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1、2011-9-10单 晶 清 洗 设 备 培 训 概概 述述第一部分：单晶清洗设备的组成第一部分：单晶清洗设备的组成第二部分：单晶清洗设备的开机第二部分：单晶清洗设备的开机第三部分：单晶清洗设备操作第三部分：单晶清洗设备操作第四部分：单晶清洗设备的关机第四部分：单晶清洗设备的关机单晶清洗设备的组成单晶清洗设备的组成一、单晶制绒机 1、单晶制绒槽式主体/一台 2、上下料台/各一个 3、NaOH、IPA补液系统/一套 4、纯水预热槽/一个 5、电控柜/一个二、酸洗机 1、酸洗槽式主体/一台 2、上下料台/各一个 3、电控柜/一个三、去PSG机 1、去PSG槽式主体/一台 2、上下料台/各一个 3、
2、电控柜/一个四、甩干机单晶清洗设备功能介绍单晶清洗设备功能介绍单晶槽式制绒机：单晶槽式制绒机：用碱性溶液（NAOH）清洗硅片表面的污 损， 并在硅片表面刻蚀出金字塔形的绒面。 酸洗机：酸洗机：用HCL、HF去除硅片表面的金属离子。 去去PSG机：机：用HF去除硅片表面的磷硅玻璃。 甩干机：甩干机：先用水清洗硅片，再用热氮气去除硅片表面残留的液体。 单晶制绒设备主体单晶制绒设备主体 上下料台上下料台上料台下料台NAOH、IPA自动补液系统自动补液系统 纯水预热槽纯水预热槽 电控柜内部图电控柜内部图 压缩空气、氮气和纯水供应管压缩空气、氮气和纯水供应管工工 作作 流流 程程 NAHO预处理 60S
3、 上料台 DI水 喷淋 25S DI水 漂洗 10S HF 酸洗 10S DI水 漂洗 10SNAOH、IPA、辅助剂 制绒 1100S DI水 漂洗 10S DI水 漂洗 30S NAOH、H2O2 去损伤 180S 下料台单晶制绒单晶制绒工工 作作 流流 程程 HCL 酸洗 120S 上料台 甩干 下料台 DI水 喷淋 120S DI水 漂洗 60S DI水 喷淋 60S HCL、HF 酸洗 120S DI水 漂洗 60S酸洗酸洗工工 作作 流流 程程 HF 酸洗 120S 上料台 甩干 下料台 DI水 喷淋 120S DI水 喷淋 60S DI水 漂洗 60S DI水 漂洗 60S去PS
4、G DI水 低速喷淋 30S 上料高速吹N2 180S 卸料甩干机制绒设备开机前检查制绒设备开机前检查压缩空气、氮气、纯水：压缩空气、氮气、纯水： 阀门处于打开状态，压缩空气、氮气压力阀门处于打开状态，压缩空气、氮气压力4-6barDI水CDAN2CDA调压阀N2调压阀制绒设备开机前检查制绒设备开机前检查化学品补液槽按要求配液化学品补液槽按要求配液纯水预热槽温度达到设定值纯水预热槽温度达到设定值刻度标尺 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作第一步：打开设备电控柜总电源，依次打开各功能电源开关电控柜内各电源开关 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作第二步：等待触摸屏显示后，进入主
5、界面进行工艺参数设置参数设置按钮 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作点击“参数设置进入”按钮后，弹出密码框，输入密码后，按“确认”按钮即可进入参数设置项。进入参数设置画面，由工艺员对工艺参数（清洗时间、各槽温度、自动配液参数、排液时间）进行设置。 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作点击“自动补液参数设置”按钮后，进入画面，对各槽DI水、NAOH、IPA自动补液量进行设置自动补液画面 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作点击“时间温速度设置”按钮后，进入画面，对各槽清洗时间、及各加热槽的温度进行设置，机械臂速度设置为500MM/S，除设备调试外，一般不作改动。时间、温
6、度、速度设置 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作第三步：设置好工艺参数后，点击“返回”按钮，即可返回主菜单，然后点击“报警画面”，确认是否有报警。报警按钮弹出报警框，报警项显示为绿色，则是报警已解除，若显示为红色，则需要对报警进行手动处理。 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作进行手动处理时，在主菜单中点击手动按钮即可进入各手动画面：点击“上升”“下降”“左移”“右移”按钮即可对机械臂进行移动操作。点击“循环泵ON”按钮即可打开或关闭各循环泵，当标识显示为绿色时，即标识泵已打开。机械臂手动画面循环泵手动画面 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作点击“左盖开”“右盖开”
