO TankRO进进水槽水槽热热交交换换器器RO 储储水槽水槽精密精密滤滤器器1μM 滤滤心心CEDI纯纯水水储储水槽水槽紫外紫外线杀线杀菌灯菌灯核子核子级树级树脂脂精密精密滤滤器器1μM 滤滤心心精密精密滤滤器器0.2μM 滤滤心心制程使用点制程使用点 3.4 3.4 自来水自来水/ /回收水系统简略流程回收水系统简略流程自来水外管自来水外管水表水表/隔离隔离阀阀供供应应管管线线使用点使用点自来水自来水空气中水份空气中水份冷冷盘盘/空空调调箱箱回收管回收管线线回收水槽回收水槽回收水回收水使用点使用点 3.5 CDA/GN2/PN2系系统简统简略流程略流程CDAGN2/PN2大气大气空空压压机机蓄蓄压压槽槽初初级级过滤过滤器器冷冷冻冻式式干燥机干燥机吸附式吸附式干燥机干燥机精密精密过滤过滤器器大气大气氮气氮气产产生器生器液氮槽液氮槽蒸蒸发发器器减减压压站站过滤过滤器器纯纯化器化器使用点使用点一一/二次管二次管二次二次盘盘CQC使用点使用点一一/二次管二次管二次二次盘盘CQC 3.6 3.6 其他大宗气体其他大宗气体/ /特气系统简略流程特气系统简略流程O2Specialty Gas钢钢瓶瓶Cabinet气瓶柜气瓶柜VMB/P阀阀箱箱管管线线使用点使用点液氧液氧储储槽槽减减压压站站过滤过滤器器纯纯化器化器CQCHe/Ar/Kr/H2…钢钢瓶瓶/BundleTrunker减减压压站站过滤过滤器器一一/二次管二次管二次二次盘盘使用点使用点蒸蒸发发器器使用点使用点一一/二次管二次管二次二次盘盘纯纯化器化器CQC管管线线 3.7 3.7 高真空高真空/ /排气系统简略流程排气系统简略流程Pumping LineOthers Exhaust机台制程机台制程Chamber真空真空泵高真空高真空管路管路ScrubberGEX机台出口机台出口Damper风风管管风风机机高真空高真空管路管路大气大气Exhaust风风管管机台出口机台出口Damper风风管管风风机机Scrubber大气大气 3.8 3.8 真空系统简略流程真空系统简略流程PV制程机台制程机台使用点使用点真空管路真空管路真空真空储储槽槽真空真空PumpHV一一/二次管二次管二次二次盘盘配置需求配置需求使用点使用点真空管路真空管路真空真空清清洁储洁储槽槽真空真空Pump开关盒开关盒 3.9 3.9 化学系统简略流程化学系统简略流程Chemical化学品化学品供供应应槽槽车车传传送系送系统统供供应应槽槽分配系分配系统统化学品化学品储储槽槽VMB/P化学管路化学管路使用点使用点回收管回收管线线废废液液回收槽回收槽 3.10 3.10 废水收集系统简略流程废水收集系统简略流程Drain PipeDrain Pipe机台机台排放点排放点废水废水处理厂处理厂收集收集管线管线 3.11 3.11 废水处理系统简略流程废水处理系统简略流程Waste Water TreatmentWaste Water Treatment废水废水收集槽收集槽曝气槽曝气槽生物生物接触槽接触槽PH反应槽反应槽PH调整槽调整槽澄清槽澄清槽聚合物聚合物凝结槽凝结槽沉淀槽沉淀槽污泥污泥收集槽收集槽污泥污泥脱水机脱水机污泥饼污泥饼储槽储槽运弃运弃 英文缩写对照英文缩写对照 。