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1、TFC 膜系设计实例教程教学 TFC 膜系设计实例教程 TFC 膜系实例设计步骤(首先以 AR 膜三层为例介绍) 1( 首选镀膜材料:AL2O3 ZRO2 MGF2 2( AR 膜技术要求:400-700 R1 3( 运行 TFC 软件(如图 1),选择“取消”按钮,如要打开已设计好的膜系文件,可按“打开”来调用文件。 图 1 4( 在 File 菜单中选择 New Coating 选项(如图 2)。 图 2 5( 进入环境编辑界面(Edit Environment)如图 3 图 3 6.在环境编辑界面中,第一项为监控波长(Reference wavelength),默认设制为 550(图 3
2、)。如果设计 400-700 波段的 AR 的话,就可以用这个设制。如要设计红外波段的话,那就要改大点。设好后,点击 Analysis Parameters.项,进入下一个波段的设制界面(Set Analysis Parameters)。(如图 4) 图 4 6( 在 Set Analysis Parameters 界面中选 Wavelengths and Angles 设计波段范围,在第一个输入框里输入起始波段 400, 第二输入框里输入结束波段 700,第三个输入框里的为步长,可以不改,其它的不动(如图 4)。输入完成后,按 “OK”键确认,返回到如图 3 的界面,再按“OK”键,进入设计
3、界面(如图 5) 图 5 7.在 Modify 菜单中选 LayersFront(如图 6),然后进入添加膜层。(如图 7) 图 6 图 7 7( 选择 Options Front Layers.,添加层数,如图 7,在弹出的输入框的第一个中输入 3 代表 3 层,如图 8 图 8 8( 然后点“OK”,进入,出现如图 9 的画面。 图 9 9( 现在把 Material(材料)项中的,改成你所要的材料 AL2O3 ZRO2 MGF2,把Optimize?(优化否)项中的 NO,全部 改为 YES(如图 10) 图 10 10.选择 Modify 菜单中的 Targetscontinuous
4、项来设定优化目标(如图 11) 图 11 11( 选择 Options 中的 Add Continuous targets.(如图 12),点击进入,如果是创建一个优化目标的话 就不用改,如果要创建几个优化目标的话,就在第一个输入框中输入几。如图13 图 12 图 13 12( 如图 14,在 Wavelength(begin)(起始波长)处输入 400,在Wavelength(end)(结束波长)处输入 700 其它不要动。 图 14 13(完成后,选 Run 菜单的 Optimize Design 选项进行优化,如图 15 图 15 14(优化界面如图 16 图 16 15(优化完成后,点击 Analyze 查看优化后的曲线,如图 17 图 17 16(好了,这个 AR 的膜系已设计完成了,要查看每层的物理厚度,可以打开菜单 Modify 中选 LayersFront 如图 18 图 18 17(763(4 120.09 90.83 就是我们优化后的厚度了