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1、哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术等离子体加工等离子体加工1贾宝贤贾宝贤 ( 5687026 Plasma Arc MachiningPAM哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术课程内容大纲课程内容大纲21 1绪论绪论2 2电火花加工电火花加工3 3电火花线切割加工电火花线切割加工4 4电化学加工电化学加工5 5超声波加工超声波加工6 6磨料与水喷射加工磨料与水喷射加工7 7激光加工激光加工8 8快速快速原原型型制造制造9 9电子束、离子束加工电子束、离子束加工1010化学化学加工加工、等离子体等离子体、磁性磨料加工、磁性磨料加工、挤压珩磨、挤压珩磨
2、哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术本讲内容本讲内容3一、等离子体加工基本原理一、等离子体加工基本原理二、等离子体加工材料去除速度和加工精度二、等离子体加工材料去除速度和加工精度三、等离子体加工设备三、等离子体加工设备四、等离子体加工应用四、等离子体加工应用哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术一一、原理、原理4w等等离离子子体体加加工工又又称称等等离离子子弧弧加加工工(Plasma Arc Machining)w利利用用电电弧弧放放电电使使气气体体电电离离成成过过热热的的等等离离子子气气体体流流束束，靠靠局局部部熔化及气化来去处材料。熔化及气化来去处
3、材料。等离子弧切割等离子弧切割.flv.flv哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术等离子体等离子体5 等等离离子子体体被被称称为为物物质质存存在在的的第第四四种种状状态态，物物质质存存在在的的通通常常三三种种状状态态是是气气、液液、固固三三态态。等等离离子子体体是是高高温温电电离离的的气气体体，它它由由气气体体原原子子或或分分子子在在高高温温下下获获得得能能量量电电离离之之后后，离离解解成成带带正正电电荷荷的的离离子子和和带带负负电电荷荷的的自自由由电电子子所所组组成成，整整体体的的正正负负电电荷荷数数值值仍相等，因此称为等离子体。仍相等，因此称为等离子体。哈工大哈工大(
4、 (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术6哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术等离子体具有高能量密度的原因等离子体具有高能量密度的原因7w机机械械压压缩缩效效应应：电电弧弧在在被被迫迫通通过过喷喷嘴嘴通通道道喷喷出出时时，通通道道对对电电弧弧产产生生机机械械压压缩缩作作用用，喷喷嘴嘴通通道道的的直直径径和和长长度度对对机械压缩效应的影响很大。机械压缩效应的影响很大。w热热收收缩缩效效应应：喷喷嘴嘴内内部部通通入入冷冷却却水水，使使喷喷嘴嘴内内壁壁受受到到冷冷却却，温温度度降降低低，因因而而靠靠近近内内壁壁的的气气体体电电离离度度急急剧剧下下降降，导导电电性性差差，电电
5、弧弧中中心心导导电电性性好好，电电离离度度高高，电电弧弧电电流流被被迫迫在在电电弧弧中中心心高高温温区区通通过过，使使电电弧弧的的有有效效截截面面缩缩小小，电电流流密密度度大大大大增增加加。这这种种因因冷冷却却而而形形成成的的电电弧弧截截面面缩缩小小作作用用，就就是是热热收收缩缩效效应应，一一般般高高速速等等离离子子气气体体流流量量越越大大，压力越大，冷却越充分，热收缩效应越强烈。压力越大，冷却越充分，热收缩效应越强烈。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术等离子体具有高能量密度的原因等离子体具有高能量密度的原因8w磁磁收收缩缩效效应应：电电弧弧电电流流周周围围磁磁场场作作
