日立S扫描电子显微镜学习教案

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1、会计学1日立日立S扫描扫描(somio)电子显微镜电子显微镜第一页，共77页。n n一、日立S-4800的基本原理和结构n n二、日立S-4800的操作和应用技术(jsh)n n三、日立S-4800的基本维护第1页/共76页第二页，共77页。第2页/共76页第三页，共77页。电子显微镜的历史电子显微镜的历史(lsh)(lsh)1932年鲁斯卡发明创制了第一台透射电子显微镜实验装置(TEM)。1965 年英国(yn u)剑桥仪器公司生产第一台商品扫描电镜，之后与X射线分析系统(EDS、WDS) 结合，形成各种不同分析型电子显微镜。1986年，宾尼格和罗雷尔先后研制成功扫描隧道电子显微镜(STM)

2、和原于力电子显微镜(AFM)，使人类的视野得到进一步的扩展。第3页/共76页第四页，共77页。1.日立日立S4800的基本原理和的基本原理和结构结构(jigu)入射电子束在样品中激发入射电子束在样品中激发(jf)出的各出的各种信号种信号第4页/共76页第五页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)SE的激发的激发(jf)原理原理二次电子（二次电子（SE）是指被入射电子轰击出来的核外电子。携带有样品的表）是指被入射电子轰击出来的核外电子。携带

3、有样品的表面形貌信息面形貌信息,通常来自样品表面通常来自样品表面5-50 nm的区域，能量为的区域，能量为0-50 eV。由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射，因此产生二次电由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射，因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多大区别。所以二次电子的分辨率较高，一般可子的面积与入射电子的照射面积没多大区别。所以二次电子的分辨率较高，一般可达到达到50-100 。扫描扫描(somio)电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。二次电子电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。二次电子产额随原于序数的变化不明显，它主要取决于表面形貌。产额随原于序数

4、的变化不明显，它主要取决于表面形貌。第5页/共76页第六页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)BSE的激发的激发(jf)原理原理背散射电子是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电背散射电子是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子子。包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子.从数量上看，弹性背散射电子从数量上看，弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占的份额远比非弹性背散射电子所占的份额(fn

5、 )多。背散射电子能量在数千到数万多。背散射电子能量在数千到数万电子伏。电子伏。背散射电子的产生范围在背散射电子的产生范围在1000 到到1 m深，由于背散射电子的深，由于背散射电子的产额随原子序数的增加而增加，所以，利用背散射电子作为成像信号不仅能产额随原子序数的增加而增加，所以，利用背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成分分析。分析形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成分分析。第6页/共76页第七页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理

6、和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)SE和和BSE的电子的电子(dinz)能量幅度能量幅度 第7页/共76页第八页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)SE图像图像(t xin)BSE图像图像(t xin)第8页/共76页第九页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)

7、Al合金的背散射电子合金的背散射电子 (dinz)图像图像 第9页/共76页第十页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)日立日立S-4800冷场发射冷场发射(fsh)扫描电镜的外扫描电镜的外观观 样品样品(yngpn)仓仓冷阱冷阱电子枪电子枪离子泵离子泵样品交换仓样品交换仓轨迹球轨迹球显示单元显示单元控制板控制板能谱仪能谱仪第10页/共76页第十一页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本

8、原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)分子(fnz)泵+机械泵第11页/共76页第十二页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)发卡式钨灯丝发卡式钨灯丝 (dn s) （热电子发射电子枪（热电子发射电子枪 ） 冷场冷场(lng chng)发射灯丝发射灯丝 （冷场（冷场(lng chng)发射电子枪）发射电子枪） 扫描电镜的电子束激发源扫描电镜的电子束激发源 第12页/共76

9、页第十三页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)扫描电镜的电子束激发扫描电镜的电子束激发(jf)源源 第13页/共76页第十四页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)扫描电镜的电子束激发扫描电镜的电子束激发 (jf)源源 第14页/共76页第十五页，共77页。1111日立日立日立日立

