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1、半导体硅片事业部1、简介2、主要产品3、精英团队4、质量认证5、环境控制6、品质监测7、主要测量设备概览8、产品控制ERP系统9、硅片产品处理流程10、联系我们硅材料事业部简介FTS半导体硅片事业部由东芝陶瓷株式会社（现更名为Covalent）、三井物产有限公司，Ferrotec集团共同出资组建。在2002年引进日本东芝陶瓷生产线和技术，并推出了4至6英寸硅片的生产。这是第一家外商独资企业在中国大陆最大的晶圆制造工厂。2002年开始硅片项目。2004年完成第一期投资，每月产能300000pcs抛光片。2006年完成第二期投资，每月产能400000pcs抛光片。2010年从Covalent（原东
2、芝陶瓷株式会社）引进多晶体技术，开始自己的晶棒拉制业务。Ferrotec Semiconductor Wafer Department is invested by Toshiba Ceramics (renamed asCovalent), Mitsui & Co., Ltd. and Ferrotec Group. It introduced 4 to 6 inches silicon waferproduction line and technology from Toshiba Ceramics of Japan in 2002. It is the firstwholly forei
3、gn-owned and biggest wafer manufacture company in China Mainland.2002 Silicon wafer project press conference and begin2004 First part completed, Polished wafer 300,000pcs/month2006 Final completed, Polished wafer 400,000 pcs/month2010 Introduction of crystal technology from Covalent,start own brand
4、business.主要产品4英寸、英寸、5英寸、英寸、6英寸硅片英寸硅片100mm、125mm、150mm Silicon Wafer搀杂剂：硼搀杂剂：硼/磷，砷，锑等等。磷，砷，锑等等。Dopant：Boron/ P-,P+,P+; As, Sb/ N+, N+精英团队Ferrotec硅材料事业部是由一个有丰富晶圆制造经验、技术力量强大的团队组成。超过30的工程师、技师和质量检查人员在日本接受过至少三个月的专业培训。Ferrotec Silicon Wafer Manufacture Department has a strong team with longwafer manufactur
5、ing experience.Over 30% engineers, operators and inspector had a long time training in Japan.质量认证质量是我们的生存的关键质量是我们的成长的根本质量的理念首先是在生产的每一个过程。ferrotec是致力于不断提高产品质量，以满足客户的需求，超越客户的期望。ISO9001：2008ISO14001：2004ISO9001：2008ISO/TS16949：2002环境控制由东芝空调，中国电子工程设计院提供环境控制。净空房的面积：1000级净空房有650平方米（退火，CVD，包装）100级的净空房490平方
6、米（最终洗净和最终检查）纯水：Kurita的水，工艺气体：液态空气支持系统24小时监控，净空房颗，净空房颗粒计数器实时监控空气分析，ICS-1000（NOx/SOx/NH3），生产现场有温度，湿度监视器By Toshiba air conditioner、ChinaElectronics Engineering Design InstituteClean room size：Class-1000 650m2 (Anneal, CVD, Packing)Class-100 490m2 (final clean, inspection)DI water：Kurita water，Process G
7、as：Air LiquidSupport system monitor，Clean room particle counterAir analyst ICS-1000（NOx/SOx/NH3），Temperature、moisture monitor品质监测ferrotec配备全套先进的测量和检测设备，生产装置系统在制造过程中追求最高质量标准，以达到同行业中不可替代的竞争优势。主要的测量设备产品控制ERP系统硅片产品处理流程多晶硅拉晶滚磨截断切片研磨腐蚀热处理背面处理倒角抛光洗净检查包装出荷联系我们上海申和热磁电子有限公司半导体硅片事业部Shanghai Shenhe Thermo-magnetics Co., Ltd Semiconductor Wafer Dept.Add：中国上海宝山城市工业区山连路181号200444No.181 Shanlian Rd, Baoshan Industury Garden,Shanghai, China. 200444Telephone：+86-21-3616 0798Fax No. ：+86-21-3616 0797E-Mail：Web: http:/http:/