6、用用迫迫使使电电弧弧强强烈烈收收缩缩，电流密度更大，电弧更细、更稳定。电流密度更大，电弧更细、更稳定。w由由于于上上述述三三种种压压缩缩效效应应的的综综合合作作用用，使使等等离离子子体体的的能能量量高高度度集集中中，电电流流密密度度、等等离离子子体体电电弧弧的的温温度度都都很很高高，可可达达1100028000摄摄氏氏度度，气气体体的的电电离离度度也也随随着着剧剧增增，并并以以极极高高的的速速度度从从喷喷嘴嘴孔孔喷喷出出，具具有有很很大大的的动动能能和和冲冲击击力力，当当到到达达金金属属表表面面时时，可可以以释释放放出出大大量量的的热热能能，加加热热和和熔熔化金属，并将熔化了的金属材料吹除。化
7、金属，并将熔化了的金属材料吹除。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术等离子体等离子体9等等离离子子体体加加工工又又叫叫做做等等离离子子体体电电弧加工弧加工或或等离子体电弧切割等离子体电弧切割。把把喷喷嘴嘴2 2接接直直流流电电源源的的阳阳极极，钨钨电电极极5 5接接阴阴极极，使使阴阴极极钨钨电电极极5 5和和阳阳极极喷喷嘴嘴2 2的的内内壁壁之之间间发发生生电电弧弧放放电电，吹吹入入的的工工质质气气体体受受电电弧弧作作用用加加热热膨膨胀胀，从从喷喷嘴嘴喷喷出出形形成成射射流流7 7，称称之之为为等等离离子子体体射射流流，使使放放在喷嘴前面的材料在喷嘴前面的材料1 1充分加
8、热。充分加热。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术等离子体等离子体加工特点加工特点10 由由于于等等离离子子体体电电弧弧对对材材料料直直接接加加热热，因因而而比比用用等等离离子子体射流对材料的加热效果好得多。因此，体射流对材料的加热效果好得多。因此，等离子体射流等离子体射流主要用于各种材料的喷镀及热处理等方面；主要用于各种材料的喷镀及热处理等方面；等离子体电弧等离子体电弧则用于金属材料的加工、切割以及焊接等。则用于金属材料的加工、切割以及焊接等。 等等离离子子弧弧不不但但具具有有温温度度高高、能能量量密密度度大大的的优优点点，而而且且焰焰流流可可以以控控制制。适适当当的的
9、调调节节功功率率大大小小、气气体体类类型型、气气体体流流量量、进进给给速速度度和和火火焰焰角角度度，以以及及喷喷射射距距离离，可可以以利利用用一一个个电极加工不同厚度和多种材料。电极加工不同厚度和多种材料。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术二、材料二、材料去除速度和加工精度去除速度和加工精度11 取取决决于于工工件件的的热热学学性性质质、加加工工速速度度、切切割割深深度度以以及及所所采采用的加工参数。用的加工参数。w切切割割速速度度 成成形形切切割割厚厚度度为为25mm的的铝铝板板时时的的切切割割速速度度为为760mm/min， 而而 厚厚 度度 为为 6.4mm钢钢
10、板板 的的 切切 割割 速速 度度 为为4060mm/min，采采用用水水喷喷时时可可增增加加碳碳钢钢的的切切割割速速度度，对对厚厚度度为为5mm的钢板，切割速度为的钢板，切割速度为6100mm/min。w切切边边斜斜度度 切切边边的的斜斜度度一一般般为为2o7o，当当仔仔细细控控制制工工艺艺参参数数时时，斜度可保持在斜度可保持在1o2o。w切切缝缝宽宽度度 对对厚厚度度小小于于25mm的的金金属属，切切缝缝宽宽度度通通常常为为2.55mm：厚度达：厚度达150mm的金属，切缝宽度为的金属，切缝宽度为1020mm。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术二、加工精度和表面粗糙
11、度二、加工精度和表面粗糙度12w加加工工精精度度 孔孔径径10mm以以内内，板板厚厚4mm时时的的加加工工精精度度为为0.25mm，厚厚度度达达35mm时时，孔孔或或槽槽精精度度为为0.8mm。w表表面面粗粗糙糙度度 通通常常为为Ra1.63.2m，热热影影响响层层分布的深度为分布的深度为15mm。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术二、设备二、设备和工具和工具13简单的设备简单的设备有：手持等离子切割器、小型手提式装置。有：手持等离子切割器、小型手提式装置。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术二、设备二、设备和工具和工具14复复杂杂的的设设备备有有
