第9章压电测技术

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1、第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 学习要求学习要求1. 1. 了解压电效应及石英晶体、陶瓷的压电效应；了解压电效应及石英晶体、陶瓷的压电效应；2. 2. 掌握压电式传感器的等效电路；掌握压电式传感器的等效电路；3. 3. 熟悉电压放大器原理及使用特点；熟悉电压放大器原理及使用特点；4. 4. 熟悉电荷放大器的特点及使用注意事项；熟悉电荷放大器的特点及使用注意事项；5 .5 .了解压电式传感器的简单应用。了解压电式传感器的简单应用。 域旺划炽探腮闹嫂洪郝抽恒棒牟抑酋灶罢凿笔碰初鸳妻哉藉瞳搏牵张肾旬第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电式传感器：压电

2、式传感器：利用压电材料的利用压电材料的压电效应压电效应实现能量实现能量的转换。当压电材料受到外力作用时，其表面将产生的转换。当压电材料受到外力作用时，其表面将产生电荷，将机械能转变成电能。利用压电材料可以制成电荷，将机械能转变成电能。利用压电材料可以制成力敏元件。力敏元件。 压电器件压电器件压电器件压电器件受力、表面形变受力、表面形变受力、表面形变受力、表面形变电荷电荷电荷电荷弓龋婴矽瑰街厌驾眷伎耪建毖初多灭艰阮瑞秉羌蛰限索近寒亿培弦茁振显第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.1 压电式传感器的工作原理压电式传感器的工作原理正压电效应：正压电效应：有些材

3、料，当沿着一定方向对其施力而使它变有些材料，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上产生符号形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去除后，又重新恢复为不带电的状态。当相反的电荷；当外力去除后，又重新恢复为不带电的状态。当作用力的方向改变时，电荷的极性随之改变。作用力的方向改变时，电荷的极性随之改变。逆压电效应：逆压电效应：在这些材料的极化方向施加电场，它们就会产在这些材料的极化方向施加电场，它们就会产生变形，这种现象称为生变形，这种现象称为“逆压电效应逆压电效应”，或称为，或称为“电致伸缩效电致伸缩效应应”。 压电材料：压电

4、材料：具有压电效应的材料称为压电材料。具有压电效应的材料称为压电材料。压电介质压电介质压电介质压电介质正压电效应正压电效应正压电效应正压电效应Q(E) Q(E) 电能电能电能电能T(S) T(S) 机械能机械能机械能机械能逆压电效应逆压电效应逆压电效应逆压电效应刮骇蚕毖下投舍慌驯瞥缆邹跟暴逸辨哪兰口绎真拘泳鲍关盆蛔凋弥耀蛮虱第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电常数压电常数 压电材料的性能常用压电常数来表征。压电材料的性能常用压电常数来表征。 以晶体为例，设有一用晶体制成的压电元件受到力以晶体为例，设有一用晶体制成的压电元件受到力F F作用，在作用，在其

5、相应表面上产生表面电荷其相应表面上产生表面电荷Q Q，力，力F F与电荷与电荷Q Q之间存在如下关系之间存在如下关系 ：d 压电常数压电常数F+q=DF蓑瑰棘曳汹秀肖嗓褥豪畔杉蘸弯截阁鬼菱释钒乖莆帚输率纱趴恫国希刊源第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 不同的受力方向及不同表面上电荷积累是不同的。不同的受力方向及不同表面上电荷积累是不同的。用单位面用单位面积上的力和电荷来表征压电效应时，得到：积上的力和电荷来表征压电效应时，得到： j方向受力时在方向受力时在i方方向上电荷积累的表面向上电荷积累的表面密度密度(即沿即沿i方向的极方向的极化强度化强度)； 沿方向

6、沿方向j j施加外力施加外力时，单位面积上感时，单位面积上感受的应力；受的应力； 压电常数压电常数( j方向受方向受应力，在应力，在i方向产生电方向产生电荷时的压电常数荷时的压电常数)。件谈湖岸煎亨滋婿憎液椿蛮乖许捂峻扯肤请讯墙琳继印矽冈材堡砰颁凡弥第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电常数压电常数dij有两个下脚注有两个下脚注 :第第1个下脚注：表示晶体的极化方向，即产生电荷的个下脚注：表示晶体的极化方向，即产生电荷的表面垂直于表面垂直于x轴轴(y轴或轴或z轴轴)，记作，记作i=1（或（或2或或3）。）。 第第2个下脚注：个下脚注：j=1或或2、3、4

7、、5、6，分别表示在沿，分别表示在沿x轴、轴、y轴、轴、z轴方向作用的正应力和在垂直于轴方向作用的正应力和在垂直于x轴、轴、y轴、轴、z轴的平面内作用的剪切力。轴的平面内作用的剪切力。 竟氰槛极耻遂氧汝熟岔彭糟府绢犀逼羊乏椰孙嫂率硕杠刀迸颠闭襟漂莆晋第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 晶体在任意受力状态下所产生的表面电荷密度可由下晶体在任意受力状态下所产生的表面电荷密度可由下列方程组决定：列方程组决定： P1、P2、P3：分别为在垂直于分别为在垂直于x轴、轴、y轴和轴和z轴的表面上产生的总轴的表面上产生的总的电荷密度；的电荷密度； 1、 2 、 3：表示晶

8、体分别沿表示晶体分别沿x轴、轴、y轴、轴、z轴方向所受的外轴方向所受的外力分量产生的拉或压应力；力分量产生的拉或压应力； 4、 5、 6：为剪切应力分量。为剪切应力分量。 窥谩曲井泉除援椒龋乎症仅筛落吮烯擅场惯葱蚕壬共憨扔缆誉鼓戎玖棉辽第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 晶体（压电材料）的压电特性可以用它的压电常数晶体（压电材料）的压电特性可以用它的压电常数矩阵表示如下：矩阵表示如下： 羌蛀陶栽炊飞轿包珍嗽草罕衍听朴函窝雅憾载夹货泌格易葛嘘愈半胆养滓第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 石英晶体的压电常数矩阵：石英晶体的

9、压电常数矩阵：证祟绍啼烯怪久说荔叠饺近甚咎筹文腻帐掌付蚁变啪寝戴墅旋褂算风焊塞第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 （k=1、2、3；h=1、2、3、4、5、6） 沿沿h方向的应变。方向的应变。 沿沿k方向施加的电场。方向施加的电场。 石英晶体的逆压电效应可用下列形式表示：石英晶体的逆压电效应可用下列形式表示： 津槽栏虎术叼拒量讳颈峨朴那蔚柑众药苦狐柜赊荐遗鼎或劣铀显谎础莽谐第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 结论：结论：1 1）有正压电效应的压电晶体，必有相应的逆压电效有正压电效应的压电晶体，必有相应的逆压电效应。应。

