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1、常用真空单位换算表1 标准大气压=760 毫米汞柱=76 厘米汞柱 =1.013X1(帕斯卡=10.336 米水柱公斤不是单位，一般我们通常说的，事实上是一种非标准单位，名称叫：公斤力/ /平方厘米Kgf/cmA2Kgf/cmA21 标准大气压=0.1MPa兆帕=101KPa=千帕左右=1bar巴=760mmHg(毫米汞柱)=14.696 磅/英寸 2(psi) 勺!程大气压米千克：是质量单位，千克力：是作用在单位体积上一千克的力1Kgf/cmA2千克平方厘一个标准大气压一般约工程大气压是等于 101101 千帕即 0.10.1 兆帕，约等于一工程大气压约等于一千克力每平方厘米比标准大气压小一
2、点的1 1 物理大气压=1 1 标准大气压(atm)(atm)为什么会多一个工程大气压我也用一种质量作用力对单位面积获得的压强。而标不清楚 但是工程大气压通常按千克力等，准大气压(atm)(atm)则为标准的大气压强，比工程大气压精确，但他们是约等于的。没必要那么精确，除非你是在某些特定领域使用饱和水蒸汽的压力与温度的关系(摘自范仲元：水和水蒸气热力性质图表p410)温度C水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa220.002640.09869420.00820240.002980.09835440.00910260.003360.09797460.010092830320.00475343638
3、400.003780.004240.097550.0970948500.005320.005940.006620.007380.095390.094715658600.093950.096580.09601520.0136154温度C水蒸气压力 MPa0.011160.012340.015000.016510.018150.01992相应真空度MPa0.093130.092230.091240.090170.088990.087720.086330.084820.083180.08141温度C水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa620.021840.07949820.051330.050001
4、020.108781220.211456466687072747678800.047360.053971000.1013301200.198541400.361380.023910.026150.077420.0751884860.028560.031160.033960.072770.070170.067378890920.036960.040190.043650.064370.061140.05768949698温度C水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa0.055570.060110.045760.041221040.064950.070110.075610.036380.031220.0
5、25721081101120.081460.087690.094300.019870.013640.00703114116118温度C水蒸气压力 MPa1060.116680.125041241260.133900.143270.153161281301320.163620.174650.18628134136138温度C水蒸气压力 MPa0.225040.239330.254350.270130.278310.304070.322290.34138真空计算常用公式1 玻义尔定律体积 V，压强 P, P V 二常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。即 P1/P2 =
6、 V2/V1 ）2、盖吕萨克定律当压强 P 不变时，一定质量的气体，其体积 V 与绝对温度 T 成正比：（V1/V2 = T1/T2 =常数）当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高3、查理定律（或 P 降低）1C，则它的体积比原来增加（或缩小）1/273。当气体的体积 V 保持不变，一定质量的气体，压强P 与其他绝对温度 T 成正比，即：P1/P2 = T1/T2在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高4、平均自由程：入=（5X-30P （cm）5、抽速：S= dv/dt （升/ 秒）或 S= Q/PQ =流量（托升/秒）P =压强（托）6、通导：C= Q/（P2-P1）（升/秒）7、真空
7、抽气时间：（或降低）1C，它的压强比原来增加（或减少）1/273V =体积（升）t =时间（秒）对于从大气压到 1 托抽气时间计算式：t = 8V/S （经验公式）（V 为体积，S 为抽气速率，通常 t 在 510 分钟内选择。）8、维持泵选择：S 维=S 前/109、扩散泵抽速估算：S= 3D2 （D =直径 cm） 10、罗茨泵的前级抽速：S= (0.10.2)S 罗 (l/s)11、漏率：Q 漏= V(P2-P1)/(t2-t1)Q 漏系统漏率(mmHgl/s)(mmHg)V 系统容积(I)P1 -真空泵停止时系统中压强P2 真空室经过时间t 后达到的压强(mmHg)t压强从 P1 升到
8、 P2 经过的时间(s)12、粗抽泵的抽速选择：S= Q1/P 预 (l/s)S=2.3V Ig(Pa/P 预)/tS-机械泵有效抽速Q1 真空系统漏气率(托升/秒)V真空系统容积(升)Pa大气压值(托)P 预需要达到的预真空度(托)t 达到 P 预时所需要的时间13、 前级泵抽速选择：排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：PnSg PgS 或 Sg Pgs/PnSg前级泵的有效抽速(l/s) Pn 主泵临界前级压强(最大排气压强)(