12、程程序序控控制制和和数数字字程程序序控控制制的的设设备备、多多喷喷嘴嘴的的设设备，采用光学跟踪的设备。备，采用光学跟踪的设备。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术二、设备二、设备和工具和工具15在在数数控控机机床床上上可可安安装装先先进进的的等等离离子子体体切切割割系系统统，并并实实现现喷喷嘴嘴的的自自适适应应控控制制，以以自自动动寻寻找找和和保保持持喷喷嘴嘴与与板板材材的的正正确确距距离离。除除了了平平面面成成形形切切割割外外，还还有有用用于于车车削削、开开槽槽、钻钻孔孔和和刨刨削削的的等离子体加工设备。等离子体加工设备。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现
13、代加工技术二、设备二、设备和工具和工具16切切割割用用的的直直流流电电源源空空载载电压为电压为300V左右，左右，用用氩氩气气作作为为工工质质气气体体时时空空载载电电压压可可降降低低为为100V左左右右，电电极极材材料料为为铈铈钨钨或钍钨。或钍钨。用用压压缩缩空空气气作作为为工工质质气气体体时时，电电极极材材料料为为锆锆或或铪。铪。使使用用的的喷喷嘴嘴材材料料一一般般为为纯铜或锆铜。纯铜或锆铜。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术实际应用实际应用17w广泛用于切割广泛用于切割w穿孔穿孔w热辅助加工（热切削复合加工）热辅助加工（热切削复合加工）w焊接焊接w表面加工表面加工哈
14、工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术实际应用实际应用- -切削切削18等等离离子子体体加加工工已已广广泛泛用用于于切切割割各各种种金金属属材材料料特特别别是是不不锈锈钢钢、铜铜、铝铝的的成成形形切切割割。已已获获得得重重要要的的工工业业应应用用。它它可可以以快快速速而而较较整整齐齐地地切切割割软软钢钢、合合金金钢钢、钛钛、铸铸铁铁、钨钨、钼钼等等。切割不锈钢、铝及其合金的厚度一般为切割不锈钢、铝及其合金的厚度一般为3100mm。等离子体还用于等离子体还用于金属的穿孔加工金属的穿孔加工。等等离离于于体体弧弧还还作作为为热热辅辅助助加加工工。这这是是一一种种机机械械切切削削和和
15、等等离离子子弧弧的的复复合合加加工工方方法法，在在切切削削前前，用用等等离离子子弧弧对对工工件件待待加加工工表表面面进进行行加加热热，使使工工件件材材料料变变软软，强强度度降降低低，从从而而使使切切削削加加工工具具有有切切削削力力小小、效效率率高高、刀刀具具寿寿命命长长等等优优点点，已已用用于于车车削削、开槽、刨削等。开槽、刨削等。数控等离子相贯线切割数控等离子相贯线切割 国冶数控国冶数控 高清高清.mp4.mp4哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术19哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术20哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术
16、21哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术22哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术实际应用实际应用- -焊接焊接23 等等离离子子体体电电弧弧焊焊接接已已得得到到广广泛泛应应用用，使使用用的的气气体体为为氩氩气气。用用直直流流电电源源可可以以焊焊接接不不锈锈钢钢和和各各种种合合金金钢钢，焊焊接接厚厚度度一一般般在在110mm, 1mm以以下下的的金金属属材材料料用用微微束束等离子弧焊接。等离子弧焊接。 近近代代又又发发展展了了交交流流及及脉脉冲冲等等离离子子体体弧弧焊焊铝铝及及其其合合金的新技术。金的新技术。 等等离离子子体体现现还还用用于于各各种种合