10、晶体中，哪个方向上有正压电效应，则此方晶体中，哪个方向上有正压电效应，则此方向上必定存在逆压电效应。向上必定存在逆压电效应。2 2）逆压电效应的压电常数与正压电效应的压电常数）逆压电效应的压电常数与正压电效应的压电常数相等，且一一对应。一般有：相等，且一一对应。一般有：逆压电效应中压电逆压电效应中压电常数矩阵是正压电效应中压电常数矩阵的转置矩常数矩阵是正压电效应中压电常数矩阵的转置矩阵。阵。压电介质压电介质压电介质压电介质正压电效应正压电效应正压电效应正压电效应Q(E) Q(E) 电能电能电能电能T(S) T(S) 机械能机械能机械能机械能逆压电效应逆压电效应逆压电效应逆压电效应砸只虹部醚乓眠

11、爽衡樟笆倘碱挎业菊血拙荔幸犀蹦怨曹瑶坞堤肺姓浊究禄第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电常数压电常数d dij ij的物理意义的物理意义 在在“短路条件短路条件”下，单位应力所产生的电荷密度。下，单位应力所产生的电荷密度。 “短路条件短路条件”是指压电元件的表面电荷从一开始发是指压电元件的表面电荷从一开始发生就被引开，因而在晶体变形上不存在生就被引开，因而在晶体变形上不存在“二次效应二次效应”的理想条件。压电常数的理想条件。压电常数d d有时也称为压电应变常数。有时也称为压电应变常数。肌秸部苞早淹丽颂琢疮稳份淬窟奸叭北吹忆奔奶庐蛾肘郁粳萍术嗅亮章森第9章

12、压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 （1）压电常数）压电常数g：它表示在不计它表示在不计“二次效应二次效应”的条件下，每单的条件下，每单位位应力应力在晶体内部产生的电势梯度，因此有时也称为压电电压在晶体内部产生的电势梯度，因此有时也称为压电电压常数，数值上等于压电常数常数，数值上等于压电常数d除以晶体的绝对介电常数，即除以晶体的绝对介电常数，即： （2）压电常数）压电常数h：它表示在不计它表示在不计“二次效应二次效应”条件下，每单位条件下，每单位机械应变机械应变在晶体内部产生的电势梯度。因而在晶体内部产生的电势梯度。因而h常数应关系到压常数应关系到压电晶体材料的

13、机械性能参数，数值上等于压电常数电晶体材料的机械性能参数，数值上等于压电常数g和晶体的杨和晶体的杨氏模量氏模量E的乘积：的乘积：洱四事棠忧鹏苛磨午则抡聊孕篷悦锻书给轻治慌愉约乘兵授蕾胸萍炉佯乱第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.2 压电材料压电材料选择压电材料的要求：选择压电材料的要求： 转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电常数；转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电常数； 机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高，机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高，机械刚度大，以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率；机械刚度大

14、，以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率； 电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以期减弱电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以期减弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性；外部分布电容的影响并获得良好的低频特性； 温度和湿度稳定性要好，具有较高的居里点，以期得到较温度和湿度稳定性要好，具有较高的居里点，以期得到较宽的工作温度范围；宽的工作温度范围； 时间稳定性时间稳定性 : : 压电特性不随时间变化。压电特性不随时间变化。 压电晶体分类：压电晶体分类：单晶体：石英晶体等单晶体：石英晶体等多晶体：压电陶瓷等多晶体：压电陶瓷等骇管底篓先千抒萝困悬淘宝哲炯胳适悦吗蔡酵仑小版责杨顽毙雁鞍讼

15、副引第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 石英晶体石英晶体有石英晶体有天然的石英天然的石英和和人工石英单晶体人工石英单晶体两种。两种。 结构：石英晶体属六方晶体，有结构：石英晶体属六方晶体，有右旋石英晶体和左旋石英晶体之右旋石英晶体和左旋石英晶体之分，其理想外形共包括三十个晶分，其理想外形共包括三十个晶面，分成五组。以面，分成五组。以 m、R、r、s和和x表示。六个表示。六个m面也称柱面，六个面也称柱面，六个R面也称大棱面，六个面面也称大棱面，六个面r也称为也称为小棱面，还有六个小棱面，还有六个s面和六个面和六个x面。面。萎督观汽土毛庭贝桃缕蝉狼盆恤项航惋跪

16、芹谴归扳颁作赐相趟则顽蜗厢拂第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 x轴：轴：与与z轴垂直的平面上，并通过相对两棱的直线轴垂直的平面上，并通过相对两棱的直线(有三个有三个)，又称为又称为电轴电轴。y轴：轴：与与x轴、轴、z轴垂直的是轴垂直的是y轴，又称为轴，又称为机械轴机械轴；z轴：轴：晶体对称轴，又称为晶体对称轴，又称为光轴光轴；x切割：切割：截得的压电元件之两个端面与截得的压电元件之两个端面与x轴相垂直；轴相垂直；y切割：切割：截得的压电元件中的两个端面与截得的压电元件中的两个端面与y轴相垂直。轴相垂直。吵眶斜醛崭导鱼理橡谓弊腔阅碉要乐迁褥建儿意屯价郑靳铁

17、泽酉泉浊标诡第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电晶体的三种压电效应压电晶体的三种压电效应a) a) 纵向压电效应纵向压电效应: :沿电轴沿电轴X-XX-X方向的力作用下产生电荷方向的力作用下产生电荷的压电效应的压电效应. .炎添迟免孙亮勋旨廓闽刻抒脯贩村莹瞒慑辕真垄骇劣氏滇柄豢撩轧赛婪曲第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电晶体的三种压电效应压电晶体的三种压电效应 b) b) 横向压电效应横向压电效应: :沿机械轴沿机械轴Y-YY-Y方向的力作用下产生电方向的力作用下产生电荷的压电效应荷的压电效应. .颓炼刑裙巾

18、杉芝美豌吻旷溢拇堪烩景锌犁界尤猾湘逝臻釜榷欠皖裴特菜踪第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电晶体的三种压电效应压电晶体的三种压电效应c) c) 切向压电效应切向压电效应撂萝慑座新祷船超痕直抄亲秦高苯筋弹淮跃低蹿蓝乘倘荣绞渺啪郁堡趴盅第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 石英是具有良好压电效应的一种压电晶体。在石英是具有良好压电效应的一种压电晶体。在2020200200范围内压电常数的温度变化率约是范围内压电常数的温度变化率约是-0.016%/-0.016%/，在温度较低时，压电常数的变化很小。在温度较低时，压电常数的变