10、S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)不同不同(b tn)类型物镜对样品类型物镜对样品尺寸的影响尺寸的影响 第15页/共76页第十六页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)放大倍数放大倍数(bish)的计算方式的计算方式 第16页/共76页第十七页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800

11、S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)通过电场力和磁场通过电场力和磁场(cchng)力平衡入射电力平衡入射电子束子束 第17页/共76页第十八页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)第18页/共76页第十九页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构

12、(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)电场力和磁场力偏转电场力和磁场力偏转(pinzhun)二二次电子信号次电子信号 第19页/共76页第二十页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)样品样品更低角更低角度度BSE低角度低角度BSE高角度高角度BSESE入射电子入射电子S4800可侦测信号可侦测信号(xnho)第20页/共76页第二十一页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理

13、和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)SE SE+BSE 第21页/共76页第二十二页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)BSEBSE+SE第22页/共76页第二十三页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)SE(U)

14、SE(U,LA0) SE(U,HA) SE(U,LA100) 第23页/共76页第二十四页，共77页。1111日立日立日立日立S-4800S-4800S-4800S-4800的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构的基本原理和结构(jigu)(jigu)(jigu)(jigu)日立日立S-4800 Super EXB各种模式各种模式(msh)的信号接的信号接收量收量 第24页/共76页第二十五页，共77页。一、日立S-4800的基本原理和结构二、日立S-4800的操作和应用技术(jsh)三、日立S-4800的基本维护第25页/共76页第二十六页，共77页。2 日立日立S-4800的操作

15、的操作(cozu)和和应用技术应用技术 如何如何(rh)获得更高分辨率的图像？获得更高分辨率的图像？1降低透镜的球像差以获得(hud)小的电子束斑尺寸2提高电子枪的亮度3提高对成像信息的接收效率4提高样品室的清洁真空度5尽量减小外界振动干扰6计算机控制调节图像的质量第26页/共76页第二十七页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 2.1 样品制备的注意事项； 2.2 扫描电镜最基本的操作：调焦消像散，对中； 2.3 下列参数选择对图像的影响：加速电压，工作距离，上下探头的选择； 2.4 荷电的产生原因及解决方法； 2.5 污染的产生原因及避免方法

16、； 2.6日立S-4800的STEM附件(fjin)2.7 减速模式介绍。 主要主要(zhyo)内容内容第27页/共76页第二十八页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 1、粉末样品必须粘牢在样品台上（使用导电胶带或液体(yt)导电胶）； 2、磁性的（能被磁化或者被磁铁吸引）粉末或块状样品需要特别注意； 3、样品边缘不能超过样品台； 4、观察截面可以使用特制的截面样品台； 5、潮湿样品和易挥发样品不能放入样品仓； 6、样品放入样品仓前注意调整和测量高度。 2.1 样品样品(yngpn)制备的注意事项制备的注意事项 第28页/共76页第二十九页，共

17、77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 球面(qimin)像差 CsSpherical aberration透过透镜中心或边缘差异色散像差 CcChromatic aberration通过透镜电子能量 (nngling) 差异散 光像差Astigmatism通过透镜至同直径不同平面差异因电磁透镜缺陷产生的像差的种类：因电磁透镜缺陷产生的像差的种类：2.2 扫描电镜最基本的操作扫描电镜最基本的操作 第29页/共76页第三十页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 聚焦聚焦(jjio)和消像散示意图和消像散示意图 第3

18、0页/共76页第三十一页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 聚焦聚焦(jjio)和消像散过程和消像散过程 第31页/共76页第三十二页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 日立日立S-4800的对中操作的对中操作(cozu) 电子束电对中 光阑电对中 像散X电对中 像散Y电对中 复位(f wi)键 复位所有键 第32页/共76页第三十三页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 为获得为获得(hud)更好的图像更好的图像 聚焦（FOCUS）消相散（Stigmat

