《特气系统日常、年度维护检查表》由会员分享，可在线阅读，更多相关《特气系统日常、年度维护检查表（8页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、1 / 8 特气系统日常维护记录表 文件编号:JSDG-04-09-712-A 维护时间 维护人员 维护措施记录 序号 维护简要步骤及数据规范 数据和状态记录 异常情况 处理记录 1 检查气柜排风系统,调整风量到 30-50Pa 2 检查放空 N2 的流量， 调整为 0.25-0.35M3/H 3 检查 CDA 压力，调整到 70-90PSI 4 检查气柜系统压缩空气、N2 接头是否完好,如损坏漏气需更换 5 检查房门过滤网能否保持空气流通通畅,否则清洗或更换 6 对气柜盘面阀件、管路、钢瓶接头、管路接头进行检查有无锈蚀、穿孔现象 7 用相应毒性、 易燃易爆气体检测仪对气柜盘面管路接头处进行检
2、测，有无泄漏 8 检查紧急关断是否能正常工作 9 检查特气房内是否为负压。 若不是进行调整 10 打扫特气系统卫生 11 12 更换备件记录 序号 料品名称 数量 1 2 3 说明：维护到其他项目时加在“维护简要步骤及数据规范”并记录 审核人： 审核时间： 2 / 8 气柜气体出口压力停供和复供前记录表 文件编号:JSDG-04-09-713-A 气柜名称 气体名称 输出压力规范 气体停产前二次压力（PSI） 气体复产前二次压力（PSI） HCL-1 HCL 35-45PSI HCL-2 HCL 35-45PSI CL2 CL2 25-35PSI NF3 NF3 40-55PSI HBr HB
3、r r 35-45PSI NH3-1 NH3 45-60PSI NH3-2 NH3 40-50PSI SIH4-1 SIH4 40-55PSI SIH4-2 SIH4 40-55PSI 15%PH3/SIH4-1 15%PH3/SIH4 40-55PSI 15%PH3/SIH4-2 15%PH3/SIH4 40-55PSI BCL3-1 BCL3 4 - 8PSI BCL3-2 BCL3 4 - 8PSI SIH2CL2 SIH2CL2 4 - 8PSI Ar-1 Ar 60-80PSI Ar-2 Ar 45-65PSI He-1 He 65-80PSI He-2 He 55-70PSI N2
4、O N2O 50-65PSI SF6-1 SF6 45-55PSI SF6-2 SF6 45-55PSI CO2 CO2 40-50PSI C2F6-1 C2F6 40-60PSI C2F6-2 C2F6 55-70PSI CHF3 CHF3 40-55PSI CF4 CF4 40-60PSI 记录人 记录时间： 审核人： 审核时间： 3 / 8 VMB/VMP 气体出口压力停供和复供前记录表 文件编号:JSDG-04-09-714-A 序号 VMB/VMP 序号 气体名称 输出压力规范（PSI） 气体停产前压力（PSI） 气体复产前压力（PSI） 1 VMP01 He 15-25 2 VMP
5、02 Ar 25-35 3 VMP03 C2F6 20-30 4 VMP04 SF6 20-30 5 VMP05 CHF3 15-25 6 VMP06 SF6 25-35 7 VMP07 CF4 25-30 8 VMP08 CF4 25-30 9 VMP09 He 25-30 10 VMP10 C2F6 25-35 11 VMP11 N2O 35-45 12 VMP12 Ar 10-20 13 VMB01 CL2 10-20 14 VMB02 HBr 20-30 15 VMB03 NF3 25-35 16 VMB04 NH3 25-35 17 VMB05 SIH4 25-35 18 VMB06
6、 15%PH3/SIH4 25-35 19 VMB07 HCL 15-25 20 VMB08 NH3 20-30 21 VMB09 HCL 15-25 22 VMB10 15%PH3/SIH4 20-30 23 VMB11 SIH4 20-30 记录人： 记录时间： 审核人： 审核时间： 4 / 8 气柜/盘面保压检查表 文件编号:JSDG-04-09-715-A 序号 气柜/盘面名称 气体名称 保压压力 检查压力 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 1 HCL-1 HCL / / / / / / / / / / / / 2 HCL-2 HCL / / / / / / / /
7、 / / / / 3 CL2 CL2 / / / / / / / / / / / / 4 NF3 NF3 / / / / / / / / / / / / 5 HBr HBr r / / / / / / / / / / / / 6 NH3-1 NH3 / / / / / / / / / / / / 7 NH3-2 NH3 / / / / / / / / / / / / 8 SIH4-1 SIH4 / / / / / / / / / / / / 9 SIH4-2 SIH4 / / / / / / / / / / / / 10 15%PH3/SIH4-1 15%PH3/SIH4 / / / / /
8、/ / / / / / / 11 15%PH3/SIH4-2 15%PH3/SIH4 / / / / / / / / / / / / 12 BCL3-1 BCL3 / / / / / / / / / / / / 13 BCL3-2 BCL3 / / / / / / / / / / / / 14 SIH2CL2 SIH2CL2 / / / / / / / / / / / / 15 Ar-1 Ar / / / / / / / / / / / / 16 Ar-2 Ar / / / / / / / / / / / / 5 / 8 17 He-1 He / / / / / / / / / / / / 1