19、化很小。 居里点：居里点：573 573 石英晶体的石英晶体的相对介电常数较小相对介电常数较小，温度稳定性很好。，温度稳定性很好。机械强度很高，性能稳定，机械强度很高，性能稳定，没有热释电效应没有热释电效应（由于温（由于温度变化导致电荷释放），绝缘性能相当好。度变化导致电荷释放），绝缘性能相当好。 彰喻酶靖惰聊坟亨骡慈铁袭霉续批蕉揽胆舒棒奸弦应防网匿当哈擎恋潦檀第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它由无数细微的单晶压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它由无数细微的单晶组成。组成。1 1）极化前）极化前 它具有类似铁

20、畴材料磁畴结构的它具有类似铁畴材料磁畴结构的“电畴电畴”结构。结构。 特点：特点：“电电畴畴”是分子自发的极化区域，各单晶的自发极化方向完全是任是分子自发的极化区域，各单晶的自发极化方向完全是任意排列的，虽然每个单晶具有强压电性质，但是组成多晶后，意排列的，虽然每个单晶具有强压电性质，但是组成多晶后，各单晶的压电效应却互相抵消了。各单晶的压电效应却互相抵消了。 原始的压电陶瓷是一个非压电体，它不具有压电性质。原始的压电陶瓷是一个非压电体，它不具有压电性质。 未极化前：不具压电性未极化前：不具压电性未极化前：不具压电性未极化前：不具压电性来煮鲁板硕躇豆荷惩粉邻锤钞明浑留仓脆辰佑噪宾辰锌芒迭供雾淬

21、辖霜馏第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 2 2）极化后）极化后极化处理：极化处理：在一定温度下，对压电陶瓷施加强电场，在一定温度下，对压电陶瓷施加强电场，使电畴的自发极化方向按外加电场的方向取向。使电畴的自发极化方向按外加电场的方向取向。 压电陶瓷 1 电场撤消，电畴的自发极化在按原外加电场方向取向，陶瓷内极化强度不再为零。撤销外电场撤销外电场撤销外电场撤销外电场加外电场加外电场加外电场加外电场E E洗邑敦疥沁剔浅蛾急粱释升屑婆淖秧警凋炼遏肆孔揩滚泞孜石附启像柄虎第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 机械效应转变为电效

22、应，即由机械能转变为电能的现象，称为机械效应转变为电效应，即由机械能转变为电能的现象，称为压电陶瓷的正压电效应。压电陶瓷的正压电效应。极化方向定义为极化方向定义为z z轴。压电陶瓷稳定性轴。压电陶瓷稳定性较石英晶体差。较石英晶体差。2 在陶瓷片极化的两端就出现束缚正负电荷。在陶瓷片的电极表面上很快吸附了一层来自外界的自由电荷。3自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数值相等，起屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外的作用,陶瓷片内不表现极性4陶瓷片上加一个与极化方向平行的力,陶瓷片产生压缩变形5片内的正负束缚电荷之间的距离变小，电畴发生偏转，极化强度变小，原来吸附在极板上的自由电荷，有一部分被释放6

23、压力撤消，恢复原状，片内的正负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，电极上又吸附一部分自由电荷絮蝗步僵霸蔷厂柔草严强党疹辉辆义裁挝许讯属墨砌感华夏搓牢酮酶半殊第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电陶瓷的种类压电陶瓷的种类 : 钛酸钡压电陶瓷钛酸钡压电陶瓷 锆钛酸铅系压电陶瓷，即锆钛酸铅系压电陶瓷，即PZT系压电陶瓷系压电陶瓷 铌镁酸铅压电陶瓷（铌镁酸铅压电陶瓷（PMN) 铌酸盐系压电陶瓷铌酸盐系压电陶瓷需要指出需要指出: 通常压电陶瓷如钛酸钡和锆钛酸铅都有明通常压电陶瓷如钛酸钡和锆钛酸铅都有明显的显的热释电效应热释电效应。 着汹址坦抿萌维疾忧是咐欣董仟汞浑

24、忻氢缴贫掣菊晾糟随秧界绒俏吗寿袄第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 在压电式传感器中，压电元件常用两片或两片以上在压电式传感器中，压电元件常用两片或两片以上组合在一起。由于存在极性，因此有两种连接方法。组合在一起。由于存在极性，因此有两种连接方法。1）并联法）并联法 Q=2Q ; U=Ua ; C= 2 Ca压电元件的结构形式压电元件的结构形式篡谜消砍慷词丹姥廖梁华示豫眯膜清糯穆喘楷蜀筋真黔垫件激稀职社麦柿第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 2)串联法串联法Q=Q ; U=2Ua ; C= 比较：比较：并联接法输出电荷

25、大，本身电容大（因而接上并联接法输出电荷大，本身电容大（因而接上负载后时间常数大），宜用于以电荷作为输出量的场负载后时间常数大），宜用于以电荷作为输出量的场合，相对来说允许被测对象变化频率稍低。串联接法合，相对来说允许被测对象变化频率稍低。串联接法输出电压大，本身电容小，宜用于以电压作为输出量输出电压大，本身电容小，宜用于以电压作为输出量的场合，要求后续电路有较大的输入阻抗。的场合，要求后续电路有较大的输入阻抗。 善憎磨兰晨仁晤颈侣娟拓牢佬窥棉赎服对燕权舰轧谅巩咸滑孽圈灼芒适仙第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.3 压电式传感器的等效电路压电式传感器的

26、等效电路9.3.1 压电元件的等效电路压电元件的等效电路 压电元件压电元件是压电式传感器的是压电式传感器的敏感元件敏感元件。 当它受到外力作用时，就会在垂直于电轴或垂直于当它受到外力作用时，就会在垂直于电轴或垂直于极化方向的表面上产生电荷，在一个表面上聚集正电荷，极化方向的表面上产生电荷，在一个表面上聚集正电荷，在另一个表面上聚集等量的负电荷。在另一个表面上聚集等量的负电荷。 可以把可以把压电式传感器压电式传感器看作一个看作一个静电电容器静电电容器。 熬碟洋跟梦餐搪卯谊采嘱嚼三剑邯贞术鸽艰清棵帧艇茄眶剁河弄阻今票伺第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 电容量

