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1、扫描电镜扫描电镜 SEM电镜SEM扫面电镜成像原理课件n SEM SEM的特点的特点n SEM SEM成像的物理信号成像的物理信号 n SEM SEM的构造与工作原理的构造与工作原理 n SEM SEM的主要性能的主要性能n SEM SEM像衬度像衬度n SEM SEM样品制备样品制备 电镜SEM扫面电镜成像原理课件 扫描电镜的成像原理，和透射电扫描电镜的成像原理，和透射电镜大不相同，它不用什么透镜来进行镜大不相同，它不用什么透镜来进行放大成像，而是象闭路电视系统那样，放大成像，而是象闭路电视系统那样，逐点逐行扫描成像。逐点逐行扫描成像。电镜SEM扫面电镜成像原理课件特点特点 n仪器分辨本领较
2、高。二次电子像分辨本领可达仪器分辨本领较高。二次电子像分辨本领可达1.0nm(1.0nm(场发射场发射),3.0nm(),3.0nm(钨灯丝钨灯丝) )；n仪器放大倍数变化范围大（从几倍到几十万倍），仪器放大倍数变化范围大（从几倍到几十万倍），且连续可调；且连续可调；n图像景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大图像景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等）；的粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等）；n试样制备简单。块状或粉末的试样不加处理或稍试样制备简单。块状或粉末的试样不加处理或稍加处理，就可直接放到加处理，就可直接放到SEMSEM中进行观察中进行观察, ,比透射电比
3、透射电子显微镜（子显微镜（TEMTEM）的制样简单。）的制样简单。电镜SEM扫面电镜成像原理课件n SEM SEM的特点的特点n SEM SEM成像的物理信号成像的物理信号 n SEM SEM的构造与工作原理的构造与工作原理 n SEM SEM的主要性能的主要性能n SEM SEM像衬度像衬度n SEM SEM样品制备样品制备 电镜SEM扫面电镜成像原理课件背散射电子背散射电子 它是被固体样品中原子反射回来的一部分入它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射射电子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子。背散射电子的能量比较高，其约等于入电子。背散射电子的能量
4、比较高，其约等于入射电子能量射电子能量 E E0 0。二次电子二次电子 它是被入射电子轰击出来的样品核外电子，它是被入射电子轰击出来的样品核外电子，又称为次级电子。二次电子的能量比较低，一般又称为次级电子。二次电子的能量比较低，一般小于小于50eV50eV；电镜SEM扫面电镜成像原理课件吸收电子吸收电子 是随着与样品中原子核或核外电子发生非是随着与样品中原子核或核外电子发生非弹性散射次数的增多，其能量和活动能力不断弹性散射次数的增多，其能量和活动能力不断降低以致最后被样品所吸收的入射电子。降低以致最后被样品所吸收的入射电子。电镜SEM扫面电镜成像原理课件电子在铜中的透射、吸收电子在铜中的透射、
5、吸收和背散射系数的关系和背散射系数的关系 由图知，样品质由图知，样品质量厚度越大，则透量厚度越大，则透射系数越小，而吸射系数越小，而吸收系数越大；样品收系数越大；样品背散射系数和二次背散射系数和二次电子发射系数的和电子发射系数的和也越大，但达一定也越大，但达一定值时保持定值。值时保持定值。透射透射吸收吸收背散射背散射+二次电子二次电子电镜SEM扫面电镜成像原理课件n SEM SEM的特点的特点n SEM SEM成像的物理信号成像的物理信号 n SEM SEM的构造与工作原理的构造与工作原理 n SEM SEM的主要性能的主要性能n SEM SEM像衬度像衬度n SEM SEM样品制备样品制备
6、电镜SEM扫面电镜成像原理课件 扫描电镜的构造扫描电镜的构造 由五个系统组成由五个系统组成(1)(1)电子光学系统（镜筒）电子光学系统（镜筒） (2)(2)扫描系统扫描系统(3)(3)信号收集和图像显示系统信号收集和图像显示系统(4)(4)真空系统真空系统(5)(5)电源系统电源系统电镜SEM扫面电镜成像原理课件SEM电镜SEM扫面电镜成像原理课件电子枪发射的电子束电子枪发射的电子束经过经过2-32-3个电磁透镜聚焦个电磁透镜聚焦信号强度随样品表面特信号强度随样品表面特征而变。它们分别被相征而变。它们分别被相应的收集器接受，经放应的收集器接受，经放大器按顺序、成比例地大器按顺序、成比例地放大后