17、合金金钢钢的的熔熔炼炼，熔熔炼炼速速度度快，质量好。快，质量好。等离子弧焊接与切割等离子弧焊接与切割.flv.flv哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术实际应用实际应用- -表面处理表面处理24 等等离离子子体体表表面面加加工工技技术术近近年年来来有有了了很很大大的的发发展展，日日本本近近年年试试制制成成功功一一种种很很容容易易加加工工的的超超塑塑性性高高速速钢钢，就就是是采采用用这这一一技技术术实实现现的的，采采用用等等离离子子体体对对钢钢材材进进行行预预热热处处理理和和再再结结晶晶处处理理，使使钢钢材材内内部部形形成成微微细细化化的的金金属属结结晶晶微微粒粒。结结晶晶
18、微微粒粒之之间间联联系系韧韧性性很很好好，所所以以具具有有超超塑塑性性能能，加工时不易碎裂。加工时不易碎裂。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术实际应用实际应用- -表面处理表面处理25 采采用用等等离离子子体体表表面面加加工工技技术术，还还可可提提高高某某些些金金属属材材料料的的硬硬度度，例例如如使使钢钢板板表表面面氮氮化化，可可大大大大提提高高钢钢材材的的硬硬度。度。 在在氧氧等等离离子子体体中中，采采用用微微波波放放电电，可可使使硅硅、铝铝等等进进行氧化，制得超高纯度的氧化硅和氧化铝。行氧化，制得超高纯度的氧化硅和氧化铝。 采采用用无无线线电电波波放放电电，在在氮氮
19、等等离离子子体体中中，对对钛钛、锆锆、铌铌等等金金属属进进行行氮氮化化，可可制制得得氮氮化化钛钛、氮氮化化锆锆、氮氮化化铌铌等等化合物。化合物。 由由直直流流辉辉光光放放电电发发生生的的氮氮等等离离子子体体，使使四四氯氯化化钛钛、氢氢气气与与甲甲烷烷发发生生反反应应，可可在在金金属属表表面面生生成成碳碳化化钛钛，大大大大提高了材料的强度和耐磨性能。提高了材料的强度和耐磨性能。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术实际应用实际应用- -表面加工表面加工26 等等离离于于体体还还用用于于人人造造器器官官的的表表面面加加工工，采采用用氨氨和和氢氢- -氮氮等等离离子子体体，对对人
20、人造造心心脏脏表表面面进进行行加加工工，使使其其表表面面生生成成一一种种氨氨基基酸酸，这这样样，人人造造心心脏脏就就不不受受人人体体组组织织排排斥斥和和血液排斥，使人造心脏植入手术更易获得成功。血液排斥，使人造心脏植入手术更易获得成功。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术工作保护工作保护27 等等离离子子体体加加工工时时，会会产产生生噪噪声声、烟烟雾雾和和强强光光，因因此此需需对对噪噪声声和和烟烟雾雾进进行行控控制制，并并对对眼眼睛睛进进行行保保护护。常常采采用用高高速速流流动动的的水水屏屏，使使高高速速流流动动的的水水通通过过一一个个围围绕绕在在切切削削头头上上的的环环
21、喷喷出出，这这样样就就形形成成了了一一个个水水的的屏屏幕幕或或防防护护罩罩，从从而而大大大大减减少少了了等等离离子子体体加加工工过过程程中中产产生生的的光光、烟烟和和噪噪声声的的不不良良影影响响。在在水水中中加加入入染染料料，可可以以降降低低电电弧弧的的照照射射强度。强度。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术参考参考1 128一、等离子体的三种效应一、等离子体的三种效应1.机机械械压压缩缩效效应应。电电弧弧在在被被迫迫通通过过喷喷嘴嘴通通道道喷喷出出时时，通通常常对对电电弧弧产产生生机机械械压压缩缩作作用用，而喷嘴通道的直径和长度对机械压缩效应的影响很大。而喷嘴通道的直径
22、和长度对机械压缩效应的影响很大。2.热热收收缩缩效效应应。喷喷嘴嘴内内部部通通入入冷冷却却水水，使使喷喷嘴嘴内内壁壁受受到到冷冷却却，温温度度降降低低，因因而而靠靠近近内内壁壁的的气气体体电电离离度度急急剧剧下下降降，导导电电性性差差，电电弧弧中中心心导导电电性性好好，电电离离度度高高，电电弧弧电电流流被被迫迫在在电电弧弧中中心心高高温温区区通通过过，使使电电弧弧的的有有效效截截面面缩缩小小，电电流流密密度度大大大大增增加加。这这种种因因冷冷却却而而形形成成的的电电弧弧截截面面缩缩小小作作用用，就就是是热热收收缩缩效效应应，一一般般高高速速等等离离子子气气体体流流量量越越大大，压力越大，冷却越