9、8 He-2 He / / / / / / / / / / / / 19 N2O N2O / / / / / / / / / / / / 20 SF6-1 SF6 / / / / / / / / / / / / 21 SF6-2 SF6 / / / / / / / / / / / / 22 CO2 CO2 / / / / / / / / / / / / 23 C2F6-1 C2F6 / / / / / / / / / / / / 24 C2F6-2 C2F6 / / / / / / / / / / / / 25 CHF3 CHF3 / / / / / / / / / / / / 26 CF4
10、CF4 / / / / / / / / / / / / 记录人 审核人： 审核时间： 6 / 8 气柜/盘面至 VMB/VMP 保压检查表 文件编号:JSDG-04-09-716-A 序号 VMB/VMP序号 气体名称 保压压力 检查压力 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 1 VMP01 He / / / / / / / / / / / / 2 VMP02 Ar / / / / / / / / / / / / 3 VMP03 C2F6 / / / / / / / / / / / / 4 VMP04 SF6 / / / / / / / / / / / / 5 VMP05 CH
11、F3 / / / / / / / / / / / / 6 VMP06 SF6 / / / / / / / / / / / / 7 VMP07 CF4 / / / / / / / / / / / / 8 VMP08 CF4 / / / / / / / / / / / / 9 VMP09 He / / / / / / / / / / / / 10 VMP10 C2F6 / / / / / / / / / / / / 11 VMP11 N2O / / / / / / / / / / / / 12 VMP12 Ar / / / / / / / / / / / / 13 VMB01 CL2 / / /
12、/ / / / / / / / / 14 VMB02 HBr / / / / / / / / / / / / 15 VMB03 NF3 / / / / / / / / / / / / 16 VMB04 NH3 / / / / / / / / / / / / 17 VMB05 SIH4 / / / / / / / / / / / / 18 VMB06 15%PH3/SIH4 / / / / / / / / / / / / 19 VMB07 HCL / / / / / / / / / / / / 20 VMB08 NH3 / / / / / / / / / / / / 21 VMB09 HCL /
13、 / / / / / / / / / / / 22 VMB10 15%PH3/SIH4 / / / / / / / / / / / / 23 VMB11 SIH4 / / / / / / / / / / / / 记录人 审核人: 审核时间: 7 / 8 VMB/VMP 至设备端保压检查表 文件编号:JSDG-04-09-717-A 序号 VMB/P序号 气体名称 对应设备 保压压力 检查压力 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 1 VMP01 He 6520、LAM-2、903E-1/-2、903-1 / / / / / / / / / / / 2 VMP02 Ar 6520、LA
14、M-1/-2 / / / / / / / / / / / 3 VMP03 C2F6 903E-1/-2/-3、903-1 / / / / / / / / / / / 4 VMP04 SF6 6520 / / / / / / / / / / / 5 VMP05 CHF3 LAM-1/-2、903E-1/-2/-3、903-1、1611-1/-2/-3 / / / / / / / / / / / 6 VMP06 SF6 901E-1/-2、1611-1/-2/-3 / / / / / / / / / / / 7 VMP07 CF4 6520、LAM-1/-2 / / / / / / / / / /
15、 / 8 VMP08 CF4 1611-1/-2/-3 / / / / / / / / / / / 9 VMP09 He 403-1、LAM-1、903E-3 / / / / / / / / / / / 10 VMP10 C2F6 NOV-1/-2/-3 / / / / / / / / / / / 11 VMP11 N2O NOV-1/-2/-3、B 炉 / / / / / / / / / / / 12 VMP12 Ar MRC-1/-2、3180 / / / / / / / / / / / 13 VMB01 CL2 1611-1/-2/-3、6520 / / / / / / / / / /
16、/ 14 VMB02 HBr 1611-1/-2/-3、6520 / / / / / / / / / / / 15 VMB03 NF3 403-1、LAM-1/-2 / / / / / / / / / / / 8 / 8 16 VMB04 NH3 NOV-1/-2/-3 / / / / / / / / / / / 17 VMB05 SIH4 NOV-1/-2/-3 / / / / / / / / / / / 18 VMB06 15%PH3/SIH4 NOV-1/-2/-3 / / / / / / / / / / / 19 VMB07 HCL I、F、G、B 炉 / / / / / / / / / / / 20 VMB08 NH3 B、A 炉 / / / / / / / / / / / 21 VMB09 HCL E、D、C、A 炉 / / / / / / / / / / / 22 VMB10 15%PH3/SIH4 B、A 炉 / / / / / / / / / / / 23 VMB11 SIH4 B、A 炉 / / / / / / / / / / / 记录人 审核人： 审核时间：