19、ion）电子束校正（Axis Alignment）第33页/共76页第三十四页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 2.3 参数选择参数选择(xunz)对图片的影响对图片的影响-如何获得满意的图片如何获得满意的图片 图像的质量取决于很多因素：分辨率，信噪比，景深，感兴趣的细节(xji)（如表面细节(xji)或内部信息、成分差异等），我们需要通过调整仪器参数来获得。 对于S-4800我们经常改变的参数有： a.加速电压； b.工作距离； c.上下探头的选择； d.SE信号与BSE信号的选择； e.发射电流Ie，Probe Current, C1等 第3

20、4页/共76页第三十五页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 a.加速电压加速电压(diny)的选择的选择 加速电压低高分辨率低高二次电子强度低高荷电低高污染高低对样品损伤低高第35页/共76页第三十六页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 照射电子在样品照射电子在样品(yngpn)内部的散乱内部的散乱 第36页/共76页第三十七页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 照射电子在样品内部照射电子在样品内部(nib)的的散乱散乱 第37页/共76页第三十八页，共

21、77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 高、低加速高、低加速(ji s)电压图像对比电压图像对比 加速(ji s)电压：20KV 加速电压：1KV 第38页/共76页第三十九页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 加速(ji s)电压：15KV 加速(ji s)电压：1KV 高、低加速电压图像对比高、低加速电压图像对比 第39页/共76页第四十页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 低电压如何提高低电压如何提高(t go)图像的分辨率？图像的分辨率？ -减少减少工作

22、距离工作距离 WD=2.3mm WD=8.3mm 第40页/共76页第四十一页，共77页。b.工作距离工作距离(jl)对分辨率的对分辨率的影响：工作距离影响：工作距离(jl)越小，越小，分辨率越高。分辨率越高。 假定(jidng)电子光学系统为无像差的情况下,SEM的分辨率()可以用下述数学公式来表示： d=d0M1 M2M3 第41页/共76页第四十二页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 加速电压(diny)：5KV 放大倍数：X300K 样品：聚合物+Ag（未喷镀） 加速电压：3KV 放大(fngd)倍数：X500K 样品：LiMnO3粉末（未

23、喷镀） 低低加速电压条件下的高分辨图片加速电压条件下的高分辨图片 第42页/共76页第四十三页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 工作工作(gngzu)距离对景深的影响：工作距离对景深的影响：工作(gngzu)距离越距离越大，景深越好。大，景深越好。 工作距离：3mm 加速(ji s)电压：3KV 放大倍数：X5K 样品：水泥（喷镀） 工作距离：12mm 加速电压：3KV 放大倍数：X5K 样品：水泥（喷镀） 第43页/共76页第四十四页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 景深(jngshn)： 透

24、镜物平面允许的轴向偏差为透镜的景深(jngshn)。 Df表示表示(biosh)景深景深 ro表示表示(biosh)电磁透镜的分辨率电磁透镜的分辨率 表示表示(biosh)孔径半角孔径半角 加速电压：1KV 放大倍数：放大倍数：X50K 样品：Cu2S粉末（未喷镀）粉末（未喷镀） 第44页/共76页第四十五页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 影响影响(yngxing)“景深景深”的电镜参的电镜参数设定数设定 1、工作距离越长“景深(jngshn)”越大。 2、物镜活动光阑孔越小“景深(jngshn)”越大。3、Focus Depth的值越大，

25、“景深(jngshn)”越大。 第45页/共76页第四十六页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 c.上探头上探头(tn tu)（Upper Detector）和下探头）和下探头(tn tu)（Lower Detector）的信号选择）的信号选择 Mix:上、下探头(tn tu)的混合像 Upper:上探头图像Lower:下探头图像第46页/共76页第四十七页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 上、下探头的图像上、下探头的图像(t xin)对对比比 上探头(tn tu)：表面形貌 下探头：立体感好