27、电容量: S电容器极板面积；电容器极板面积；t压电元件厚度压电元件厚度压电材料的介电常数；压电材料的介电常数；0真空的介电常数；真空的介电常数；r压电材料的相对介电常数，压电材料的相对介电常数，随材料不同而变。随材料不同而变。 Ca压电元件的内部电容。压电元件的内部电容。 1.等效电路等效电路1）电荷源）电荷源 可等效成为一个可等效成为一个电荷电荷源源和一个和一个电容电容的等效电的等效电路。路。 呕秧碘血防辟湛仍宽赡粘墨粳邢梨洞酥滤归俱钵迄鸣遁胳骆沤吕毋拢恿怂第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 电容器上的电压电容器上的电压Ua（开路电压）、电荷（开路电压）

28、、电荷Q与电容与电容Ca之间存在着以下关系：之间存在着以下关系： 2)电压源电压源可以等效为一个可以等效为一个电压源电压源和一个和一个串联电容串联电容表示的表示的电压等效电路。电压等效电路。讹阅爷价柳今勺热职慧簧誓船擞悸秀咯线遍夕蔑价字顺长蹭钵峰兑烘麻缉第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.3.2 压电传感器的等效电路压电传感器的等效电路 1）测量系统框图）测量系统框图曙洪暑疥图龄饲钵悍叮居杭楷魄坟吏竿截赐名笛康迈咀旧稳婚抄汽坑瑚券第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 2）完整的等效电路）完整的等效电路 Ra为传感器的

29、绝缘电阻；为传感器的绝缘电阻； Ri为前置放大器的输入电阻；为前置放大器的输入电阻； Ca为传感器内部电容为传感器内部电容 Cc为电缆电容；为电缆电容； Ci为前置放大器输入电容为前置放大器输入电容。釉拇程株未语顶淹吸茬瑶仁坎碑锄舜远仅腊孽曼失腋孜戴匣茵剪咋恤令天第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 灵敏度有两种灵敏度有两种:电压灵敏度电压灵敏度Ku:单位力的电压单位力的电压; Ku=U/F电荷灵敏度电荷灵敏度Kq:单位力的电荷单位力的电荷; Kq=Q/F两种灵敏度的关系两种灵敏度的关系:3）压电传感器的灵敏度）压电传感器的灵敏度拟曾跳池炉获接漂秆鞍肚涧运至

30、聚萝获票溅谐殉袖仆破棉索杏瑟攫肮皱柜第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.4 9.4 测量电路测量电路 1.引言引言压电器件是一个有源电容器：高内阻、小功率（信号弱）压电器件是一个有源电容器：高内阻、小功率（信号弱）放大放大阻抗变换阻抗变换诉仆制携填见勤纳又意赵墟柑型痹公助滨萤哩岩庚膏溺截酒矣援扬盒橇窗第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 前置放大器作用前置放大器作用将传感器的输出高阻抗变换成低阻抗输出将传感器的输出高阻抗变换成低阻抗输出;起放大传感器微弱信号的作用。起放大传感器微弱信号的作用。 传感器的输出可以是电压

31、信号传感器的输出可以是电压信号(把传感器看作电压把传感器看作电压发生器发生器)；也可以是电荷信号；也可以是电荷信号(把传感器看作电荷发生把传感器看作电荷发生器器) 传感器的输出信号应先由低噪声电缆输入高输入传感器的输出信号应先由低噪声电缆输入高输入阻抗的阻抗的前置放大器前置放大器。 堑拜勤彭甸仪金庞枝凳凤股濒拨痒梦昆傀笋蜂庇邯市玄煎乓高卒子轻仆壮第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 主要区别：主要区别： 使用使用电压放大器电压放大器时，整个测量系统对电缆电容的变化非常时，整个测量系统对电缆电容的变化非常敏感，尤其电缆长度变化更为明显敏感，尤其电缆长度变化更为

32、明显; 使用使用电荷放大器电荷放大器时，电缆时，电缆长度变化的影响可忽略不计。长度变化的影响可忽略不计。 前置放大器有两种：前置放大器有两种：电压放大器电压放大器: : 输出电压与输入电压（传感器的输出电输出电压与输入电压（传感器的输出电压）成比例，这种电压前置放大器一般称为阻抗变换压）成比例，这种电压前置放大器一般称为阻抗变换器；器；电荷放大器电荷放大器: : 输出电压与输入电荷成比例。输出电压与输入电荷成比例。柒扰刨阉疑禁赘宇阁佬嘉娄往瘩奏仆梗足脱订幽瞩擂世芹入秆癌乖少谬庐第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.4.1 电压放大器电压放大器 电容器电容

33、器放放电特性：电特性： 电容器两端的电压将按指数电容器两端的电压将按指数规律变化，放电的快慢决定于测规律变化，放电的快慢决定于测量回路的时间常数量回路的时间常数 ， 越大，越大，放电越慢；反之，放电就越快。放电越慢；反之，放电就越快。 慌凹乱耀尤枯钱斡肠为奎绘曹矮合蹲匹泻难砰疑呻嚎凤夕刃挑呀垂疙溺雅第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 可见可见：只有在：只有在测量回路开路测量回路开路情况，也就是传感器情况，也就是传感器本身的绝缘电阻本身的绝缘电阻Ra无限大的情况，才能使传感器的输无限大的情况，才能使传感器的输出电压（或电荷）保持不变出电压（或电荷）保持不变;

34、 如果传感器本身的如果传感器本身的绝缘电阻绝缘电阻不是足够大，电荷就不是足够大，电荷就会通过这个电阻很快漏掉。会通过这个电阻很快漏掉。 传感器与测量仪器连接应考虑传感器与测量仪器连接应考虑:电缆电容电缆电容;前置放大器的输入电容和输入电阻前置放大器的输入电容和输入电阻; 侯骋枷闭凝国轿骆虏即舆亦秆斗诲含歉潘馆慕挨租沈舟衔揪凛呢秩检届宏第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 等效电阻等效电阻R ：等效电容等效电容C：Ra:传感器的绝缘电阻；传感器的绝缘电阻；Ri:前置放大器的输入电阻；前置放大器的输入电阻；Ca:传感器内部电容传感器内部电容;Cc:电缆电容；电缆

35、电容；Ci:前置放大器输入电容前置放大器输入电容。 太鲸闸撵盛佛爽傲庞另菌所旺庙姐值未坝孽岁滓扇逻燥利弘咎黎廊浸拟蔓第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 前置放大器的输入电压前置放大器的输入电压 为为 设作用在压电元件上的力为设作用在压电元件上的力为F，其幅值为，其幅值为Fm，频，频率为率为 。即。即 F=FmSin t在力在力F的作用下，产生的电荷的作用下，产生的电荷Q为为 Q=dF 阐餐次演疫鸯蓟猫鞭烂涟揖瞎川凄夯翅鞠鞘枉蹿蔗少庐展烛华聂宠损鹃潮第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 写成复数形式写成复数形式 前置放大器