23、充分，则热收缩效应越强烈。压力越大，冷却越充分，则热收缩效应越强烈。3.磁磁收收缩缩效效应应。由由于于电电弧弧电电流流周周围围磁磁场场的的作作用用，迫迫使使电电弧弧产产生生强强烈烈的的收收缩缩作作用用，使使电弧变得更细，电弧区中心电流密度更大，电弧更稳定而不扩散。电弧变得更细，电弧区中心电流密度更大，电弧更稳定而不扩散。上上述述三三种种压压缩缩效效应应的的综综合合作作用用，使使等等离离子子体体的的能能量量高高度度集集中中，电电流流密密度度、等等离离子子体体电电弧弧的的温温度度都都很很高高，达达到到1100028000（普普通通电电弧弧仅仅50008000），气气体体的的电电离离度度也也随随着着
24、剧剧增增，并并以以极极高高的的速速度度从从喷喷嘴嘴孔孔喷喷出出，具具有有很很大大的的动动能能和和冲冲击击力力，当当达达到到金金属属表表面面时时，可可以以释释放放出出大大量量的的热热能能，加加热热和和熔熔化化金金属属，并并将将熔熔化化的的金金属属材材料料吹吹除除。等离子电弧不但具有温度高、能量密度大的优点，而且焰流可以控制。等离子电弧不但具有温度高、能量密度大的优点，而且焰流可以控制。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术参考参考2 229二、材料去除速度和加工精度二、材料去除速度和加工精度等等离离子子体体切切割割的的速速度度是是很很高高的的，成成形形切切割割厚厚度度为为25
25、mm的的铝铝板板时时的的切切割割速速度度为为760mm/min，而而厚厚度度为为6.4mm钢钢板板的的切切割割速速度度为为4060mm/min，采采用用水水喷喷时时可可增增加加碳碳钢钢的的切切割割速速度度，对对厚厚度度为为5mm的的钢钢板板，切切割割速速度度为为6100mm/min。切切边边的的斜斜度度一一般般为为27，仔仔细细控控制制工工艺艺参参数数时时，斜斜度度可可保保持持在在12。厚厚度度小小于于25mm的的金金属属，切切缝缝宽宽度度为为2.55mm；厚厚度度可可达达150mm的的金金属属，切切缝缝宽宽度度为为1020mm。等等离离子子体体加加工工孔孔的的直直径径在在10mm以以内内，钢
26、钢板板厚厚度度为为4mm时时，加加工工精精度度为为0.25mm，当当钢钢板板厚厚度度达达35mm,加加工工孔孔或或槽槽的的精精度度为为0.8mm。加加工工后后的的表表面面粗粗糙糙度度通通常常为为Ra1.63.2um，热热影影响响层层分分布布的的深深度度为为15mm，决定于工件的热学性质、加工速度、切割深度，以及所采用的加工参数。决定于工件的热学性质、加工速度、切割深度，以及所采用的加工参数。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术参考参考3 330三、设备和工具三、设备和工具简简单单的的等等离离子子体体加加工工装装置置有有手手持持等等离离子子体体切切割割器器和和小小型型手手提
27、提式式装装置置；比比较较复复杂杂的的有有程程序序控控制制和和数数字字程程序序控控制制的的设设备备；还还有有采采用用光光学学跟跟踪踪的的设设备备。工工作作台台尺尺寸寸达达13.4m25m，切切割割速速度度为为506100mm/min，在在大大型型程程序序控控制制成成形形切切削削机机床床上上可可安安装装先先进进的的等等离离子子体体切切割割系系统统，有有喷喷嘴嘴的的自自适适应应控控制制，以以自自动动寻寻找找和和保保持持喷喷嘴嘴与与板板材材的的正正确确距距离离。除除了了平平面面成成形形切切割割外外，还还有有用用于于车车削削、开开槽槽、钻钻孔孔和和刨刨削削的的等等离离子子体体加加工工设设备备。切切割割用
