电子显微镜分析及应用

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1、电子显微镜分析应用目录Y电子显微镜与光学显微镜的对比Y电子显微镜分类Y电子显微镜原理Y电子显微镜构成Y电子显微镜特点及应用Y电子显微镜分布（武汉）电子显微镜与光学显微镜的对比电子显微镜与光学显微镜的对比电镜分类电镜分类Y根据根据电子束和样品之间作电子束和样品之间作用方式用方式不同，可将电镜分不同，可将电镜分为为4 4大类大类: : Y1) 1) 物体透射电子物体透射电子 透射电透射电镜观察和分析样品的内部镜观察和分析样品的内部结构结构Y2) 2) 物体发射电子物体发射电子 扫描电扫描电镜观察和分析样品的表面镜观察和分析样品的表面立体形貌立体形貌Y3) 3) 物体反射电子物体反射电子Y4) 4)

2、 物体吸收电子物体吸收电子电子显微镜成像原理电子显微镜成像原理扫描描电子子显微微镜（SEM，Scanning Electron Microscope）YSEMSEM是利用电子束在是利用电子束在样品表面扫描激发样品表面扫描激发出来代表样品表面出来代表样品表面特征的信号成像的。特征的信号成像的。主要用来作主要用来作微形貌微形貌观察、显微成分分观察、显微成分分析析。分辨率可达到。分辨率可达到1nm1nm，放大倍数可达，放大倍数可达5 5105105倍。倍。SEM成像原理成像原理透射透射电子子显微微镜（TEM，Transmission Electron Microscope ）YTEMTEM是采用透过

3、薄膜样是采用透过薄膜样品的电子束成像来显品的电子束成像来显示样品内部组织形态示样品内部组织形态和结构的。用于和结构的。用于微结微结构分析、微形貌观察构分析、微形貌观察。分辨率可达到分辨率可达到1 11nm1nm，放大倍数可达，放大倍数可达106106倍倍TEM成像原理成像原理电子探子探针显微分析微分析（EPMA，Electron Probe Micro-Analysis）：）：YEPMAEPMA是利用聚焦的很细的电子束打在样品的微观区域，激是利用聚焦的很细的电子束打在样品的微观区域，激发出样品该区域的特征发出样品该区域的特征X X射线，分析其射线，分析其X X射线的波长和强度射线的波长和强度来

4、确定样品微观区域的化学成分。将来确定样品微观区域的化学成分。将SEMSEM和和EPMAEPMA结合起来结合起来，则可进行则可进行显微形貌观察显微形貌观察，同时进行，同时进行微区成分分析微区成分分析。EPMA工作原理工作原理扫描透射描透射电子子显微微镜（STEM, Scanning Transmission Electron Microscope）Y扫描透射电子显微镜既有透射电子显微镜又有扫描电子显扫描透射电子显微镜既有透射电子显微镜又有扫描电子显微镜的显微镜。象微镜的显微镜。象SEMSEM一样，一样，STEMSTEM用电子束在样品的表面扫用电子束在样品的表面扫描，但又象描，但又象TEMTEM，

5、通过电子穿透样品成像。，通过电子穿透样品成像。STEMSTEM能够获得能够获得TEMTEM所不能获得的一些关于样品的特殊信息。所不能获得的一些关于样品的特殊信息。STEMSTEM技术要求技术要求较高，要非常高的真空度，并且电子学系统比较高，要非常高的真空度，并且电子学系统比TEMTEM和和SEMSEM都都要复杂要复杂。YSTEMSTEM同时具有同时具有SEMSEM和和TEMTEM的双重功能的双重功能，如配上电子探针的附，如配上电子探针的附件（分析电镜）则可实现对件（分析电镜）则可实现对微观区域的组织形貌观察，晶微观区域的组织形貌观察，晶体结构鉴定及化学成分分析测试三位一体体结构鉴定及化学成分分

6、析测试三位一体的同位分析。的同位分析。电子显微镜构成电子显微镜构成SEM的构成的构成Y扫描电子显微镜是有电子光学系统，信号收集处理、图像扫描电子显微镜是有电子光学系统，信号收集处理、图像形显示和记录系统，真空系统三个基本部分组成。电子光形显示和记录系统，真空系统三个基本部分组成。电子光学系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室。学系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室。TEMTEM构成构成EPMA构成构成Y电子探针的构成除了电子探针的构成除了与与扫描电镜结构相似扫描电镜结构相似的主机系统以外，还的主机系统以外，还主要包括分光系统、主要包括分光系统、检测系统等部分。检测系统等部分。Y电子探