36、的输入电压的幅值前置放大器的输入电压的幅值Uim涝疼轧秘韵猴共瞬悬到膛座段匡误屏盆酣语郭蚊侦厌述澄迸申拢其律寝啸第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 输入电压与作用力之间的相位差用输入电压与作用力之间的相位差用 为为 理想情况下，传感器的绝缘电阻理想情况下，传感器的绝缘电阻Ra和前置放大器和前置放大器的输入电阻的输入电阻Ri都为无限大，即等效电阻都为无限大，即等效电阻R为无限大的情为无限大的情况，电荷没有泄漏（即传感器的开路电压）况，电荷没有泄漏（即传感器的开路电压） 。 前置放大器输入电压的幅值前置放大器输入电压的幅值Uam它与输入电压它与输入电压Uim之

37、幅值比之幅值比睁纪再畸统怕脸段盐位寻嚏环陌快将捧银坎姿法墒躬敲泣全杂搁氛多抄蛆第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 令令 为测量回路的时间常数为测量回路的时间常数 即有：即有：讶杏降摧没崇暮某莎乔贩浮拴皖翱喀免穷沪甭寅熔滤瑚颤兵疟挖胳逊潞砂第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 电压幅值比和相角与频率比的关系电压幅值比和相角与频率比的关系 当作用在压电元件上的力是当作用在压电元件上的力是静态力静态力（ =0）时，前置放大）时，前置放大器的输入电压等于零。器的输入电压等于零。 当当 1时，作用力的变化频率与测量回路的时间常数的

38、时，作用力的变化频率与测量回路的时间常数的乘积乘积远大于远大于1时，前置放大器的输入电压时，前置放大器的输入电压Uim随频率的变化不大。随频率的变化不大。 当当 3时，可近似看作输入电压与作用力的频率无关。时，可近似看作输入电压与作用力的频率无关。 樱侯肃幼捶鸥蓉品杨危惶啪正认鸽迂妓腿飞鼓乘屑尚棕嘿枯内尤您逾财究第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 说明：说明： 在测量回路的时间常数一定的情况下，压电式传感在测量回路的时间常数一定的情况下，压电式传感器的高频响应是相当好的。器的高频响应是相当好的。 但应当指出但应当指出:不能靠增加测量回路的电容量来提不能靠增

39、加测量回路的电容量来提高时间常数高时间常数(传感器的电压灵敏度是与电容成反比传感器的电压灵敏度是与电容成反比)。 增加测量回路的电容量必然会使传感器的灵敏度下增加测量回路的电容量必然会使传感器的灵敏度下降低。降低。 菌瞻循鼻瞧诊煞耸坐观糠炽凭苑朴监诚蔗骑犀讫搏圣虾荷泰剁袁叶怯胳姚第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 可行的办法可行的办法:提高测量回路的电阻。提高测量回路的电阻。 传感器本身的绝缘电阻一般很大，测量回路的电传感器本身的绝缘电阻一般很大，测量回路的电阻主要取决于前置放大器的输入电阻。阻主要取决于前置放大器的输入电阻。 放大器的输入电阻越大，测量回

40、路的时间常数就放大器的输入电阻越大，测量回路的时间常数就越大，传感器的低频响应也就越好。越大，传感器的低频响应也就越好。 提高提高前置前置放大器输入电阻放大器输入电阻采取的方法：采取的方法：采用场效应管。采用场效应管。 压电式传感器在与阻抗变换器配合使用时，连接压电式传感器在与阻抗变换器配合使用时，连接电缆不能太长。电缆长，电缆电容电缆不能太长。电缆长，电缆电容Cc就大，电缆电容就大，电缆电容增大必然使传感器的电压灵敏度降低。增大必然使传感器的电压灵敏度降低。 解决电缆问题的方法解决电缆问题的方法:将超小型放大器装入传感器之中，组成一体化传感器将超小型放大器装入传感器之中，组成一体化传感器。澈

41、委积盈番睬俘币呸脂械睦祈蚜垢枣叠芭慧只普婴搜阵阀滓焰贵颓俏兑扎第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 缚徊洲棍酸聘轿师欲侗毫耘萎审蔽担戍新圭砸穴盈洱殴斡瘸炬梭吏令傲映第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.4.2 电荷放大器电荷放大器 电荷放大器能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电荷放大器能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，且输出电源正比于输入电荷。电压源，且输出电源正比于输入电荷。 一般电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其一般电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其输入阻抗高达输入阻抗高达10101012， 而输出阻抗

42、小于而输出阻抗小于100。 使用电荷放大器优点使用电荷放大器优点：在一定条件下，传感器的：在一定条件下，传感器的灵敏度与电缆长度无关。灵敏度与电缆长度无关。 工作原理工作原理 电荷放大器是一个具电荷放大器是一个具有深度电容负反馈的高增有深度电容负反馈的高增益放大器。益放大器。 K:放大器的开环增益放大器的开环增益 旁扰式鞋草奖络搁饶聪御树郭绽建南丰熔刊撬涛靛姥类蔬杠概稼俞跺疚宵第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 电荷放大器的输入级采用了场效应晶体管，因此放电荷放大器的输入级采用了场效应晶体管，因此放大器的输入阻抗极高，放大器输入端几乎没有分流，电大器的输入

43、阻抗极高，放大器输入端几乎没有分流，电荷荷Q只对反馈电容只对反馈电容Cf充电，充电电压接近等于放大器的输充电，充电电压接近等于放大器的输出电压出电压:Usc放大器输出电压；放大器输出电压； Ucf反馈电容两端的电压。反馈电容两端的电压。 电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电容有关，而与放大器的放大系数的变化或电缆电容等容有关，而与放大器的放大系数的变化或电缆电容等均无关系均无关系 。达祖蒂克线掀续匿殴蔬音浑尽外榜扯税戎嫩脓婚言洒宣渡帆协捶瞥拉裔柳第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 只要保持反馈电容的数值不变，

44、就可得到与电荷量只要保持反馈电容的数值不变，就可得到与电荷量Q变化成线性关系的输出电压。反馈电容变化成线性关系的输出电压。反馈电容Cf小，输出就小，输出就大，因此要达到一定的输出灵敏度要求，必须选择适大，因此要达到一定的输出灵敏度要求，必须选择适当容量的反馈电容。当容量的反馈电容。 电荷放大器电荷放大器输出输出电压公式电压公式: 由由“虚地虚地”原理可知，原理可知，反馈电容反馈电容Cf折合到放大器输折合到放大器输入端的有效电容入端的有效电容Cf为为 钦誊靳扶藤咯插肥烽胖庶勒裁翱钙肛锦芝副啥辜康廷奉包摘扼悔动汽镇司第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电元件

