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1、靜電防護教育訓練E S DQAQA葉經理葉經理24 各類常用靜電防護材料 1. 靜電環 由伸縮拉環，內含1Mega 10%電阻之導線及接頭所構成。 配帶靜電環時必須注意到：(a)靜電環必須與手緊密接觸， 不可鬆脫或套於衣袖上(b)與接地之間必須保持1M 10%之電阻(c)接頭必須固定妥當， 當接頭未接地妥當時，不得碰觸材料2. 抗靜電材料(袋、管、管塞、盒等) 在材料上塗佈抗靜電液，使材料不會產生靜電荷，或僅產生微量的靜電荷(通常在100V以下)。此類材料表面電阻要求在1012/square以下，靜電消散時間2sec。使用此材料應：(a)此材料僅能防止本身產生靜電，而卻無法防止靜電場破壞(b)
2、表面塗層必須考慮其有效期(c)一般工業界會將此類產品製成粉紅色ESD 訓練教材25 3. 靜電遮蔽材料(袋、管、管塞、盒等) 此種材料一般含有二或三層，上下(或外)層是抗張力強的抗靜電化學合成物質(R1012/square，靜電消散時間2sec) ，中間(或內)層是一層薄薄的金屬箔(105 R 109 /square)。使用時需注意：(a) 避免使用尖銳物品刮壞金屬層(b)封閉的導電袋或容器才有完全之保護4. 靜電消除器 利用儀器所產生的大量離子，將絕緣體表面的靜電予以中和。使用靜電消除器必須注意：(a)靜電消除器必須在工作範圍45呎內方為有效區域(b)靜電消除器必須定期清理所積聚之灰塵，至少
3、3個月內清理一次(c)靜電消除器必須定期檢查其離子是否平衡(d)靜電消除器會產生臭氧(O3) 對人體無害(有益) ，但臭氧濃度不可超過0.1DPP M ，否則其異味會使人難以忍受ESD 訓練教材265. 防靜電工作桌1. 人體2. 靜電環3. 防靜電桌面4. 儀器5. 靜電鞋6. 導電地板ESD 訓練教材28 各種靜電標示警告 A.對ESD敏感標示：C.對ESD敏感“+外弧去斜之標示: 適用於告知電子零組件對ESD 用於工具或材料上已具有控制ESD極為敏感，易遭ESD破壞。 之功效。 B.對ESD敏感+警語之標示： D.對ESD敏感標示亦可用： 適用於防靜電包裝袋上。ESD 訓練教材29 對E
4、SD之要求 設備要求1.設備機殼：AC-INPUT一律使用三插頭有接地端子電源線，設備外殼一律接地。(AI 、 RI、SMD 、加工成型機、測試儀器、錫爐等)2.外加工治具：一律使用金屬製作，並接地處理。(含散熱片鎖附治具)3.維修站：工作台表面，需鋪上靜電墊，其表面阻值為105 109/SQUARE ，人員、儀器皆需確實接地4.鉻鐵：外殼需接地處理5.零件盒：半導體之零件被裝置或取出時，作業人員需配帶靜電環，零件放於導電容器或導電之零件盒中。半導體零件嚴禁放置於塑膠容器(非靜電盒)或保麗龍容器中ESD 訓練教材30搬運要求1.靜電盒：石墨型(黑色，永久型)規格為105109/SQUARE，
5、可使用期限一年以上2.金屬盒：手插件段(HI)放置小零件之料盒，一般為不銹鋼導體，必須接地使用3.籃子：防靜電盒如使用一般塑膠籃，則需加上防靜電之隔離使用4.輸送帶：生產線若以輸送帶方式作業時，輸送帶及其各裝置 需確實接地5.台車：A/I室及生產線的搬運台車，一般必須使用導體材質， 並在台車底部加接地鍊條，鍊條必須與地面接觸儲存要求1.濕度：儲存空間之相對濕度需控制於50%60%的範圍之內2.保存架：必須使用導體材質，及具備接地設施3.取放材料：儲存人員取放材料時必須配帶靜電環並接地ESD 訓練教材4.裝取容器：拆封之半導體需使用防靜電袋分裝，不可使用一般之塑膠袋包裝人員要求人員：工作人員一律
6、配帶有線靜電環並接地，靜電環需每日點檢兩次， 嚴禁使用無線之靜電環ESD點檢1. 點檢內容：2. 做靜電測試定時需附記當時之溼度及溫度。31ESD 訓練教材323.若使用靜電防止劑，需明確記錄下次的塗佈使用時間。4. 每日確認作業員腕帶的接地狀況及是否有斷線。5.保存用導電零件盒的外圍，需貼上任何作業員看後均可明瞭之標籤，以標示其內存有不耐靜電之零件。 6. 靜電盒上需貼上能負荷靜電量及檢驗日期之標籤。 7. 確實記錄點檢所得資料。 【註】靜電環點檢方法1. 作業員於座位上坐好後，帶上靜電環（右手操作者將靜電環戴於左手，左手操作者將靜電環戴於右手）並將靜電環接地線插頭插於接地孔中。2. 線上領
7、班攜帶靜電環檢測器至各作業員作業位置，將檢測器接地線插頭插於接地孔中。3. 作業員自行壓下檢測開關(靜電環戴於左手者，用右手壓檢測開關；靜電環戴於右手者，用左手壓檢測開關)，直到訊號顯示完成。4-1. 檢測時“GOOD”綠色顯示燈亮表示該靜電環符合規格，可正常使用4-2. 檢測時“HIGH”紅色顯示燈亮表示該靜電環超出規格，禁止使用4-3.檢測時“LOW”紅色顯示燈亮表示該靜電環超出規格，禁止使用ESD 訓練教材34 稽核1. 日點檢 由各ESD區域自行點檢、記錄，IPQC人員亦隨時對相關工作場合進行ESD之稽核2.月稽核 由各廠Coordinator及各部門主管組成ESD稽核小組實施定期之稽核 3. 季稽核 每季併入Quarterly Process Analysis Audit Team來一併做ESD之季稽核。 記錄保存ESD相關之紀錄必須保存一年ESD 訓練教材