26、 第47页/共76页第四十八页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 上探头(tn tu)：表面形貌 下探头(tn tu)：立体感好 样品： Solar Cell 上、下探头的图像对比上、下探头的图像对比 第48页/共76页第四十九页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 如何使用下探头得到如何使用下探头得到(d do)更好的更好的图像？图像？ 改变改变(gibin) Probe Current 到到 High 模式模式. Normal 模式 High 模式 第49页/共76页第五十页，共77页。2 日立日立S

27、-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 2.4为什么会发生为什么会发生(fshng)荷电现象荷电现象？ 第50页/共76页第五十一页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 为什么会发生为什么会发生(fshng)荷电现象？荷电现象？ 第51页/共76页第五十二页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 荷电现象(xinxing)第52页/共76页第五十三页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 采用喷镀方式采用喷镀方式(fngsh)消除荷消除荷电

28、现象电现象 优点： （1）表面(biomin)导电 降低荷电 （2）增加导热性能 降低电子束损伤 （3）增加信号激发效率 （4）降低操作技术要求 缺点： （1）样品表面细节可能被掩盖或者 尺寸发生改变 （2）成分信息和表面电位信息减弱或者消失 喷镀（Au、Pt、C）吸收电流吸收电流第53页/共76页第五十四页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 碳 胶 喷镀金属(jnsh)层 样 品 碳 胶 样 品 台 将不导电样品将不导电样品 (yngpn)进行喷镀（使用离子溅射仪）进行喷镀（使用离子溅射仪）块状不导电样品：块状不导电样品： 纤维样品：纤维样品：

29、消除荷电现象的方法消除荷电现象的方法 第54页/共76页第五十五页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 消除荷电现象消除荷电现象(xinxing)的方法的方法 将不导电样品进行喷镀（使用离子将不导电样品进行喷镀（使用离子 (lz)溅射仪）：溅射仪）： 第55页/共76页第五十六页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 Ip=20pA Ip=2pA 加速(ji s)电压：7KV 样品：鼠小肠绒毛 降低探针电流可以减轻降低探针电流可以减轻(jinqng)荷电效应荷电效应 第56页/共76页第五十七页，共7

30、7页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 抑制二次电子获得抑制二次电子获得BSE图像图像(t xin)可以减轻荷可以减轻荷电效应电效应 SE BSE HV : 2kV Sample : TFT (FIB treated - non coating) 第57页/共76页第五十八页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 样品：二氧化硅(r yng hu gu)刻蚀器件 加速(ji s)电压：1.5KV 加速电压：0.7KV 降低加速电压可以减轻荷电效应降低加速电压可以减轻荷电效应 第58页/共76页第五十九页，共7

31、7页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 慢扫拍照(pi zho)：40 sec 积分(jfn)拍照：64 frames 样品：二氧化硅微球 加快拍照扫描速度可以减轻荷电现象加快拍照扫描速度可以减轻荷电现象第59页/共76页第六十页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 信号(xnho)：SE(U) 信号(xnho)：SE(L) 样品：复合材料 使用下探头或者背散射成像可以减轻荷电效应使用下探头或者背散射成像可以减轻荷电效应 第60页/共76页第六十一页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu

32、)和和应用技术应用技术 消除荷电现象消除荷电现象(xinxing)的电镜参的电镜参数设定数设定 在不喷镀金属层（使用离子溅射仪等）的情况下：1 降低(jingd)加速电压或使用减速模式 2 减少照射电流 3 改变接受信号 4 改变Capture条件 5 制样技巧 1) 减小发射电流Ie值2) Probe current选择High3) 增大Condense Lens 1的值4)使用小的物镜光阑孔（正常拍照用2或者3号孔）1) 使用下探头接受信号2) 使用EXB的LA模式（抑制二次电子的比例）1) 加快Capture 80s 40s 20s 2) CSS Scan 模式3）积分拍照模式第61页/

