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1、相關抗反射材料相關抗反射材料 班級:奈米三乙組員:49714029張君瑋49714031張翔茹49714052鄭響宇 報告內容報告內容l填充抗反射材料開發l光學上的抗反射原理l抗反射材料的應用產品l抗反射微結構-MothsEye蛾眼效應l太陽能電池工作原理填充抗反射材料開發填充抗反射材料開發 l對填充抗反射材料設計而言，三項主要的技術特性須要掌握。(a)填充性(Fillingproperty)(b)蝕刻選擇比(Etchingselectivity)及吸光係數(c)與光阻劑相容性(Resistcompatibility)(a)填充性填充性(Filling property) l通常填充的行為會受
2、到通孔的深寬比、通孔的密度、填充材料的厚度、填充材料的化性(高分子結構和分子量)的影響。l本文使用三種不同化性的填充材料，及選擇兩種不同的填充材料的厚度；140nm和160nm來研究填充材料的化性和厚度對填充行為的影響。(圖一)如(圖一)所示，在兩種不同圖案的密度、兩種不同的填充材料的厚度(140nmand160nm)和三種不同填充材料的化性其填充特性的剖面圖。填充的行為很難定量，但由此剖面圖顯示比較厚的填充材料，會有比較小的高低落差(I-Dbias)。(圖二)如(圖二)所示，材料C有較大的操作條件，在較厚的厚度下有最小的高低落差。(b) 蝕刻選擇比及吸光係數蝕刻選擇比及吸光係數l在此專對蝕刻
3、選擇比及吸光係數的關係做一探討。針對於高分子的蝕刻速率，其定義如下：Ohnishinumber=TotalAtomicNumber/(TotalCarbonNumberTotalOxygenNumber)(圖三)Ohnishi number和蝕刻選擇比的關係 圖三顯示，當使用CF4/O2/Ar為蝕刻反應氣體時，Ohnishinumber和蝕刻選擇比蝕刻選擇比有很強的正相關性正相關性(圖四) Ohnishi number 和吸光係數的關係 如圖四所示，Ohnishi number和吸光係數吸光係數有著很強的負相關性負相關性，也由此 可得知蝕刻選擇比、吸光係數和Ohnishi number是相互關
4、連的。(c)與光阻劑的相容性與光阻劑的相容性 光阻劑的相容性對於一個有著高低落差的微影製程，是非常重要的，主要是因為相容性低的材料易於造成圖案的倒塌。 (圖五) 圖案的倒塌率和材料的關係圖 如圖五所示，材料C1顯示有較佳的相容性，因為其相同的實驗條件下有著相對較低的倒塌，其中“X”表示倒塌，“V”表示沒有發現倒塌 。最後根據以上之研究結果可知，被設計用來使用在雙鑲崁製程的主要的三項需求為 :1. 較低的高低落差填充性2. 高的蝕刻選擇比且最適化的吸光係數 以獲得較佳的線寬分布3.良好的光阻劑相容性以提供較為寬廣的操作條件 光學上的抗反射原理光學上的抗反射原理 l主要是利用光線在不同介質不同介質
5、中藉由控制反射塗層之折射率 與厚度的相乘積等於入射波長/奇數倍的效應而產生干涉效果，以獲得抗反射效果。 抗反射材料的應用產品抗反射材料的應用產品1.個人電腦、筆記型電腦2.數位相機、手錶鏡面3.行動電話、PDA4.LCDTV、PSP5.抗反射玻璃應用於電子產品應用於電子產品 - 保護模貼保護模貼lAR防反光防電磁輻射保護膜防反光防電磁輻射保護膜 基本上採用pet材質材質，三層防刮抗電磁輻射結構。保護膜厚度:0.25mm左右。防反光，抗電磁幅射，有效過濾紫外線。防反光，抗電磁輻射,有效過濾紫外線。静電吸附技術，不含膠水可多次黏貼。耐磨度極高、耐用。透光度達到99%，畫面清晰鲜明。這種在市場上比較
6、熱門，質量參差不齊。抗反射玻璃抗反射玻璃l原理:利用特殊工藝的雙面防反射涂層，與普通玻璃相比，光的平均透過率提高5%，反射率由8-10%降低到1.5%以下。 抗反射玻璃應用抗反射玻璃應用http:/ 1.太陽能電池玻璃蓋板，提高光電轉換效率。抗反射玻璃應用抗反射玻璃應用2.平板式太陽能熱水器玻璃蓋板，提高光熱轉換效率 http:/ http:/ -Moths Eye 蛾眼效應蛾眼效應l當材料表面次微米微結構尺度小於光波長表面次微米微結構尺度小於光波長時，使得光波無 法辨識出該微結構，於是在材料表面的折射率沿深度方向 呈連續變化，可減小折射率急遽變化所造成之反射現象減小折射率急遽變化所造成之反射現象。 由於這種結構和夜行性蛾類的眼睛構造類似，因此稱蛾眼效應。 太陽能電池工作原理太陽能電池工作原理l太陽能電池能將光能光能轉換成電能電能，也稱為光伏電池(Photovoltaic, PV)，是以半導體材料製作的光電元件 。http:/library.thinkquest.org太陽能電池發電原理是利用光伏效應光伏效應，當p-n半導體材料吸收0.22.4微米波長的太陽光，產生電子電洞對，接通電路後就形成從n型區到p型區的電流。太陽能電池的工作原理 參考資料參考資料http:/ - 保護膜介紹謝謝觀賞