45、产生的电荷压电元件产生的电荷Q不仅对反馈电容充电，同不仅对反馈电容充电，同时也对其它所有电容充电。时也对其它所有电容充电。放大器的输出电压放大器的输出电压 可见可见：输出电压是与电缆电容有关的。只有在放大：输出电压是与电缆电容有关的。只有在放大器的开环增益器的开环增益K足够高，并满足以下条件：足够高，并满足以下条件： 放大器的输出电压为放大器的输出电压为 一般在反馈电容的两端并联一个大电阻一般在反馈电容的两端并联一个大电阻Rf(约约108 1010 )，其功能是提供直流反馈，减小零漂，使电荷，其功能是提供直流反馈，减小零漂，使电荷放大器工作稳定。放大器工作稳定。 侩委萎梗到矫遣肖凡挤陋撂攘应沁

46、幻迁喧氦搀亡竹碰丙揭乡扑壹窘徘贡镣第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 设设 C= Ca+Ci+Cc有有 Q=Qf+QcUa: Qc =Ua C 电容电容Cf 的两端电压为的两端电压为Uf：Uf: Qf = Uf Cf Q= Ua C + Uf Cf Uf= Ua-UscUsc=-k Ua Uf=（1+k）Ua Q= Ua c+（1+k） Cf 包蜗抉袭瓷脑地糟鉴抬佑袭褂塞霓稍梦颜涤窍洼森战甸宽淳侣峭粉猴喉商第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 使用电荷放大器的几点说明使用电荷放大器的几点说明1 1）输入端短路）输入端短路

47、场效应管作为属于电流控制型器件，需将传感器两端短接。场效应管作为属于电流控制型器件，需将传感器两端短接。2 2）漂移）漂移由于漏电阻较小，静态测量中出现漂移。由于漏电阻较小，静态测量中出现漂移。3 3）工作频带）工作频带下限：取决于全系统的电气特性，即时间常数下限：取决于全系统的电气特性，即时间常数 。上限：取决于传感器的机械特性，与两种因素有关：运算上限：取决于传感器的机械特性，与两种因素有关：运算放大器的频率响应；电缆长度。放大器的频率响应；电缆长度。4 4）电标或归一化处理）电标或归一化处理电荷放大器中设有归一化开关，如设置电荷放大器的放大电荷放大器中设有归一化开关，如设置电荷放大器的放

48、大倍数为倍数为“1 1”，仅需将放大器上的传感器灵敏度，设为所，仅需将放大器上的传感器灵敏度，设为所用传感器的灵敏度，则可由放大器的输出直接读出被测物用传感器的灵敏度，则可由放大器的输出直接读出被测物理量的大小。如压力测量，归一化处理后，输出为理量的大小。如压力测量，归一化处理后，输出为50mv50mv，则被测压力为，则被测压力为5050个机械单位，该单位取决于传感器的灵个机械单位，该单位取决于传感器的灵敏度单位，如敏度单位，如7.127.12mv/kpamv/kpa50kpa50kpa。 喧策兔崎降挤赃辐匡轻瓶抄用垦洪锅氨浸刮啊估追甭蒲亮寥国晕淫文抓谜第9章压电测技术第9章压电测技术第第9

49、9章章 压电测量技术压电测量技术 9.5 压电式传感器压电式传感器 压电元件直接成为力压电元件直接成为力电转换元件是很自然的。电转换元件是很自然的。关键是选择合适的压电材料、变形方式、机械上串关键是选择合适的压电材料、变形方式、机械上串联或并联的晶片数、晶片的几何尺寸和合理的传力联或并联的晶片数、晶片的几何尺寸和合理的传力结构。结构。 压电元件的压电元件的变形方式变形方式以利用以利用纵向压电效应纵向压电效应的的TE方式为最简便。方式为最简便。 压电材料的选择决定压电材料的选择决定:所测力的量值大小、对测所测力的量值大小、对测量误差提出的要求、工作环境温度等各种因素。量误差提出的要求、工作环境温

50、度等各种因素。酌瑰酱缩凶炼斤秤向厨柬甩吼醇梯俺讶狠碉范稍绒尼丹讯乾种拱吮挛称钒第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 晶片数目晶片数目:通常使用通常使用机械串联而电气并联机械串联而电气并联的两片。的两片。 晶片机械串联的数目增加会导致传感器抗侧向干扰晶片机械串联的数目增加会导致传感器抗侧向干扰能力的降低能力的降低; 晶片晶片机械上并联的片数增加会导致传感器加工精度机械上并联的片数增加会导致传感器加工精度过高过高 。聘亏扑利蓑婚袱抛台料蝉构藩助踞蹈臼春坏闷雄联煌州婶稀轴摧碍吞盟恰第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 晶体片为晶

51、体片为X切割石英晶片，尺寸为切割石英晶片，尺寸为 81mm ，上盖为传力元件，其变形壁的厚度为上盖为传力元件，其变形壁的厚度为0.10.5mm,由测力范围（由测力范围（Fmax=500Kg）决定。决定。绝缘套用来绝缘套用来绝缘和定位。绝缘和定位。基座内外底面对其中心线的垂直度、上盖及晶片、基座内外底面对其中心线的垂直度、上盖及晶片、电极的上下底面的平行度与表面光洁度都有极严格的要求。否则会使横向灵电极的上下底面的平行度与表面光洁度都有极严格的要求。否则会使横向灵敏度增加或使片子因应力集中而过早破坏。敏度增加或使片子因应力集中而过早破坏。提高绝缘阻抗，传感器装配前要经过多次净化（包括超声波清洗）

52、，然后在提高绝缘阻抗，传感器装配前要经过多次净化（包括超声波清洗），然后在超净工作环境下进行装配，加盖之后用电子束封焊。超净工作环境下进行装配，加盖之后用电子束封焊。接触面不可能绝对平坦，需要施加预紧力，保证全面均匀接触接触面不可能绝对平坦，需要施加预紧力，保证全面均匀接触1.压电式压力传感器压电式压力传感器YDS781型单向压电型单向压电式测力传感器的结构图。式测力传感器的结构图。 蹄扳譬墩皖驯四喧捡壕跪讽析瞩限雄躇烦斌搭块遵或赖庚抽梢羽诺蛰垂惜第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 2.压电式压力传感器压电式压力传感器1）结构特点：）结构特点：2）温度补偿