7、针主要由电子电子探针主要由电子光学系统（镜筒），光学系统（镜筒），X X射线谱仪和信息记射线谱仪和信息记录显示系统组成。电录显示系统组成。电子探针和扫描电镜在子探针和扫描电镜在电子光学系统的构造电子光学系统的构造基本相同，它们常常基本相同，它们常常组合成单一的仪器。组合成单一的仪器。SEM特点及特点及应用用Y优点优点Y(1)(1)扫描电镜所用样品的制备方法简便扫描电镜所用样品的制备方法简便( (固定、干燥和喷金固定、干燥和喷金) )，不需经过超薄切片不需经过超薄切片；Y(2)(2)能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm120mm80m

8、m80mm50mm50mm。Y(3)(3)扫描电镜所观察到图像扫描电镜所观察到图像景深长景深长，图像富有立体感图像富有立体感；扫描；扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。Y(4)(4)图象的放大范围广，分辨率也比较高。图像的图象的放大范围广，分辨率也比较高。图像的放大倍率放大倍率在很大范围内在很大范围内连续可变连续可变(10(101 1- -10105 5) )，分辨率介于光学显微分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达镜与透射电镜之间，可达3nm3nm。Y(5)(5)样品的辐射损伤及污染程度小样品的辐射损伤及污染程度小等。

9、等。Y局限性局限性Y(1)(1)分辨率还不够高分辨率还不够高(1(1- -10nm)10nm)；Y(2)(2)只能显示样品的只能显示样品的表面形貌表面形貌，无法显示内部详细结构。，无法显示内部详细结构。Y应用应用Y观察纳米材料。观察纳米材料。所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或所谓纳米材料就是指组成材料的颗粒或微晶尺寸在微晶尺寸在0.1-100nm0.1-100nm范围内，在保持表面洁净的条件下加范围内，在保持表面洁净的条件下加压成型而得到的固体材料。压成型而得到的固体材料。Y进口材料断口的分析进口材料断口的分析。由于图象景深大，故所得扫描电由于图象景深大，故所得扫描电子象富有立体感，具有三维形

10、态，能够提供比其他显微镜子象富有立体感，具有三维形态，能够提供比其他显微镜多得多的信息，扫描电镜所显示饿断口形貌从深层次，高多得多的信息，扫描电镜所显示饿断口形貌从深层次，高景深的角度呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因的分析、景深的角度呈现材料断裂的本质，在材料断裂原因的分析、事故原因的分析已经工艺合理性的判定等方面是一个强有事故原因的分析已经工艺合理性的判定等方面是一个强有力的手段。力的手段。 Y直接观察大试样的原始表面，直接观察大试样的原始表面，它能够直接观察直径它能够直接观察直径100mm100mm，高，高50mm50mm，或更大尺寸的试样，对试样的形状没有任何限，或更大尺寸的试样，对试

11、样的形状没有任何限制，粗糙表面也能观察，这便免除了制备样品的麻烦，而制，粗糙表面也能观察，这便免除了制备样品的麻烦，而且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度（背反射电子且能真实观察试样本身物质成分不同的衬度（背反射电子象）。象）。Y 观察厚试样，观察厚试样，其在观察厚试样时，能得到高的分辨率和其在观察厚试样时，能得到高的分辨率和最真实的形貌。最真实的形貌。 Y观察试样的各个区域的细节。观察试样的各个区域的细节。由于工作距离大（可大于由于工作距离大（可大于20mm20mm）。焦深大（比透射电子显微镜大）。焦深大（比透射电子显微镜大1010倍）。样品室的倍）。样品室的空间也大。可以让试样在三度空间

12、内有空间也大。可以让试样在三度空间内有6 6个自由度运动（即个自由度运动（即三度空间平移、三度空间旋转）。且可动范围大，这对观三度空间平移、三度空间旋转）。且可动范围大，这对观察不规则形状试样的各个区域带来极大的方便。察不规则形状试样的各个区域带来极大的方便。 Y在在大视场、低放大倍数大视场、低放大倍数下观察样品，用扫描电镜观察试下观察样品，用扫描电镜观察试样的视场大。大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域样的视场大。大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是很必要的，如是很必要的，如刑事侦察和考古刑事侦察和考古。 Y进行进行从高倍到低倍的连续观察从高倍到低倍的连续观察，放大倍数的可变范围很，放