28、用的的直直流流电电源源空空载载电电压压一一般般为为300V左左右右，用用氩氩气气作作为为切切割割气气体体时时空空载载电电压压可可以以降降低低为为100V左左右右。常常用用的的电电极极为为铈铈钨钨或或钍钍钨钨。用用压压缩缩空空气气作作为为工工质质气气体切割使用的电极为金属锆或铪。使用的喷嘴材料一般为鈍铜或锆铜。体切割使用的电极为金属锆或铪。使用的喷嘴材料一般为鈍铜或锆铜。哈工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术参考参考4 431四、实际应用四、实际应用等等离离子子字字体体加加工工已已广广泛泛用用于于切切割割。各各种种金金属属材材料料，特特别别好好似似不不绣绣钢钢、铜铜、铝铝的的
29、成成形形切切割割，以以获获得得重重要要的的工工业业应应用用。它它可可以以快快速速而而较较整整齐齐地地切切割割软软钢钢、合合金金钢钢、钛钛、铸铸铁铁、钨钨、钼钼等等。切切割割不不绣绣钢钢、铝铝及及其其合合金金的的厚厚度度一一般般为为3100mm。等等离离子子体体还还用用于于金金属属的的穿穿孔孔加加工工。此此外外，等等离离子子体体弧弧还还作作为为热热辅辅助助加加工工。这这是是一一种种机机械械切切削削和和等等离离子子弧弧的的复复合合加加工工方方法法，在在切切削削过过程程中中，用用等等离离子子弧弧对对工工件件待待加加工工表表面面进进行行加加热热，使使工工件件材材料料变变软软，强强度度降降低低，从从而而
30、使使切切削加工具有切削刀小、效率高、刀具寿命长等优点。削加工具有切削刀小、效率高、刀具寿命长等优点。等等离离子子体体电电弧弧焊焊接接已已得得到到广广泛泛应应用用，使使用用的的气气体体为为氩氩气气。用用直直流流电电源源可可以以焊焊接接不不绣绣钢钢和和各各种种合合金金钢钢，焊焊接接厚厚度度一一般般在在110mm，1mm以以下下的的金金属属材材料料用用微微束束等等离离子子弧弧焊焊接接。近近代代又又发发展展了了交交流流及及脉脉冲冲等等离离子子体体弧弧焊焊铝铝及及其其合合金金的的新新技术。等离子体弧还用于各种合金钢的熔炼，熔炼速度快，质量好。技术。等离子体弧还用于各种合金钢的熔炼，熔炼速度快，质量好。哈
31、工大哈工大( (威海威海) ) 现代加工技术现代加工技术参考参考4 432四、实际应用四、实际应用等等离离子子体体表表面面加加工工技技术术近近年年来来有有了了很很大大的的发发展展。日日本本近近年年试试制制成成功功一一种种很很容容易易加加工工的的超超塑塑性性高高速速钢钢，就就是是采采用用这这一一技技术术实实现现的的；采采用用等等离离子子体体对对钢钢材材进进行行预预热热处处理理和和再再结结晶晶处处理理，使使钢钢材材内内部部形形成成微微细细化化的的金金属属结结晶晶微微粒粒。结结晶晶微微粒粒之之间间联联系系韧韧性性很很好好，所所以以具有超塑性能，加工时不易碎裂。具有超塑性能，加工时不易碎裂。采采用用等
32、等离离子子体体表表面面加加工工技技术术，还还可可提提高高某某些些金金属属材材料料的的硬硬度度，例例如如使使钢钢板板表表面面氮氮化化，可可大大大大提提高高钢钢材材的的硬硬度度。在在氧氧等等离离子子体体中中，采采用用微微波波放放电电，可可使使硅硅、铝铝等等进进行行氧氧化化，制制得得超超高高纯纯度度的的氧氧化化硅硅和和氧氧化化铝铝。采采用用无无线线电电波波放放电电，在在氮氮等等离离子子体体中中，对对钛钛、锆锆、铌等金属进行氮化，可制得氮化钛、氮化锆、氮化铌等化合物。铌等金属进行氮化，可制得氮化钛、氮化锆、氮化铌等化合物。等等离离子子体体还还用用于于人人造造器器官官的的表表面面加加工工；采采用用氨氨和
33、和氢氢-氮氮等等离离子子体体，对对人人造造心心脏脏表表面面进进行行加加工工，使使其其表表面面生生成成一一种种氨氨基基酸酸，这这样样，人人造造心心脏脏就就不不易易受受人人体体组组织织排排斥斥和和血血液液排排斥斥，使人造心脏植入手术更易获得成功。使人造心脏植入手术更易获得成功。等等离离子子体体加加工工时时，会会产产生生噪噪声声、烟烟雾雾和和强强光光，故故要要求求对对其其工工作作地地点点进进行行控控制制和和防防护护，常常采采用用的的方方法法就就是是采采用用高高速速流流动动的的水水屏屏，即即高高速速流流动动的的水水通通过过一一个个围围绕绕在在切切削削头头上上的的环环管管喷喷出出，这这样样就就形形成成了了一一个个水水的的屏屏幕幕或或防防护护罩罩，从从而而大大大大减减少少了了等等离离子子体体加加工工过过程程中产生的光、烟和噪声的不良影响。在水中混入染料，可以降低电弧的照射强度。中产生的光、烟和噪声的不良影响。在水中混入染料，可以降低电弧的照射强度。
