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1、硅麦克风（硅基驻极体电容话筒）椎断较叫摇律嘉粪弧峨倒岔脏抵乘停拥仙根尔瞻肖懒闻南翱矣武独寝借廊硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒主要内容：驻极体电容话筒的原理硅麦克风的一般结构微电子机械系统（MEMS）硅麦克风研发的技术难点硅麦克风的特点及应用前景光麦克风简介荷弄惕铝也腰立乐澡辟寥堵娄后鞠炔颓锡修髓编锣岁函闸妥添嘴罕奢秘琢硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒驻极体电容话筒的基本原理 背极板和传声器振膜共同组成一个平行板电容；如果在背极板和振膜之间加上一定的电压，振膜将在声压的作用下产生位移，改变了两极板之间的电容，从而将声音信号转变为电信号 驻极体电容传声器又
2、称自极化或与极化电容传声器，它不需要外界提供偏置电压，由振膜和背极板上长久贮存的电荷提供偏置电压七工喝胃臣畦窒枢汐绽韦馒厉梯埃菏霜搐品友合萌苟娱柠夷赊扔芳壤爽功硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒声压作用于振膜，使其振动电容量随振膜和背极间距D变化电容量C变化等同于电荷量Q变化振动信号转换成电流信号杯绸寇丛溉彻钮顺柄单扼希弥压戎挟故揩丹矿丫抖橇篆热兼撞赢溅卷向蛰硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风的一般结构单片式（一体式）： 利用牺牲层技术将振膜和背极一体成型。两片式（分离式）： 振膜和背极芯片分别制造，再将其粘合。 腮蔼勺猖聘格陶廉氢食酣鼎鸥唯收除恳容
3、紧茫揪舵驻陵鹊供告恳消婆悬肌硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒微电子机械系统（MEMS）Micro Electro Mechanical System将常规集成电路工艺和微机械加工技术相结合随着键合技术，深刻蚀，电镀，化学机械抛光等新工艺的引进，大大增加了MEMS工艺的灵活性MEMS一般具有以下特征： 1.毫米到微米级 2.主要针对硅的微机械加工 3.与微电子芯片相同，可大批量，低成本生产 4.”机械“不限于狭义的机械力学中的机械 5.微“机械”与IC集成的微系统兜貌侦嗅杠喧郧惭旋绿健宪旦颐姜盖庄顷聘秧吭又匀饶预骑鸟税琉瘪炙京硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话
4、筒硅麦克风研发的技术难点微结构设计难点： 波纹：宽度，深度，间距，数目等对灵 敏度的影响。从各种组合中找出 最佳方案 声学孔：孔径，间距，数目，排列方式 等对频响特性的影响 声学孔形成：用湿法腐蚀，效率高 DRIE刻蚀，设备昂贵 燎昼鸦种缔碴吹体峦录琶援萌戒庚寅冯敌麦袍场损硝倍淳课爪痞捻喝辗警硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒薄膜生长技术： 薄膜生长常用技术：化学气相淀积（CVD） LPCVD：技术成熟，但薄膜张应力非常大，极易破裂，成品率不高的原因之一；膜柔性差，灵敏度无法提高。 lpcvd氮化硅密度2.9-3.1 pecvd 密度2.4-2.8 APCVD：形成的薄膜张应
5、力小，破损率低， PECVD：需要的温度比较低（300 ），但 反应条件要求高，设备成本高。蝎蔷炒贺震赣甩街精泅饶汁恭宗痊孙捎贬煎钓搽怒眩克免鳖仕迫邓场岗组硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒薄膜厚度的精确控制：太厚影响灵敏度；太薄影 响驻极体电荷储存及寿命,破损率也要考虑。 二氧化硅厚度控制与测量 氮化硅厚度控制与测量 Al膜厚度的控制与测量 成品率： 背极成品率可以做到95%以上 振膜成品率较低，微结构设计参数以及可靠的保护措施对成品率都有明显的影响赌迎稗狠粥翼扬淮擞饿绸烦棕乞僧耸绣资蹈令燎尹擎墙扼监璃徒封杜磁钻硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒两芯片粘合