7、，送到显像管放大后，送到显像管。 在样品表面按顺序逐行在样品表面按顺序逐行扫描，激发样品产生各种扫描，激发样品产生各种物理信号物理信号: :二次电子、背二次电子、背散射电子、吸收电子等。散射电子、吸收电子等。电镜SEM扫面电镜成像原理课件 (1)(1)电子光学系统（镜筒）电子光学系统（镜筒） 由由电子枪、聚光镜、物镜和样品室电子枪、聚光镜、物镜和样品室 等部件组成。等部件组成。电镜SEM扫面电镜成像原理课件n扫描电镜一般有三个聚光镜：扫描电镜一般有三个聚光镜：q前两个透镜是强透镜，用来缩小电子前两个透镜是强透镜，用来缩小电子束光斑尺寸。束光斑尺寸。q第三个聚光镜是弱透镜，具有较长的第三个聚光镜
8、是弱透镜，具有较长的焦距，在该透镜下方放置样品可避免磁焦距，在该透镜下方放置样品可避免磁场对电子轨迹的干扰。场对电子轨迹的干扰。 电镜SEM扫面电镜成像原理课件 (2) (2) 扫描系统扫描系统 扫描系统由扫描发生器和扫描线圈组成。扫描系统由扫描发生器和扫描线圈组成。它的作用是：它的作用是： 1) 使入射电子束在样品表面扫描，并使阴极射使入射电子束在样品表面扫描，并使阴极射线显像管电子束在荧光屏上作同步扫描；线显像管电子束在荧光屏上作同步扫描； 2) 改变入射束在样品表面的扫描幅度，从而改改变入射束在样品表面的扫描幅度，从而改变扫描像的放大倍数。变扫描像的放大倍数。 电镜SEM扫面电镜成像原理
9、课件 (3) (3) 信号收集和图像显示系统信号收集和图像显示系统 扫描电镜应用的物理信号可分为：扫描电镜应用的物理信号可分为： 1) 1) 电子信号，包括二次电子、背散射电子、电子信号，包括二次电子、背散射电子、透射电子和吸收电子。吸收电子可直接用电流表测，透射电子和吸收电子。吸收电子可直接用电流表测，其他电子信号用电子收集器；其他电子信号用电子收集器； 2) 2) 特征特征X X射线信号，用射线信号，用X X射线谱仪检测；射线谱仪检测；电镜SEM扫面电镜成像原理课件n 常见的电子收集器由三部分组成：常见的电子收集器由三部分组成：闪烁体：闪烁体：收集收集电子信号电子信号 ，光导管：光导管：然
10、后成比例地转换成然后成比例地转换成 光光 信号信号，光电倍增管：光电倍增管：经放大后再转换成经放大后再转换成 电信号电信号 输出输出(增益达增益达106)，作为扫描像的调制信号。，作为扫描像的调制信号。电镜SEM扫面电镜成像原理课件加偏加偏压前后的二次前后的二次电子收集情况子收集情况 (a) 加偏加偏压前前 (b) 加偏加偏压后后 收集二次电子时，常在收集器前端栅网上加上收集二次电子时，常在收集器前端栅网上加上+250V+250V偏压，使离开样品的二次电子走弯曲轨道，到达偏压，使离开样品的二次电子走弯曲轨道，到达收集器，提高了收集效率收集器，提高了收集效率即使是在十分粗糙的表面上，包括凹坑底部
11、或突起即使是在十分粗糙的表面上，包括凹坑底部或突起外的背面部分，都能得到清晰的图像。外的背面部分，都能得到清晰的图像。电镜SEM扫面电镜成像原理课件背散射电子能量比较高，受栅网上偏压的影响背散射电子能量比较高，受栅网上偏压的影响比较小，收集器只能收集直接沿直线到达的电子。比较小，收集器只能收集直接沿直线到达的电子。 同时，为了挡住二次电子进入收集器，在栅网同时，为了挡住二次电子进入收集器，在栅网上加上上加上-250V-250V的偏压。的偏压。电镜SEM扫面电镜成像原理课件图像显示和记录图像显示和记录 这一系统的作用是将电信号转换为阴极射线显这一系统的作用是将电信号转换为阴极射线显像管电子束强度
12、的变化，得到一幅亮度变化的扫描像管电子束强度的变化，得到一幅亮度变化的扫描像，同时用照相方式记录下来，或用数字化形式存像，同时用照相方式记录下来，或用数字化形式存储于计算机中。储于计算机中。电镜SEM扫面电镜成像原理课件(5)(5)真空系统真空系统 (6)(6)电源系统电源系统 扫描电镜的真空系统和电源系统的作用与透扫描电镜的真空系统和电源系统的作用与透射电镜的相同。射电镜的相同。电镜SEM扫面电镜成像原理课件n SEM SEM的特点的特点n SEM SEM成像的物理信号成像的物理信号 n SEM SEM的构造与工作原理的构造与工作原理 n SEM SEM的主要性能的主要性能n SEM SEM
