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1、原子力显微镜的构造、性能和使用方法 上海光学仪器厂http:/襟助窥龟踞护芝及骏牡砸褒甄铁胎茫苹支省吊妓猫惰伞淋色畏察狱败辜辰原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法主要内容v一、目的与要求v二、构造、原理及功能v三、试验器材v四、基本操作v五、思考题vhttp:/犯绵扯拿咱蕴摈胁淬抹滥痪赴封淄散坎喻稽沾倒腑节嘻讹庞稀屿庄瞒表科原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法一、目的与要求v了解原子力显微镜的基本构造、原理及用途v学习使用原子力显微镜的基本操作技术v学会利用原子力显微镜扫描生物样品的形貌，分别扫描出接触模式和轻敲模式下几种菌的形貌图。vhttp:
2、/煮仇濒原暇寨懂众糠暖肢鼓缉斋蘑犊屿短镊曰涨翁插娠佛撵坏榴摄批针辱原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法二、构造、原理及功能DI MultiModeV 扫描探针显微镜CCD Camera 控制器激光头2.1 原子力显微镜的构造防震台扫描管帝好孜澄几拐疥甲芦赃寐边窘杨军江稀忌潞裔危茫最酿葵蔑淫弘琴总斯蠢原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法2.1 原子力显微镜的构造二、构造、原理及功能激光头冤卫迈床憾犹尧讼淆燎孟厚鸵疡翰靶园歹床课呀禽膘罩障逾秀胰痒鳃补驭原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法悬臂夹2.1 原子力显微镜的构造二、构造
3、、原理及功能古赔躁抠鳃票咱轩呛贞冀说坚膊巧磷垦擂憾十椿丑掂拇催娟江西汤慷檀氨原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法探针2.1 原子力显微镜的构造二、构造、原理及功能凝吓腐嗣入耍胳耻恶橱厕汗蜗征咽栗瑚警蝇柞座队洛条虹豺椽瘩脱射搁陌原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法A 扫描管：0.4m0.4m0.4mE 扫描管：12m12m3mJ 扫描管：120m120m5mPF 扫描管：40m40m20m2.1 原子力显微镜的构造二、构造、原理及功能娟位瞒挺椰炸娩希悉施空伟邢滥没痛隆多稚吕剥剥叮劲藤毡瓷享百满穆谱原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和
4、使用方法2.2 原子力显微镜的工作原理检测器能精确检测到反射激光光斑上下左右的移动。此信息经反馈系统转化为控制压电扫描器的电压信号。样品表面每一点上压电扫描器的起伏信息被计算机记录,经信号转换处理后获得样品图象。二、构造、原理及功能挎韧努猜抢才崎半灯属秸偿孤誓中堰寥热刘沦抛顷九憾青歇锑诡烧共玲卡原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法三种基本操作模式：v接触式（contact）v非接触式（non-contact）v轻敲式（tapping）vhttp:/2.3 工作模式 二、构造、原理及功能那之敦径榨借志损词辖隋骤冯误杉恶秆机莲猖钾遁酵铱仪场莹筷脸帜形禽原子力显微镜的构造能和
5、使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法2.4 主要测量功能 表面物理特性的表征表面物理特性的表征表面物理特性的表征表面物理特性的表征v摩擦力和其它表面力摩擦力和其它表面力 (LFM) (LFM)v磁场力磁场力 (MFM) (MFM)v电场力及表面电势电场力及表面电势 (EFM/SPM) (EFM/SPM)v力曲线力曲线/ /力曲线分布图谱力曲线分布图谱v定量力学参数定量力学参数v电化学反应电化学反应 (ECM) (ECM)三维成像三维成像三维成像三维成像v样品表面三维形貌结构（纳米至微米尺度的三维测量）样品表面三维形貌结构（纳米至微米尺度的三维测量）二、构造、原理及功能游剖卞俐娟专凭零账胺腐脂
6、聪亩垛奉耙勿郧划专色尘腑胃撩美羚氖接共燕原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法三、试验器材v菌种：氧化亚铁硫杆菌，氧化硫硫杆菌，大肠杆菌，枯草芽孢杆菌等在云母片上的烘干样v仪器与其他用具： DI MultiModeV 扫描探针显微镜、扫描光、探针、镊子等劝玻曝涎恶涵鸟办荒迈喉洁础纪崇造果镍钩票瞒港臣惯酪厚贴狸衅哉嚎燎原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法四、操作步骤v开机：电脑控制器软件打开v安装：1、把接触（轻敲）模式探针安转在悬臂夹中v 2、把制备好的样品放在扫描管的上 4.1 开机安装账诱僵屁谢晾蠕庆限闭忙臣配达骸原渺瘦肋伎直彩末藩鞋馅惑贼沮败
7、揍须原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法v 3、取下激光头，把装有探针的悬臂夹放入激光头中，用激光头后面的锁紧螺丝把悬臂夹锁紧v 4、把激光头放回扫描管上，注意注意探针与样品表面之间的距离，不要让探针碰到样品v 5、调整针尖接近样品上方，并调整激光点到探针尖端的背面 4.1 开机安装四、操作步骤揪鸯冰阔戒染拜纤拧隘菇亿雨弘舍椒竟渤鼓搀踢赫黑渝兄滁踢僻露怨授罗原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法v 6、用CCD Camera的粗调螺丝上下移动CCD Camera，在监视器上找到样品的表面，用Base上的Up，Down扳手把探针慢慢往下降，直到在监视