13、大倍数的可变范围很宽，且不用经常对焦。这对进行宽，且不用经常对焦。这对进行事故分析事故分析特别方便。特别方便。 Y观察生物试样观察生物试样。因电子照射而发生试样的损伤和污染程。因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小，这一点对观察一些生物试样特别重要。度很小，这一点对观察一些生物试样特别重要。 Y进行动态观察进行动态观察。在扫描电镜中，成象的信息主要是电子。在扫描电镜中，成象的信息主要是电子信息，根据近代的电子工业技术水平，即使高速变化的电信息，根据近代的电子工业技术水平，即使高速变化的电子信息，也能毫不困难的及时接收、处理和储存，故可进子信息，也能毫不困难的及时接收、处理和储存，故可进行一些

14、动态过程的观察，如果在样品室内装有加热、冷却、行一些动态过程的观察，如果在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件，则可以通过电视装置，观弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件，则可以通过电视装置，观察相变、断烈等动态的变化过程。察相变、断烈等动态的变化过程。 Y从试样表面形貌获得多方面资料。扫描电镜除了从试样表面形貌获得多方面资料。扫描电镜除了观察表观察表面形貌外面形貌外还能进行还能进行成分和元素的分析成分和元素的分析，以及通过电子通道，以及通过电子通道花样进行花样进行结晶学分析结晶学分析，选区尺寸可以从，选区尺寸可以从10m10m到到3m3m。 Y由于扫描电镜具有上述特点和功能，所以越来越受

15、到科研由于扫描电镜具有上述特点和功能，所以越来越受到科研人员的重视，用途日益广泛。现在扫描电镜已广泛用于人员的重视，用途日益广泛。现在扫描电镜已广泛用于材材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。等。TEM特点及特点及应用用Y透射电镜特别适合对透射电镜特别

16、适合对微细矿物及隐晶质矿物和超细粉体的微细矿物及隐晶质矿物和超细粉体的形貌及结构分析形貌及结构分析，它决定了偏光显微镜分辨率低的不足，它决定了偏光显微镜分辨率低的不足，又克服了射线衍射仪不能直接观察矿物形貌的困难。又克服了射线衍射仪不能直接观察矿物形貌的困难。Y在透射电镜中，在透射电镜中，被观察粒子的大小一定要大于电子束的波被观察粒子的大小一定要大于电子束的波长长才能被分辨出来；否则，电子束就会发生绕射，无法看才能被分辨出来；否则，电子束就会发生绕射，无法看到粒子到粒子。Y透射电子显微镜在透射电子显微镜在材料科学、生物学材料科学、生物学上应用较多。由于电上应用较多。由于电子易散射或被物体吸收，

17、故穿透力低，样品的密度、厚度子易散射或被物体吸收，故穿透力低，样品的密度、厚度等都会影响到最后的成像质量，必须制备更薄的等都会影响到最后的成像质量，必须制备更薄的超薄切片超薄切片，通常为通常为50100nm。所以用透射电子显微镜观察时的样品。所以用透射电子显微镜观察时的样品需要处理得很薄。常用的方法有：超薄切片法、冷冻超薄需要处理得很薄。常用的方法有：超薄切片法、冷冻超薄切片法、冷冻蚀刻法、冷冻断裂法等。对于液体样品，通切片法、冷冻蚀刻法、冷冻断裂法等。对于液体样品，通常是挂常是挂预处理过的铜网预处理过的铜网上进行观察。上进行观察。TEM特点特点Y优点优点 YA A、 散射能力强。和散射能力强

18、。和X X射线相比，电子束的散射能力是前者射线相比，电子束的散射能力是前者的一万倍，因此可以在很微小区域获得足够的衍射强度，的一万倍，因此可以在很微小区域获得足够的衍射强度，容易实现容易实现微、纳米区域的加工与成份研究微、纳米区域的加工与成份研究YB B、 原子对电子的散射能量远大于原子对电子的散射能量远大于X X射线的散射能力即使射线的散射能力即使是微小晶粒（纳米晶体）亦可给出足够强的衍射。是微小晶粒（纳米晶体）亦可给出足够强的衍射。 YC C分辨率高。分辨率高。其分辨率已经优于其分辨率已经优于0.2nm0.2nm，可用来直接观察，可用来直接观察重金属原子像。重金属原子像。 YD D、 束斑