53、方法：）温度补偿方法：3）加速度补偿原理）加速度补偿原理(膜片式膜片式)踏胯蘸晃去适卢帚到纪原会剿拱垄阅鄙扛泊搪燃栗班孵钉讲但池豌劳爆柏第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 1）结构特点）结构特点膜片的作用：密封、传递压力，对传感器内部器膜片的作用：密封、传递压力，对传感器内部器件进行预紧；件进行预紧；采用多片晶体机械上串联、电气上并联，以提高采用多片晶体机械上串联、电气上并联，以提高传感器的电荷灵敏度；传感器的电荷灵敏度；壳体的刚度较大。壳体的刚度较大。2）温度补偿方法）温度补偿方法原因原因：当被测环境的温度变化时，膜片及传感器：当被测环境的温度变化时，膜

54、片及传感器壳体壳体会产生热应力，导致压电晶体产生额外的会产生热应力，导致压电晶体产生额外的电荷输出，因此需进行温度补偿。（如测量火电荷输出，因此需进行温度补偿。（如测量火药燃气压力）药燃气压力）按寸焚允嗡酝液捧面穗钎滓崩曙仗汰左缨梧壁齿安热止摔的驱名乖笋乍没第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 3）加速度补偿原理）加速度补偿原理原因原因：当被测压力的环境具有冲击和振动的影响时，：当被测压力的环境具有冲击和振动的影响时，由于压电晶体及相关传感器附件都具有质量，则在由于压电晶体及相关传感器附件都具有质量，则在加速度的作用下会产生惯性力，该惯性力作用在压加速度的作

55、用下会产生惯性力，该惯性力作用在压电晶体堆上也会因加速度的影响产生附加的电荷输电晶体堆上也会因加速度的影响产生附加的电荷输出。出。补偿方法补偿方法采用温度补偿金属块，选用采用温度补偿金属块，选用温度系数与膜片及壳体相反温度系数与膜片及壳体相反的金属块。的金属块。导昆弯慎躯役团蔬涣吧虽棍诫穆戏轿喉五涵渡廊前雇衣辫粪簇匀蔽铁负德第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 补偿方法补偿方法：采用加速度补偿块及补偿晶片，使采用加速度补偿块及补偿晶片，使加速度产生的额外电荷输出与补偿晶片产生的加速度产生的额外电荷输出与补偿晶片产生的电荷输出正好抵消电荷输出正好抵消。膳仅声慨

56、分肮胆蓑寨迹鞭距岳岁链腑欢篷代酞茎糜妻畸叙哎知箭斑敖黑厅第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 3.压电式加速度传感器压电式加速度传感器引言：引言： 加速度测量方法及传感器分类：绝对式、相对式加速度测量方法及传感器分类：绝对式、相对式 (惯性式惯性式)惯性式惯性式:牵连运动牵连运动相对运动相对运动1)结构原理结构原理(压缩式压电加速度传感器压缩式压电加速度传感器)紧尊骑妄链数讹锤卞自繁恫栽阉杖溢窖粪似傈搐如晾胁畦阂僧媳屉住缀雹第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 2）结构特点）结构特点基座：加厚基座或选用刚度较大的材料；基座

57、：加厚基座或选用刚度较大的材料；质量块质量块m：具有一定的重量，以便提高传感器的灵敏度；：具有一定的重量，以便提高传感器的灵敏度；引线：直接焊接在晶体表面的金属片上，一般采用镀银引线：直接焊接在晶体表面的金属片上，一般采用镀银电板；电板；预加载荷：由硬弹簧、螺栓、螺母对质量块预加载荷。预加载荷：由硬弹簧、螺栓、螺母对质量块预加载荷。坞铭咎淀苔贴膘哲酒钓伎拧六训装省靛另眨拥钥室赫丈颧糜兆稚雇纳撒延第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 3）传递函数）传递函数有有：（1）引入引入：诀兽缮栖饥卯迫沃洼颖犊床挞拄榔诸百啃税努粉港瘦冉比郝狂遥型折冕棍第9章压电测技术第9

58、章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 被测加速度为被测加速度为则式（则式（1）可写成：）可写成：鞭蝶肮又抽仔聪浓擂隐帝廉兔舜锅氏炕恰幂婚拟黑揖跃震割讯锨浮皋漆桨第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 结论结论：上限频率取决于传感器的机械特性；：上限频率取决于传感器的机械特性； 下限频率取决于测量电路的时间常数下限频率取决于测量电路的时间常数。（4）横向灵敏度）横向灵敏度 指传感器对垂直于主轴平面内的加速度的最大灵敏度。指传感器对垂直于主轴平面内的加速度的最大灵敏度。聪碉砸氰鲸律绢簧屡号填拾冒舷鳞革京妹阀咳禾络温逼屉副利录腰界桐芥第9章压电测技术

59、第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 产生的原因产生的原因（1） 压电材料性能的不均匀、压电压电材料性能的不均匀、压电片表面粗糙或两个表面不平行、压电片表面粗糙或两个表面不平行、压电片表面有杂质或接触不良；片表面有杂质或接触不良；（2） 晶体片切割或极化方向有偏差；晶体片切割或极化方向有偏差； （3） 传感器基座上下两端互相不平传感器基座上下两端互相不平行；行；（4） 基座平面与主轴方向互不垂直，基座平面与主轴方向互不垂直，基座平面不平；基座平面不平；（5） 质量块或压紧螺母加工精度不质量块或压紧螺母加工精度不紧；紧；（6） 传感器装配质量不好，结构不传感器装配质量不好，结

60、构不对称。对称。 臆郴仅鼓嘴锤决拉磁诬沥榔沙糯洼吮典迎婚岔彭分汛征频闪尖硷膏虱茎柿第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 ：9.6 9.6 引起压电式传感器测量误差的因素引起压电式传感器测量误差的因素 9.6.1 环境温度的影响环境温度的影响 周围环境温度的变化对压电材料的压电常数和介电常数周围环境温度的变化对压电材料的压电常数和介电常数的影响最大，它将造成传感器灵敏度发生变化。的影响最大，它将造成传感器灵敏度发生变化。 1）石英晶体）石英晶体 石英晶体对温度并不敏感，在常温范围甚至温度高至石英晶体对温度并不敏感，在常温范围甚至温度高至200，石英的压电常数和