13、像衬度像衬度n SEM SEM样品制备样品制备 电镜SEM扫面电镜成像原理课件(1)(1)放大倍数放大倍数 扫描电镜的放大倍数可用表达式扫描电镜的放大倍数可用表达式 M=AC/AS AC是荧光屏上图像的边长，是荧光屏上图像的边长， AS是电子束在是电子束在样品上的扫描幅度。样品上的扫描幅度。 目前大多数商品扫描电镜放大倍数为目前大多数商品扫描电镜放大倍数为20-200000倍，介于光学显微镜和透射电镜之间倍，介于光学显微镜和透射电镜之间。电镜SEM扫面电镜成像原理课件(2) (2) 分辨本领分辨本领 SEM的分辨本领与以下因素有关：的分辨本领与以下因素有关： 入射电子束束斑直径入射电子束束斑直
14、径 由于扫描成像，小于入射电子束束斑的细节不由于扫描成像，小于入射电子束束斑的细节不能分辨。热阴极电子枪的最小束斑直径能分辨。热阴极电子枪的最小束斑直径6nm，场，场发射电子枪可使束斑直径小于发射电子枪可使束斑直径小于3nm。电镜SEM扫面电镜成像原理课件不同的物理信号调制的扫描象有不同的分辨不同的物理信号调制的扫描象有不同的分辨本领。本领。二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电二次电子扫描象的分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为子束直径，一般为6-10nm，背散射电子为背散射电子为50-200 nm，吸收电子和吸收电子和X射线为射线为100-1000nm。影响分辨本领的因素还有信噪
15、比、杂散电磁影响分辨本领的因素还有信噪比、杂散电磁场和机械震动等。场和机械震动等。电镜SEM扫面电镜成像原理课件(3)(3)景深景深 SEM景深很大。它的景深很大。它的景深取决于分辨本领和景深取决于分辨本领和电子束入射半角电子束入射半角ac。由。由图可知，扫描电镜的景图可知，扫描电镜的景深深F为为 因为因为ac很小，所以上式很小，所以上式可写作可写作景深的依赖关系景深的依赖关系 电镜SEM扫面电镜成像原理课件n扫描电子显微镜末级透镜采用小孔径角扫描电子显微镜末级透镜采用小孔径角, ,长焦距长焦距, ,的的 角很小（约角很小（约1010-3-3radrad），所），所以它的景深很大。以它的景深很
16、大。n它比一般光学显微镜景深大它比一般光学显微镜景深大100-500100-500倍，倍，比透射电子显微镜的景深大比透射电子显微镜的景深大1010倍。倍。电镜SEM扫面电镜成像原理课件n例如在放大倍数是例如在放大倍数是500500倍时，焦深可倍时，焦深可达达1000m1000m。n因而对于复杂而粗糙的样品表面，因而对于复杂而粗糙的样品表面，仍然可得清晰聚焦的图像。并且图仍然可得清晰聚焦的图像。并且图像立体感强，易于分析像立体感强，易于分析 . .电镜SEM扫面电镜成像原理课件n SEM SEM的特点的特点n SEM SEM成像的物理信号成像的物理信号 n SEM SEM的构造与工作原理的构造与
17、工作原理 n SEM SEM的主要性能的主要性能n SEM SEM像衬度像衬度n SEM SEM样品制备样品制备 电镜SEM扫面电镜成像原理课件SEM像衬度像衬度l形貌衬度形貌衬度l原子序数衬度原子序数衬度电镜SEM扫面电镜成像原理课件表面形貌衬度n由于由于二次电子信号二次电子信号主要来自样品表层主要来自样品表层5-l0 nm5-l0 nm深度范围，它深度范围，它的强度与原子序数没有明确的关系，适用于的强度与原子序数没有明确的关系，适用于显示形貌衬度显示形貌衬度。 n入射电子束与试样表面法线间夹角愈大，二次电子产额愈大入射电子束与试样表面法线间夹角愈大，二次电子产额愈大 电镜SEM扫面电镜成像
18、原理课件电镜SEM扫面电镜成像原理课件 背散射电子信号对表面形貌的变化不背散射电子信号对表面形貌的变化不那么敏感，分辨率不如二次电子像高，信那么敏感，分辨率不如二次电子像高，信号强度低。号强度低。电镜SEM扫面电镜成像原理课件 （2 2） 原子序数衬度原子序数衬度 原子序数衬度又称为化学成分衬度，原子序数衬度又称为化学成分衬度，它是利用它是利用对样品微区原子序数或化学对样品微区原子序数或化学成分变化敏感的物理信号成分变化敏感的物理信号作为调制信作为调制信号得到的一种显示微区化学成分差别号得到的一种显示微区化学成分差别的像衬度。的像衬度。这些信号主要有这些信号主要有背散射电子、吸背散射电子、吸收