19、可聚焦。束斑可聚焦。会聚束衍射（纳米束衍射），可获得三会聚束衍射（纳米束衍射），可获得三维衍射信息，有利于分析点群、空间群对称性。维衍射信息，有利于分析点群、空间群对称性。 YE E、 成像：正空间信息。成像：正空间信息。 直接观察结构缺陷；直接观察原直接观察结构缺陷；直接观察原子团（结构像）；直接观察原子（原子像），包括子团（结构像）；直接观察原子（原子像），包括Z Z衬度像。衬度像。 YF F、 衍射：倒空间信息。选择衍射成像（衍衬像），获得衍射：倒空间信息。选择衍射成像（衍衬像），获得明场、暗场像有利明场、暗场像有利结构缺陷分析结构缺陷分析从结构像可能推出相位信从结构像可能推出相位信息。

20、息。 YG G、 全部分析结果的数字化。数据数字化，便于计算机存全部分析结果的数字化。数据数字化，便于计算机存储与处理，与信息平台接轨电子显微学不仅是储与处理，与信息平台接轨电子显微学不仅是X X射线晶体学射线晶体学的强有力补充，特别的强有力补充，特别适合微晶、薄膜等显微结构分析适合微晶、薄膜等显微结构分析，对，对于于局域微结构分析、尤其是纳米结构分析局域微结构分析、尤其是纳米结构分析具有独特的优势。具有独特的优势。Y缺点缺点Y仪器精密价格昂贵。要求仪器精密价格昂贵。要求样品的厚度很薄样品的厚度很薄，样品厚度要在，样品厚度要在100100- -200nm200nm。因此要制作好的样品很复杂。要

21、求条件很高，。因此要制作好的样品很复杂。要求条件很高，电子显微镜因需在真空条件下工作。电子显微镜因需在真空条件下工作。TEM应用用领域域YTEM TEM 广泛应用于生物学、医学、化学、物理学、地质学广泛应用于生物学、医学、化学、物理学、地质学, ,金金属、半导体材料、高分子材料、陶瓷、纳米材料等领域属、半导体材料、高分子材料、陶瓷、纳米材料等领域。透射电子显微镜在生物、医学中的应用极大地丰富了组织透射电子显微镜在生物、医学中的应用极大地丰富了组织学和细胞学的内容学和细胞学的内容, , 观察到了许多过去用光学显微镜观察观察到了许多过去用光学显微镜观察不到或观察不清的细胞微体结构。不到或观察不清的

22、细胞微体结构。YTEM TEM 在材料科学中可对材料进行在材料科学中可对材料进行形貌观察、物相分析、晶形貌观察、物相分析、晶体结构观察、微区化学成分分析、元素分布体结构观察、微区化学成分分析、元素分布等进行分等进行分析析等。等。TEM TEM 可用来分析各种金属材料可用来分析各种金属材料, ,无机非金属材料无机非金属材料, ,高分子材高分子材料料, ,化学工程材料化学工程材料, ,纳米材料等的纳米材料等的微观形貌、晶体结构微观形貌、晶体结构。EPMA特点及特点及应用用Y电子探针可以对试样中微小区域（微米级）的化学组成进电子探针可以对试样中微小区域（微米级）的化学组成进行定性或定量分析。行定性或

23、定量分析。Y可以进行点、线扫描（得到层成分分布信息）、面扫描分可以进行点、线扫描（得到层成分分布信息）、面扫描分析（得到成分面分布图像）。析（得到成分面分布图像）。Y能全自动进行批量（预置能全自动进行批量（预置99999999测试点）定量分析。测试点）定量分析。Y由于电子探针技术具有操作迅速简便（相对复杂的化学分由于电子探针技术具有操作迅速简便（相对复杂的化学分析方法而言）、实验结果的解释直截了当、分析过程不损析方法而言）、实验结果的解释直截了当、分析过程不损坏样品、测量准确度较高等优点，故在坏样品、测量准确度较高等优点，故在冶金、地质、电子冶金、地质、电子材料、生物、医学、考古材料、生物、医

24、学、考古以及其它领域中得到日益广泛地以及其它领域中得到日益广泛地应用，尤其适用于对应用，尤其适用于对合金的显微组织和相成分的研究分析合金的显微组织和相成分的研究分析，是是矿物测试分析和样品成分分析矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。此外，它也的重要工具。此外，它也是分析月球土壤和月岩的理想仪器。是分析月球土壤和月岩的理想仪器。EPMA特点及特点及应用用Y优点优点Y1 1、能进行微区分析。可分析数个、能进行微区分析。可分析数个m3m3内元素的成分。内元素的成分。Y2 2、能进行现场分析。无需把分析对象从样品中取出，可直、能进行现场分析。无需把分析对象从样品中取出，可直接对大块试样中的微小区域进