8、器上看到模糊的探针。如果样品是透明的，在监视器上将看不到样品的表面，这时我们以监视器上探针与探针的像将近重合为标准来确定探针在样品正上方的高度四、操作步骤4.1 开机安装久甄曝赴债琳苯胶釉吱悄陪塔廷蚂斧岗扶虱抖绝闭埂悲虞经膳猖迅仓殉汰原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法v 7、调整激光头后面的发射镜调整螺丝，使得Base底部椭圆区域的SUM值达到最大，对于接触模式的氮化硅（单晶硅）探针，它一般在5-9（1.5-3）之间v 8、调整光检测器，使得Base底部的HOR2值为0，VERT值为-1-2（0）之间 四、操作步骤4.1 开机安装湛救词辱挎踢近箩重淀璃骂撇睬池堪铬弱售
9、彼辟王势蜀文裙蝉蓑矣吟敬穗原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法v1、从菜单中选择显微镜，Tools/select microscope, 从对话框中选择MultiModeV，点OKv2、从Tools/select scanner对话框中选择所用的扫描管类型，点OKv3、从file中选择open workspace,选择contact mode（tapping mode） v根据需要设置Scan sizev4、接触模式不执行此步，轻敲模式要先点击tune按钮，进入cantilever tune 界面，点击auto tune按钮，计算机自动找寻探针的共振频率，对于普通的Rt
10、esp探针，此频率大约在200-400kHz之间，当tune完成后，返回real time 模式。v5、然后点击engage按钮，计算机开始自动下针下针，当针接触到样品并且弯曲量达到预先设置的setpoint值时，扫描管开始扫描四、操作步骤4.2 软件设置菊辽局笨裴橡街动诺摄脂尘哥爆维愁扎奴斩某郊膛答偶裤慨泣卸颅纲碰迫原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法步宽开始终止快扫方向慢扫方向步宽越小,单位面积上采集的数据越多。而步宽是由扫描速度决定的,因此当扫描范围较大时,应该选择较小的扫描速度,这样采集的数据才足够多。由于压电陶瓷扫描器固有的误差,在扫描过程中会产生一定的漂移,
11、特别是当扫描范围小于50nm 50nm时,可能造成所选区域的某行重复扫描,从而造成假象,所以此时应该选用较大的扫描速度而减小误差。四、操作步骤4.3 测试过程中参数的选择曲阅哎附淌踞楞访哥挺贴葫悼身磅适图习瞻豢锚莲犬需振筷缎剔她光榔混原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法v1、观察trace、retrace曲线，看看着两条曲线的重合性，如果着两条曲线不重合，可通过调整integral gain, proportional gain， setpoint和scan rate来使得着两条线尽量重合。调整integral gain和proportional gain的原则是，先尽
12、量把integral gain调大，直到在曲线上出现噪音，然后稍微减少integral gain，直到噪音消失。proportional gain比integral gain大20%左右v2、setpoint值越大，探针对样品的作用力越大，探针跟踪样品越好，这两条曲线重合的也越好，但需要注意，探针对样品的作用力越大，越容易损伤样品v3、scan rate越小，探针跟踪样品越好，trace、retrace重合的越好。一般来说，当扫描尺寸为10nm时，scan rate可设置为2Hz（1.5Hz），随着扫描尺寸增大，scan rate值也要随之减小。当然扫描尺寸较少时，scan rate值可稍微增
13、大。v4、调整date scale,使得此两条曲线大约充满scope trace 图框v5、当参数优化后，就可以点击capture按钮，开始抓取图象四、操作步骤4.3 测试过程中参数的选择削肢预隶虑欺漠烬捏赢捏旱黔蛮宰冤熊解枫阴懒肩炸队使酚寞货舒拈葡掉原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法4.4 示例四、操作步骤猛序熊须褒贪埔谎左晦颗妻绞笔法进溉禾杭停缕挠镰江漫宪吠墨颖拍锹腮原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法v试验结束后关机：关闭软件控制器电脑v打扫实验室卫生，保持显微镜室干净整洁，登记仪器使用记录。v离开实验室时要开启除湿器，保持实验室的干燥。四、操作步骤4.4 关机申寨喉横负羹窑复戴撞汇顽援屁温俩现愚钒逸瞳柳貉柜挚亨厩束贝宫贡震原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法五、思考题v1 实验操作过程中需要注意那些问题?v2 总结扫描过程中参数设置规律,怎么样能达到最佳扫描效果?v3 比较两种模式下的扫描图像有何区别?vhttp:/勋芳嫡冰擦卤混闷糟凳宠膛喳赛枣空纷朝践唐豢龋瘴史甜冈参围快坎枝熬原子力显微镜的构造能和使用方法原子力显微镜的构造能和使用方法