33、共76页第六十二页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 加速电压(diny)：2KV 放大倍率 ：100K 样品(yngpn)：AlTiC合金 2.5 样品样品“污染污染”现象现象 第62页/共76页第六十三页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 样品样品“污染污染(wrn)”现象的现象的原因原因 第63页/共76页第六十四页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 1.样品制备样品制备 用白炽灯或者红外线灯照射样品用白炽灯或者红外线灯照射样品 加热样品至加热样品

34、至100持续持续1到到3个小时个小时 离子清洗仪（离子清洗仪（Plasma Cleaning）30到到200秒秒 将样品保存在没有油泵的真空室内将样品保存在没有油泵的真空室内10小时小时 2.观察条件设定观察条件设定(sh dn)和操作和操作 升高加速电压升高加速电压 使用下探头或者使用下探头或者BSE信号信号 在观察区附近聚焦消像散，使用防污染冷阱在观察区附近聚焦消像散，使用防污染冷阱装置（注入液氮）装置（注入液氮） 减轻减轻(jinqng)“污染现象污染现象”的方法的方法 第64页/共76页第六十五页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 2.

35、6日立日立S-4800的的STEM附件附件(fjin)（选配）（选配） DF-STEM BF-STEM SE 加速电压(diny) : 30KV 放大倍率 : 120K 样 品 : 碳纳米管 第65页/共76页第六十六页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 2.7日立日立S-4800的减速的减速(jin s)模式（选模式（选配）配） 第66页/共76页第六十七页，共77页。2 日立日立S-4800的操作和应用的操作和应用(yngyng)技术技术 普通(ptng)模式减速(jin s)模式加速电压：0.5KV 样品： Au标准样品 减速模式提高低加速电

36、压下的分辨率减速模式提高低加速电压下的分辨率 第67页/共76页第六十八页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 着陆电压：0.7KV（减速(jin s)模式） 放大倍数：X100K 样品：高分子薄膜（未喷镀） 着陆电压：1KV（减速模式） 放大倍数(bish)：X300K 样品：氧化硅颗粒（未喷镀） 减速模式下的高分辨图片减速模式下的高分辨图片 第68页/共76页第六十九页，共77页。2 日立日立S-4800的操作的操作(cozu)和和应用技术应用技术 减速模式下的超低加速电压减速模式下的超低加速电压(diny)可以减轻样品损可以减轻样品损伤伤 加速

37、电压：0.1KV 放大(fngd)倍率 ：50K 300nm 样品：氟树脂膜 第69页/共76页第七十页，共77页。2 日立日立S-4800的操的操作作(cozu)和应用和应用技术技术使用使用(shyng)小小技巧技巧1.导航功能导航功能点击点击Navigate按钮，可以使用按钮，可以使用 (shyng)导航功能，将光学图片导入，快速寻找到到感兴趣点导航功能，将光学图片导入，快速寻找到到感兴趣点2.位置记忆功能位置记忆功能(1)点击拍摄完成的照片，再点击点击拍摄完成的照片，再点击 move，图像会自动转到照片位置；，图像会自动转到照片位置； (2)点击点击Disp按钮，里面有观察点的位置信息按

38、钮，里面有观察点的位置信息3.Cell计数功能计数功能点击点击cell counting，使用，使用(shyng)计数功能，输入需要的计数功能，输入需要的 X/Y方向数目，可以找到特定的感兴趣点方向数目，可以找到特定的感兴趣点4.双屏显示双屏显示可以分别显示出可以分别显示出 SE信号和信号和BSE信号的图像信号的图像第70页/共76页第七十一页，共77页。一、日立S-4800的基本(jbn)原理和结构二、日立S-4800的操作和应用技术三、日立S-4800的基本(jbn)维护第71页/共76页第七十二页，共77页。3 日立日立S-4800的基本的基本(jbn)维护维护1 Flashing （频