25、行分析。把电子显微镜和电接对大块试样中的微小区域进行分析。把电子显微镜和电子探针结合，可把在显微镜下观察到的显微组织和元素成子探针结合，可把在显微镜下观察到的显微组织和元素成分联系起来。分联系起来。Y3 3、分析范围广。、分析范围广。Z4.Z4.其中，波谱：其中，波谱：BeBe- -U,U,能谱：能谱：NaNa- -U U。Y电子探针的最早应用领域是金属学。对电子探针的最早应用领域是金属学。对合金中各组成相、合金中各组成相、夹杂物等可作定性和定量分析夹杂物等可作定性和定量分析，直观而方便，还能较准确，直观而方便，还能较准确地测定地测定元素的扩散和偏析元素的扩散和偏析情况。此外，它还可用于研究情

26、况。此外，它还可用于研究金金属材料的氧化和腐蚀问题，测定薄膜、渗层或镀层的厚度属材料的氧化和腐蚀问题，测定薄膜、渗层或镀层的厚度和成分和成分等，是机械构件失效分析、生产工艺的选择、特殊等，是机械构件失效分析、生产工艺的选择、特殊用材的剖析等的重要手段。用材的剖析等的重要手段。EPMA应用用领域域EPMAEPMA与其他设备的联用与其他设备的联用STEM特点及特点及应用用Y1. 1. 利用扫描透射电子显微镜可以观察较厚的试样和低衬度利用扫描透射电子显微镜可以观察较厚的试样和低衬度的试样。的试样。Y2. 2. 利用扫描透射模式时物镜的强激励，可以实现微区衍射。利用扫描透射模式时物镜的强激励，可以实现

27、微区衍射。Y3. 3. 利用后接能量分析器的方法可以分别收集和处理弹性散利用后接能量分析器的方法可以分别收集和处理弹性散射和非弹性散射电子。射和非弹性散射电子。Y4. 4. 进行高分辨分析、成像及生物大分子分析。进行高分辨分析、成像及生物大分子分析。电子子显微微镜分布（武分布（武汉）Y测试地点测试地点：武汉工程大学分析测试中心：武汉工程大学分析测试中心Y型号：型号：扫描电子显微镜扫描电子显微镜Y主要技术指标：主要技术指标：Y（1 1）放大倍数）放大倍数18-30000018-300000（2 2）分辨率）分辨率4.5nm4.5nm，128KeV128KeV（3 3）HVHV和和LVLV（4 4

28、）SEISEI和和BEIBEIY附件及功能：附件及功能：Y（1 1）x x光电子能谱仪（光电子能谱仪（2 2）检测器）检测器SUTWSUTW（3 3）检测限）检测限720ppm720ppm（4 4）可测）可测H H、HeHe、LiLi、BeBe以外的元素以外的元素Y应用范围：应用范围：Y扫描电子显微镜适用于观察和研究材料及生物样品的微观表面形貌和扫描电子显微镜适用于观察和研究材料及生物样品的微观表面形貌和成分。材料样品包括块状样品粉末样品及微颗粒样品等；生物样品则成分。材料样品包括块状样品粉末样品及微颗粒样品等；生物样品则包括经过干燥处理的各种生物材料等。电子能谱仪是分析研究固体表包括经过干燥

29、处理的各种生物材料等。电子能谱仪是分析研究固体表面成份、结构、元素分布、化学态等表面化学特性方面的重要仪器，面成份、结构、元素分布、化学态等表面化学特性方面的重要仪器， 原则上能分析除原则上能分析除H H、HeHe、LiLi、BeBe以外的所有元素。以外的所有元素。Y测试地点：测试地点：武汉理工大学材料研究测试中心武汉理工大学材料研究测试中心Y型号：型号：JSM-5610LVJSM-5610LV扫描电子显微镜扫描电子显微镜Y生产国别厂家：日本电子株式会社生产国别厂家：日本电子株式会社Y主要技术指标：主要技术指标：Y 高真空模式分辨率：高真空模式分辨率：3.0nm3.0nm；低真空模式分辨率低真