7、按钮即可打开盖板，标识显示为绿色即为打开状态，点击“左盖关”“右盖关”按钮即可关闭盖板。点击各对应槽体的“阀ON”，打开阀门排液，在排液前需对排液时间进行设置。槽盖手动画面槽盖手动画面排水手动画面排水手动画面 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作排水时间设置画面排水时间设置画面手动加热画面手动加热画面点击时间设置按钮进行各槽的排液时间设置，以S为单位。点击“加热ON”按钮，对所对应槽进行加热，加热时“加热”标识显示为绿色。 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作鼓泡加水手动画面手动补液设置点击“鼓泡阀ON”或“加水阀ON可对所需槽进行鼓泡或加水。设置好补液量，手动按“ON”按钮对
8、所需工艺槽DI水、NAHO、IPA进行补液 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作第四步：确认无报警后，再点击“监控画面”检查设备槽体的温度、液位是否达到标准，监控显示的花篮要与槽体里的一致。监控1监控2 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作若画面显示的花篮与槽体实际花篮不一致，可进入主菜单，点击“篮料强制”按钮，进入篮料设置画面。点击画面中的“有”按钮，则会显示有篮，点击“无”显示无篮。 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作第五步：进入“主菜单”，点击“系统启动画面”在手动状态下按“回原点”，当出现OK后，将触摸屏下方的自动手动开关切换到自动状态，按“自动启动”按钮，设
9、备开始运行系统启动画面 单晶制绒设备运行及操作单晶制绒设备运行及操作第六步：将装好硅片的料篮放于上料台后，按开始按钮，即进行生产。开始按钮单晶制绒设备的关机单晶制绒设备的关机1. 确保确保槽内无花篮槽内无花篮；2. 将设备切换到手动状态，将设备切换到手动状态，通过触摸屏排掉槽内液体，并加通过触摸屏排掉槽内液体，并加DI水水清洗干净；清洗干净；3.关闭电控柜内主电源开关、纯水预热槽电源开关；关闭电控柜内主电源开关、纯水预热槽电源开关；4.关闭纯水、氮气、压缩空气阀门。关闭纯水、氮气、压缩空气阀门。主电源主电源主电源主电源制绒机电控柜制绒机电控柜预热槽电控柜预热槽电控柜酸洗、去酸洗、去PSG设备开
10、机运行操作及关机设备开机运行操作及关机酸洗、去酸洗、去PSG开机前检查、运行操作及关机请参照制绒机。开机前检查、运行操作及关机请参照制绒机。酸洗设备去PSG设备 甩干机甩干机甩干设备开机前检查甩干设备开机前检查压缩空气、氮气、纯水：压缩空气、氮气、纯水： 阀门处于打开状态，压缩空气、氮气压力阀门处于打开状态，压缩空气、氮气压力4-6bar。DI水阀CDA阀N2阀 甩干机运行及操作甩干机运行及操作第一步：打开电源开关，在触摸屏“参数设置”画面中设置工艺参数，并点击“低温开”、“高温开”按钮。 甩干机运行及操作甩干机运行及操作第二步：等待温度控制器上的温度显示达到设定值；第三步：点击“开门”按钮，
11、打开盖板，放入装载硅片的片盒后，双手按住“关门”按钮，直至盖板关到位；第四步：按“运行”按钮进行工作；第五步：甩干结束，蜂鸣器响后按“开门”按钮，打开盖板取出片盒。甩干机的关机甩干机的关机1、打开盖板确认旋转盘内无片盒；、打开盖板确认旋转盘内无片盒；2、关闭盖板，将电源开关切换到关的状态；、关闭盖板，将电源开关切换到关的状态；3、打开电控柜门，关闭电源、打开电控柜门，关闭电源4、关闭、关闭DI水水N2CDA阀门阀门电源开关电控柜内总电源中联酸洗机中联酸洗机中联酸洗机比较与JJC酸洗机除多了自动烘干功能外，其它工艺均一致。开机检查及关机参照制绒设备。正面图背面图中联酸洗机中联酸洗机热风烘干系统加
12、热鼓风设备中联酸洗机的运行操作中联酸洗机的运行操作打开电源后，按触摸屏下方的“电源启动”按钮，启动后按“运转准备”按钮，等待触摸屏进入操作主画面。电源启动运转准备中联酸洗机的运行操作中联酸洗机的运行操作主画面主画面进入“主画面”后，按屏幕右下角的“菜单栏”，即进入菜单，对设备各项功能、工艺参数进行设置。菜单栏菜单栏点击菜单栏的各项功能，可进行开关盖板、机械臂手动移动、加液、排液、鼓泡、加热、循环泵开关、工艺参数的各项操作。中联酸洗机的运行操作中联酸洗机的运行操作当各工艺条件满足后，点击“原点搜索”，等屏幕左下角“原点指示”显示“已到原点”后，分别点击“自动模式”“清洗已准备”“机械手运行”，设备即进入自动运行状态。Thats all .Thank you. / 谢谢谢谢 ，再见。，再见。