39、率：（频率：1天天1次以上）次以上）选择选择Flashing Intensity为为2，执行，执行Flashing。若。若Flashing运行时运行时Ie不在不在30-40 A范围内，则重复执行直至范围内，则重复执行直至 le值在要求范围内（最多执行值在要求范围内（最多执行 3次）。次）。2压缩机的维护（频率：压缩机的维护（频率： 1周周1次以上）次以上）压缩机内部压缩机内部(nib)排水排水3机械泵、干泵的维护（频率：半年机械泵、干泵的维护（频率：半年 1次以上）次以上）机械泵：半年机械泵：半年 1次以上，当油雾收集器附着油液或有油烟时立即更换。当油的颜色变为茶色时或换油过了次以上，当油雾收

40、集器附着油液或有油烟时立即更换。当油的颜色变为茶色时或换油过了6个月时：停机个月时：停机 交换油交换油开机开机4循环水箱的维护（频率：半年循环水箱的维护（频率：半年 1次以上）次以上）检查水位、换水以及清洗过滤网。检查水位、换水以及清洗过滤网。5烘烤（频率：烘烤（频率： 1年年1次以上）次以上）若若IP泵真空度不能满足泵真空度不能满足 IP1210-7 Pa, IP2210-6 Pa, IP3710-5 Pa,，执行，执行Baking：6机械合轴（频率：机械合轴（频率： 1年年1次以上）次以上）第72页/共76页第七十三页，共77页。3 日立日立S-4800的基本的基本(jbn)维护维护设备稳

41、定后半年至一年烘烤1次；烘烤还与真空度及电镜是否出现了噪声有关，在必要的时候需进行烘烤，烘烤本身不会损伤灯丝，但是烘烤后需进行强电流的flashing，会对灯丝造成一定影响。电镜在用过一段时间后，会有气体(qt)污染物吸附在灯丝和电镜的内壁上，在灯丝上的污染物靠flashing去除，在电镜内壁上的污染物需要通过烘烤去除。烘烤时间的设置可以在电脑上进行，也可以在主机面板上进行。烘烤的操作：关闭扫描电镜的显示部分-拧开左右的旋钮，取下盖子-取下高压杆-旋开前后的按钮-取下外罩-装上烘烤夹-套上卡环-放入内烘烤的导杆-将连接插头插入后部插口-整理连接线-放上禁止靠近牌子-在显示单元后部将auto b

42、aking旋钮打开-面板上的MODE按钮到baking档-select选择10小时-start开始。烘烤完后，灯丝上会附着更多的气体(qt)，需要用3档flashing（约50-60uA），或者用2档flashing（约30uA）6次左右，去干净灯丝附着气体(qt)。 主机主机(zhj)台台烘烤烘烤第73页/共76页第七十四页，共77页。3 日立日立S-4800的基本的基本(jbn)维护维护 电镜长时间使用后，由于透镜污染等原因，电子束会出现一定的偏转现象，需要进行机械对中 步骤如下： 放入导电的样品，条件如下1.0KeV;10uA;8mm-setup（Norm）/UHK/8.0/condle

43、ns1,2均不选，光阑孔全打开（0档）-Alignment(reset all)-装上起子，起子相向为锁住，同向拧，直到圆斑回到中间-调聚光镜光阑孔到1档，调光斑到正中间-调物镜光阑孔到2或3，调光斑到正中间-勾选cond lens 1,调下面(xi mian)4个起子至光斑到正中间-取下起子setup-degauss-aperture align让图像定下来-消象散-增加建议步骤电镜合轴，在常用电压下调BEAM位置机械机械(jxi)合轴合轴第74页/共76页第七十五页，共77页。谢 谢第75页/共76页第七十六页，共77页。内容(nirng)总结会计学。第2页/共76页。扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。第7页/共76页。第9页/共76页。2、磁性(cxng)的（能被磁化或者被磁铁吸引）粉末或块状样品需要特别注意。第50页/共76页。（2）成分信息和表面电位信息减弱或者消失。选择Flashing Intensity为2，执行Flashing。当油的颜色变为茶色时或换油过了6个月时：停机交换油开机。机械合轴。第75页/共76页第七十七页，共77页。