30、空模式分辨率:4.0nm:4.0nm； 放大倍数放大倍数: : 18X18X300,000X300,000X；加速电压加速电压: 0.5KV-30KV: 0.5KV-30KV；低真空度：低真空度：1Pa1Pa270Pa270Pa；图图像种类像种类: :二次电子像、背散射电子像、成分像、拓扑像二次电子像、背散射电子像、成分像、拓扑像； 图像输出方图像输出方式：存盘、打印、照像。式：存盘、打印、照像。Y应用：应用：YJSM-5610LVJSM-5610LV扫描电子显微镜配有低真空系统，对非导电样品可以直接扫描电子显微镜配有低真空系统，对非导电样品可以直接进行观察和分析。在半导体、化工、冶金、矿冶等

31、部门，低真空技术进行观察和分析。在半导体、化工、冶金、矿冶等部门，低真空技术有着突出的作用；对于生物样品，如组织、脂肪、花粉和根茎等，经有着突出的作用；对于生物样品，如组织、脂肪、花粉和根茎等，经过特有的简单处理后，也可以直接观察。过特有的简单处理后，也可以直接观察。Y测试地点：测试地点：华中科技大学分析测试中心华中科技大学分析测试中心Y产品型号产品型号: : Sirion 200Sirion 200扫描电子显微镜扫描电子显微镜Y生产厂家生产厂家: :荷兰荷兰FEIFEI公司公司Y仪器介绍仪器介绍:Sirion:Sirion场发射扫描电子显微镜可实现固体样品的微观形貌观场发射扫描电子显微镜可实

32、现固体样品的微观形貌观察和微区能谱成分分析及线分布、面分布分析，可对晶体样品的晶粒察和微区能谱成分分析及线分布、面分布分析，可对晶体样品的晶粒取向和取向关系等进行分析，还可以获取的电压下薄样品的明取向和取向关系等进行分析，还可以获取的电压下薄样品的明/ /暗场扫暗场扫描透射像。描透射像。Y技术参数技术参数: :分辨率：分辨率：1.5nm ( 10KV)1.5nm ( 10KV)；2.5nm (1KV)2.5nm (1KV)；3.5nm (500V)3.5nm (500V)；标；标样放大倍数：样放大倍数：4040倍倍4040万倍加速电压：万倍加速电压：200 V - 30 kV,200 V -

33、30 kV, 连续可调倾斜连续可调倾斜角度：角度：-10-104545；EDAXEDAX能谱能量分辨率能谱能量分辨率130eV130eV，成分范围，成分范围BUBU，束斑，束斑影响区影响区1m1m左右左右STEMSTEM附件可同时放置附件可同时放置8 8个样品进行扫描透射观察，对低个样品进行扫描透射观察，对低原子序数样品也可获得较好衬度的暗场像，特别适合高分子材料、生原子序数样品也可获得较好衬度的暗场像，特别适合高分子材料、生物材料的观察物材料的观察OIM/EBSPOIM/EBSP分辨率达分辨率达1300130010241024以上，灰度以上，灰度40964096，角度分，角度分辨率达辨率达0

34、.50.5以上，用来采集和分析扫描电镜中的电子背散射衍射花样，以上，用来采集和分析扫描电镜中的电子背散射衍射花样，相鉴定数据库包揽七大晶系，功能十分强大。相鉴定数据库包揽七大晶系，功能十分强大。Y应用范围应用范围: :广泛应用于物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、广泛应用于物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验。陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验。Y测试地点：测试地点：华中科技大学分析测试中心华中科技大学分析测试中心Y产品型号产品型号:Nova NanoSEM 450:Nova NanoSEM 450扫描电

35、子显微镜扫描电子显微镜Y生产厂家生产厂家: :荷兰荷兰FEIFEI公司公司Y仪器介绍仪器介绍:Nova NanoSEM 450:Nova NanoSEM 450场发射扫描电子显微镜可实现固体样品的场发射扫描电子显微镜可实现固体样品的微观形貌观察和微区能谱成分分析及线分布、面分布分析；配备的背微观形貌观察和微区能谱成分分析及线分布、面分布分析；配备的背散射探头可获得样品的成分衬度图片；配备的低真空探头可对不导电散射探头可获得样品的成分衬度图片；配备的低真空探头可对不导电样品进行形貌及成分分析，而不需要进行喷金处理。样品进行形貌及成分分析，而不需要进行喷金处理。Y主要附件：超高强度主要附件：超高强