9、l/s)Pg真空室最高工作压强(托)S主泵工作时在 Pg 时的有效抽速。(l/s)14、 扩散泵抽速计算公式： t)(/ 秒)S= Q/P = (K n)/(P式中：S被试泵的抽气速率(l/s)n 滴管内油柱上升格数(格)t油柱上升 n 格所需要的时间（秒）P在泵口附近测得的压强（托）K 滴管系数（托升 / 秒）K = V0 （L/n） （Y0/Ym）+Pa Vt其中 VO 滴管和真空胶管的原始容积n 滴管刻度部分的格数 （格）（升）L 滴管刻度部分的长度 （mm）Y0 油的比重（克/厘米 3）Pa当地大气压强（托 ）（升/格）Ym汞的比重（克 /厘米 3） Vt 滴管的刻度上的一格的对应的容
10、积15、 旋片真空泵的几何抽速计算公式：S=nZnLKv（D2-d2）/（24X104） （l/s）式中：Z 为旋片数，n 为转速（转/分），L 为泵腔长度，D 为泵腔直径，d 为转子直径（cm）, Kv 为容积利用系数（一般取 95 ）。16、 O 型橡胶槽深 B = 0.7DD 为橡胶直径，槽宽 C = 1.6B17、 方形橡胶槽深 B = 0.8AA 为方形橡胶边长，槽宽选用真空泵时，需要注意下列事项：1、 真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求的真空泵的真空度至少要1X10-5mmHg 的真空度，选用C= 1.67B5X106mmHg。通常选择泵的真
11、空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。10-310-7mmHg，在这样宽压强范围2、 正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为而不能让它在 10-8mmHg 下长期工作。又如钛升华泵可以在5X1045X106mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，10-2mmHg 下工作，但其工作压强应小于 1X10-5mmHg 为好。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足
12、抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下 工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体
13、成分， 针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备， 如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。8、 真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。9、真空泵的价格、运转及维修费用。若工艺过程不允许， 应选择无振动的泵或者采取防振动措施。水环式真空泵的选择一、 泵类型的确定泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。泵工作时，需要注意以下两个方面：卩尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。匚应避免在最大真空度或最大
14、排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和 噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在- 710mmHg 以上，可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为单作
15、用泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀 性好。如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能得到 自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，泵的使用寿命较长。二、根据系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我公司网页面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型代号主要特点工作真空度极限真空 度mmHgmmHg-700抽速范围吊/mi n密封形式sk国内设计单级水环真空泵，流的低真空水环式真空泵。结构简单
16、、维修方便。目前国内主-300-650 0.15120盘根、机械密圭寸国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK 水环泵串联使用，目-735-300-7001.530盘根、机械密圭寸2sk比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。前国内主流水环式真空泵。采用西门子先进技术，机泵同轴，结构紧凑，效率高，真空度 高，性2BV能稳定，将逐渐替代水环真空泵。2BE1采用西门子先进技术，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代 SK2SK 系列 6120m /min 抽速的水环真空泵。50 年代苏联技术，效率低，能耗大，要应用于老用户。50 年代苏联技术，效率低，能耗大，要应用于水泵引水，目前已被8
17、0 年代初已被淘汰，主80 年代初已被淘汰，主3SK、2SK 系列 0.46m3/min 抽速的-735-300-700 0.458.33机械密圭寸-735-640-300-700-300-6005400盘根、机械密圭寸SZ-640-700-300-6501.527盘根SZBSK 系列水环泵替代。0.6MPa极限-600-300-5500.330.66-630盘根机械密圭寸2SY 主要应用于水环压缩机，最大排气压强为结构基本与 2SK 系列相同，可以用被抽介质作为工作液，2YK 真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。作介质为变压器油时的极限真空度。表中极限真空度为工-755-300-7201.530机械密圭寸