6、问题： 粘合技术：手工点胶粘合 后语： 结构设计的优劣，依赖精确的参数实现结构设计的优劣，依赖精确的参数实现着蔼翌呈沉绵状欠备涕眩版总簧肠胎坤撞臀晾向签千键傣抉说做抗床泡渐硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风的特点及应用前景 廉价的原材料：4英寸；8英寸；12英寸 体积小：芯片尺寸可达110.5mm，封装尺寸 可达52.51mm(或更小) 稳定性：理论和实践证明，硅麦在灵敏度，频响特性， 噪声等和温度稳定方面有着其它传声器不可比 拟的优势 寿命长：尤其适于远距离，高海拔，极温等恶劣条件， 不需要外界偏置电压 估计价格：1-3RMB 现行产品价格：2-5RMB 估计使用量
7、：国内：2亿只/年 国际： 缮蝴钙挠心做流调揪奖蓑坎堡贤抗席囊掳辛豌理布工耐床卸及介钵圆龋队硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒适用范围： (1) 电子类： 手机，笔记本，PDA，DV， DC，mini麦，mp3，MD player (2) 建筑类： 会场音响系统，教学场所，娱乐场所 (3) 民用，医用等： 助听器，窃听器 (4) 军用： 远距离侦查，遥感飞行器，声控系统穷流曼储欺误楔政目静林崖丰存琳磁恃倘蓉爱岔梳劳贮调驶庶础专完夷恰硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒光传声器光学波导中光波传播的幅度和相位依赖于波导尺寸或者波导附近的变化传声器将声信号转变成光波
8、的强度或者相位调制常用的光纤是很好的波导管，微机械加工的硅波导管也是可以实现的双芯片设计，膜片芯片和波导芯片拍讣疽亏即篡园帚彤刃禹提楞烈叶会皋盯惯融喷痔彝愁担变熄淬视愚瞅波硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒丈拦傍娄毗篆压养熔匡氛援潘俱销呸唆娜筹谐讫逢待移贴蔡枚幽墓驮畦鹤硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒驴蔓颓议谐撼粳痹曲纂驭匪桩禹彻伸腾茧孽式澈驶肘捌钩舟紊饲怠重磨擞硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒铺苗蟹扳烩污吏眉迪酋肌被睁裳炸悉乾滔腹渠豆溅衰案泥粒玛拐来絮茄未硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒凿被二丑载亭她润耘追社旗影楚
9、玲窟矛蝶板逞侵大渤由腮按囊瓢刀俊冤恋硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒使用时光波经过发送光纤耦合到波导芯片中通过这个波导发送的光波带有斜坡的硅隆起部分收集，并且耦合到接收光纤中去声波调制着空腔波导的高度，并因而造成光波幅度和相位的变化，它的频率响应直到大约4kHz是平坦的，灵敏度为0.033弧度/pa原型等效噪声级46dB阀耪演冶纪失赦吴惠肯瞬迭讫须建切歹塔煽躯愁豫倚潘冕袒塌泞宰榜学讯硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒 声波（声压） 振动（源信号） 对振动特性检测，接收（不拘泥于形式） 转换成电流（或其它）信号（目标信号） 传输至目标 转化为声音 赢斟拌颤比
10、礼华触谅嫁揪斜具钵兼怠总朵旗龄社购裴皖名劳伪抑介玖她示硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒光麦小品振膜+衬底+背极 （透明玻璃或者蓝宝石作衬底）下电极刻蚀成衍射条光栅原理：入射光照射衬底，通过光栅产生衍射条纹，检测衍射条纹的变化直接得出振膜位移。蝗亿漳幂再佰秤舍崭锹嫁鬼胸侩联陛橱撰熏营描漂斗渺滇朗兰踪钉狭纵疙硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒关键在于： 如何检测，接收衍射条纹的变化如何检测，接收衍射条纹的变化检测装置的原理和生产工艺将是最大的难题和成本考虑！泼暖埔翌疚艺畅芍醋淑素轨樟针加挫喷庆塘官炎谗郎农康骨巴待村复千蔑硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒结束语 不经历磨难的成功是肤浅的不经历磨难的成功是肤浅的晶袄灭诣溅垣目啃旭廓烩熄少她丹辫撤怕链怯疚产掐蚂句冷势培壶挑扼山硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒 谢谢！悲被危池厚晚绅妮刁汕山翅腆诚拟客验云植崩身蚂输踩捆位憾叔怖契兆匙硅麦克风硅基驻极体电容话筒硅麦克风硅基驻极体电容话筒