36、度SchottkySchottky场发射灯丝；场发射灯丝；SESE、TLDTLD探测器；低真空探探测器；低真空探测器；低真空高分辨探测器；背散射探测器；牛津测器；低真空高分辨探测器；背散射探测器；牛津X-Max 50X-Max 50电制冷能电制冷能谱仪；谱仪；CCDCCD红外相机；红外相机；Y技术参数技术参数: :高真空模式分辨率：高真空模式分辨率：1nm ( 15KV)1nm ( 15KV)；1.6 nm (1KV)1.6 nm (1KV)；低真空；低真空模式分辨率：模式分辨率：1.5nm1.5nm（10kV10kV，HelixHelix探测器探测器) )，1.8nm1.8nm（3kVHel

37、ix3kVHelix探测器探测器) )；标样放大倍数：标样放大倍数：4040倍倍4040万倍万倍；加速电压：加速电压加速电压：加速电压 50V - 30kV 50V - 30kV，连续可调连续可调；倾斜角度：倾斜角度：-10-107070；样品台移动范围：样品台移动范围：X=Y=110mmX=Y=110mm；EDAXEDAX能谱能量分辨率能谱能量分辨率126eV126eV，成分范围，成分范围BUBU，束斑影响区，束斑影响区1m1m左右左右。Y测试地点：测试地点：华中科技大学分析测试中心华中科技大学分析测试中心Y产品型号产品型号: : Tecnai G2 20 Tecnai G2 20透射电镜透

38、射电镜Y生产厂家生产厂家: :荷兰荷兰FEIFEI公司公司Y仪器介绍仪器介绍: :该仪器属于当今较先进的该仪器属于当今较先进的200kV200kV分析电镜，可采用分析电镜，可采用LaB6LaB6灯丝，灯丝，具有较高的亮度和分辨率具有较高的亮度和分辨率, ,能快速有效地采集和处理信号能快速有效地采集和处理信号, , 并将高分辨并将高分辨图像、明场图像、明场/ /暗场图像、电子衍射和详细的微观分析有机的结合起来。暗场图像、电子衍射和详细的微观分析有机的结合起来。配备有既可得到高分辨图像又可以保持高倾角配备有既可得到高分辨图像又可以保持高倾角( ( 最大最大4040) )的的S-TWINS-TWIN

39、物物镜和机械稳定性优异、可精确控制样品的镜和机械稳定性优异、可精确控制样品的CompuStageCompuStage样品台，还配有样品台，还配有EDAXEDAX能谱系统，可以进行原位的元素成分分析。紧凑的结构、完美的能谱系统，可以进行原位的元素成分分析。紧凑的结构、完美的电子光学系统，全自动的计算机控制，确保了仪器的长期稳定性。电子光学系统，全自动的计算机控制，确保了仪器的长期稳定性。Y技术参数技术参数: :放大倍数放大倍数 ：25x - 1100000x25x - 1100000x；样品最大倾角：样品最大倾角：+/-45+/-45（单（单倾杆最大倾角倾杆最大倾角+/-40+/-40；双倾杆最

40、大倾角；双倾杆最大倾角+/- 45+/- 45）；分辨率：分辨率： 0.248nm0.248nm（点），（点），0.144 nm0.144 nm（线）（线）Y应用范围应用范围: : 广泛使用于材料、物理、化学、地质、地理、环境、生物、广泛使用于材料、物理、化学、地质、地理、环境、生物、医学、冶金、陶瓷、半导体等学科及行业。医学、冶金、陶瓷、半导体等学科及行业。Y测试地点：测试地点：武汉理工大学材料研究测试中心武汉理工大学材料研究测试中心Y型号：型号：JEM-2100F STEM/EDSJEM-2100F STEM/EDS场发射高分辨透射电子显微镜场发射高分辨透射电子显微镜Y生产国别、公司：日本

41、，生产国别、公司：日本，JEOLJEOLY主要技术指标：主要技术指标：TEM TEM 分辨力：分辨力：0.23nm0.23nm（点），（点），0.102nm(0.102nm(晶格晶格) )；STEMSTEM分分辨力：辨力：0.20nm0.20nm（晶格）（晶格）；最小束斑尺寸：最小束斑尺寸：0.5nm0.5nm；放大倍数：放大倍数：5050倍倍11001100万倍万倍；加速电压：加速电压：160160 200kV 200kV；EDS XEDS X射线能量分辩力：射线能量分辩力：132eV132eV；元素分析范围：元素分析范围：B BU U；分析感量：分析感量：10-1410-1410-21g1