19、电子和特征收电子和特征X射线射线等。等。电镜SEM扫面电镜成像原理课件(1) (1) 背散射电子像衬度背散射电子像衬度 样品表面上平均原子样品表面上平均原子序数较高的区域，产生序数较高的区域，产生较强的信号，在背散射较强的信号，在背散射电子像上显示较亮的衬电子像上显示较亮的衬度。度。 背散背散射电射电子产子产率率二次电子二次电子产率产率电镜SEM扫面电镜成像原理课件(2) (2) 吸收电子像衬度吸收电子像衬度 +=1：背散射，：背散射，：二次：二次：吸收：吸收因此可以认为，样品表面平均原子序数因此可以认为，样品表面平均原子序数大的微区，背散射电子信号强度较高，而吸大的微区，背散射电子信号强度较
20、高，而吸收电子信号强度较低，两者衬度正好相反。收电子信号强度较低，两者衬度正好相反。 电镜SEM扫面电镜成像原理课件背散射电子像背散射电子像吸收电子像吸收电子像奥奥氏氏体体铸铸铁铁的的显显微微结结构构在背散射电子像上的石墨条呈现暗的衬度，在背散射电子像上的石墨条呈现暗的衬度，而在吸收电子像上呈现亮的衬度。而在吸收电子像上呈现亮的衬度。 电镜SEM扫面电镜成像原理课件表面形貌衬度的应用表面形貌衬度的应用 n基于二次电子像（表面形貌衬度）的分辨率比基于二次电子像（表面形貌衬度）的分辨率比较高且不易形成阴影等诸多优点，使其成为扫较高且不易形成阴影等诸多优点，使其成为扫描电镜应用最广的一种方式，尤其在
21、失效工件描电镜应用最广的一种方式，尤其在失效工件的断口检测、磨损表面观察以及各种材料形貌的断口检测、磨损表面观察以及各种材料形貌特征观察上，已成为目前最方便、最有效的手特征观察上，已成为目前最方便、最有效的手段。段。电镜SEM扫面电镜成像原理课件1 1材料表面形态（组织）观察材料表面形态（组织）观察电镜SEM扫面电镜成像原理课件2 2断口形貌观察断口形貌观察电镜SEM扫面电镜成像原理课件2 2断口形貌观察断口形貌观察电镜SEM扫面电镜成像原理课件3 3磨损表面形貌观察磨损表面形貌观察电镜SEM扫面电镜成像原理课件4 4纳米结构材料形态观察纳米结构材料形态观察电镜SEM扫面电镜成像原理课件5 5
22、生物样品的形貌观察生物样品的形貌观察电镜SEM扫面电镜成像原理课件电镜SEM扫面电镜成像原理课件原子序数衬度像原子序数衬度像电镜SEM扫面电镜成像原理课件n SEM SEM的特点的特点n SEM SEM成像的物理信号成像的物理信号 n SEM SEM的构造与工作原理的构造与工作原理 n SEM SEM的主要性能的主要性能n SEM SEM像衬度像衬度n SEM SEM样品制备样品制备 电镜SEM扫面电镜成像原理课件SEMSEM样品制备样品制备 SEM SEM 固体材料样品制备方便，只要固体材料样品制备方便，只要样品尺寸适合，就可以直接放到仪器中样品尺寸适合，就可以直接放到仪器中去观察。样品直径
23、和厚度一般从几毫米去观察。样品直径和厚度一般从几毫米至几厘米，视样品的性质和电镜的样品至几厘米，视样品的性质和电镜的样品室空间而定。室空间而定。电镜SEM扫面电镜成像原理课件 对于绝缘体或导电性差的材料来说，则需要对于绝缘体或导电性差的材料来说，则需要预先在分析表面上蒸镀一层厚度约预先在分析表面上蒸镀一层厚度约101020 nm20 nm的导的导电层。电层。 否则，在电子束照射到该样品上时，会形成电否则，在电子束照射到该样品上时，会形成电子堆积，阻挡入射电子束进入和样品内电子射出子堆积，阻挡入射电子束进入和样品内电子射出样品表面。样品表面。电镜SEM扫面电镜成像原理课件n 导电层一般是二次电子发射系数比导电层一般是二次电子发射系数比较高的金、银、碳和铝等真空蒸镀层。较高的金、银、碳和铝等真空蒸镀层。 在某些情况下扫描电镜也可采用复在某些情况下扫描电镜也可采用复型样品。型样品。电镜SEM扫面电镜成像原理课件 SEMSEM样品制备大致步骤：样品制备大致步骤：1. 1. 从大的样品上确定取样部位；从大的样品上确定取样部位；2. 2. 根据需要，确定采用切割还是自由根据需要，确定采用切割还是自由断裂得到表界面；断裂得到表界面；3. 3. 清洗；清洗；4. 4. 包埋打磨、刻蚀、喷金处理，包埋打磨、刻蚀、喷金处理，电镜SEM扫面电镜成像原理课件