42、0-21gY主要应用于材料的形貌、内部组织结构和晶体缺陷的观察；物相鉴定，主要应用于材料的形貌、内部组织结构和晶体缺陷的观察；物相鉴定，包括晶胞参数的电子衍射测定；高分辨晶格和结构像观察；纳米微粒包括晶胞参数的电子衍射测定；高分辨晶格和结构像观察；纳米微粒和微区的形态、大小及化学成分的点、线和面元素定性定量和分布分和微区的形态、大小及化学成分的点、线和面元素定性定量和分布分析。样品要求为非磁性的稳定的薄膜或粉末，视其分析内容进行样品析。样品要求为非磁性的稳定的薄膜或粉末，视其分析内容进行样品制备。制备。Y测试地点：测试地点：武汉理工大学材料研究测试中心武汉理工大学材料研究测试中心Y型号：型号：

43、DI Nanoscope DI Nanoscope 扫描探针显微镜扫描探针显微镜Y国别、厂家：美国维易科精密仪器有限公司国别、厂家：美国维易科精密仪器有限公司Y基本功能：原子力显微镜基本功能：原子力显微镜(AFM)(AFM)，扫描隧道显微镜，扫描隧道显微镜(STM)(STM)Y成像模式：接触模式、轻敲模式、相位成像模式、液体环境下成像模成像模式：接触模式、轻敲模式、相位成像模式、液体环境下成像模式、横向力式、横向力/ /摩擦力显微镜、磁力显微镜、静电力显微镜摩擦力显微镜、磁力显微镜、静电力显微镜Y主要技术指标：主要技术指标： 样品尺寸：直径样品尺寸：直径15mm15mm，厚度，厚度5mm5mm

44、；横向分辨率：横向分辨率：0.2nm0.2nm；扫描范围：（扫描范围：（x,yx,y）10m/125m10m/125m，（，（z z）2.5m/5m2.5m/5mY可获得的信息：可获得的信息： 1 1、 薄膜、纳米材料、生物材料或块体材料（薄膜、纳米材料、生物材料或块体材料（d1cmd1cm，h5mmh5mm，表面粗糙度，表面粗糙度4um4um）的表面形貌，立体形貌，）的表面形貌，立体形貌，sectionsection分析，分析，粗糙度信息，颗粒度分析等结果；粗糙度信息，颗粒度分析等结果；2 2、 磁性材料的形貌和磁畴结构；磁性材料的形貌和磁畴结构；3 3、 铁电、压电材料的形貌、电畴结构和表

45、面电势分布；铁电、压电材料的形貌、电畴结构和表面电势分布；4 4、 纳米压痕计纳米压痕计算材料的微观硬度；算材料的微观硬度；5 5、 液态模式下测量样品的微观形貌；液态模式下测量样品的微观形貌； 6 6、 力曲力曲线的测试，可得表面微观硬度、弹性模量、杨氏模量及黏度等信息。线的测试，可得表面微观硬度、弹性模量、杨氏模量及黏度等信息。Y测试地点：测试地点：武汉理工大学材料研究测试中心武汉理工大学材料研究测试中心Y型号：型号：JXA-8230JXA-8230型电子探针型电子探针Y生产国别厂家：日本电子株式会社生产国别厂家：日本电子株式会社Y主要技术指标：主要技术指标：Y1. 1. 电子光学系统电子

46、光学系统：二次电子像分辨率：二次电子像分辨率：5nm5nm背散射电子像分辨率：背散射电子像分辨率：20nm20nm（拓扑像、成分像）（拓扑像、成分像）, , 成分分辨足以清晰分辨成分分辨足以清晰分辨； / / 黄铜电子黄铜电子枪：枪：LaB6LaB6发射枪，预对中灯丝发射枪，预对中灯丝；加速电压：加速电压：0 0 30kV 30kV ；束流范围：束流范围：10-5 10-5 10-12A 10-12A；图像放大倍数：图像放大倍数：4040300,000300,000，连续可调；，连续可调；Y2. 2. 波谱系统波谱系统： 分析元素：分析元素：5B - 92U5B - 92U；分析精度：好于分析精度：好于1%(1%(主元素主元素, , 含含量量5%)5%)和和5%(5%(次要元素次要元素, , 含量含量1%)1%)；分析速度：自动全元素定性分析分析速度：自动全元素定性分析时间时间6060秒，可以自动识别秒，可以自动识别0.1 wt%0.1 wt%以上的元素以上的元素。Thanks for your attentions