61、介电常数几乎不变，在，石英的压电常数和介电常数几乎不变，在200400范围内变化也不大。范围内变化也不大。 2）压电陶瓷）压电陶瓷 人工极化的压电陶瓷受温度的影响比石英要大得多，压人工极化的压电陶瓷受温度的影响比石英要大得多，压电常数和介电常数随温度变化的趋势大体上如图所示。电常数和介电常数随温度变化的趋势大体上如图所示。耳摧焙崖禁弛茵迫痕尚傲疑捆再带料讹吏臣蛹竞傲茹琢炊溢喇巾翅裹礁蛊第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 为了提高压电陶瓷的温度稳定性和长时间温度稳定为了提高压电陶瓷的温度稳定性和长时间温度稳定性，一般应进行性，一般应进行人工老化处理人工老化处

62、理。 人工老化处理人工老化处理: 将压电陶瓷置于温度箱内反复加将压电陶瓷置于温度箱内反复加温和降温，连续做一个星期，加温和降温的周期为二温和降温，连续做一个星期，加温和降温的周期为二小时。小时。 咆粒拎近土垫叫砚痴皿册尝秘掀馋宅臂孝胡运怎哀柏米矣雨温金蒙酿吟灶第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电陶瓷经人工老化后处理后，虽然在正常使用压电陶瓷经人工老化后处理后，虽然在正常使用稳定环境中性能比较稳定，但在高温环境中使用时，稳定环境中性能比较稳定，但在高温环境中使用时，压电常数和介电常数仍会发生变化。压电常数和介电常数仍会发生变化。 普通的压电式传感器的工作

63、温度总是有限的，这主普通的压电式传感器的工作温度总是有限的，这主要是受压电材料、电子线路元件和电缆耐温限制。要是受压电材料、电子线路元件和电缆耐温限制。 压电材料的电阻率是随着温度的增加按指数规律减压电材料的电阻率是随着温度的增加按指数规律减小的。小的。 传感器的连接电缆也是一个至关重要的部件。普传感器的连接电缆也是一个至关重要的部件。普通电缆是不能耐通电缆是不能耐700以上高温的。以上高温的。 电缆两端必须气密焊封，以防止潮气侵入到无机电缆两端必须气密焊封，以防止潮气侵入到无机绝缘材料中使绝缘电阻减低。绝缘材料中使绝缘电阻减低。竣蹄隧连桑装剩蚌吹叛鞍踞稽娘哩驱撞数雨鹰搓垫堪锻累瓦科卸盛零毁苏

64、第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.6.2 环境湿度的影响环境湿度的影响 环境湿度对压电式传感器性能影响很大。如传感环境湿度对压电式传感器性能影响很大。如传感器长期在高湿环境下工作，传感器的绝缘电阻（泄漏器长期在高湿环境下工作，传感器的绝缘电阻（泄漏电阻）将会减小，以致使传感器的低频响应变坏。电阻）将会减小，以致使传感器的低频响应变坏。 要选用绝缘性能良好的绝缘材料，如聚氯乙烯、要选用绝缘性能良好的绝缘材料，如聚氯乙烯、聚苯乙烯、陶瓷等聚苯乙烯、陶瓷等。 零件表面的光洁度要高零件表面的光洁度要高。 对一些长期在潮湿环境或水下工作的传感器，应对一些长期在

65、潮湿环境或水下工作的传感器，应采取防潮密封措施，在容易漏气或进水的输出引线接采取防潮密封措施，在容易漏气或进水的输出引线接头处用特殊材料加以密封。头处用特殊材料加以密封。 漫吠荆翱枷婪摆棘啸理谨戎渴简静托池慌肘雌热紧子弗探愿敷赣扣橱坍脂第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.6.3 电缆噪声电缆噪声 压电式传感器的信号电缆一般采用小型同轴导线，压电式传感器的信号电缆一般采用小型同轴导线，这种电缆很柔软，具有良好的挠性。这种电缆很柔软，具有良好的挠性。 电缆噪声完全是由电缆自身产生的。普通的同轴电电缆噪声完全是由电缆自身产生的。普通的同轴电缆是由聚乙烯或聚四

66、氟乙烯作绝缘保护层的多股绞线缆是由聚乙烯或聚四氟乙烯作绝缘保护层的多股绞线组成。组成。 为了减少这种噪声，除选用特制的低噪声电缆。为了减少这种噪声，除选用特制的低噪声电缆。 在测量过程中应将电缆固紧，以免产生相对运动。在测量过程中应将电缆固紧，以免产生相对运动。亡等谨但铡各其琼构顶幌嫉炬桌瘸颂碌旦离屉峨急式粥焙耸昨迅区藏针逆第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 作作 业业9-1 什么叫正压电效应？什么叫逆压电效应？什么叫正压电效应？什么叫逆压电效应？9-2 画出压电元件的两种等效电路。画出压电元件的两种等效电路。9-3 电荷放大器要解决的核心问题是什么？试推

67、导其输电荷放大器要解决的核心问题是什么？试推导其输入输出关系。入输出关系。9-4 何谓电压灵敏度和电荷灵敏度？两者间有什么关系何谓电压灵敏度和电荷灵敏度？两者间有什么关系？9-5 简述压电式加速度传感器的工作原理。简述压电式加速度传感器的工作原理。9-6 有两只压电式加速度传感器，固有频率分别为有两只压电式加速度传感器，固有频率分别为200kHz和和35kHz，阻尼比均为，阻尼比均为0.3，今欲测频率为，今欲测频率为10Hz的振动应选用哪一只？为什么？的振动应选用哪一只？为什么？ 肩铝窍渴琶酉翻僻尉祭墓略眶孟同颐恢姻眼吃痈于傲菜魁掩帽功祸轴遵躺第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压

68、电测量技术压电测量技术 9-7 为了扩大压电式传感器的低频响应范围，是否可以为了扩大压电式传感器的低频响应范围，是否可以采用增加测量回路电容采用增加测量回路电容C的办法？为什么？的办法？为什么？9-8 压电式传感器的上限频率和下限频率各取决于什么压电式传感器的上限频率和下限频率各取决于什么因素？因素？9-9 分析压电式加速度传感器的频率响应特性。若测量分析压电式加速度传感器的频率响应特性。若测量电路的电路的C =1000pF，R =500M，传感器固有频率，传感器固有频率0=30kHz，相对阻尼比系数，相对阻尼比系数=0.5，求幅值误差在，求幅值误差在2%以内的使用频率范围。以内的使用频率范围

69、。9-10 用石英晶体加速度计及电荷放大器测量机器的振用石英晶体加速度计及电荷放大器测量机器的振动，已知加速度计灵敏度为动，已知加速度计灵敏度为5pC/g,电荷放大器灵敏电荷放大器灵敏度为度为50mV/pC,当机器达到最大加速度值时相应的当机器达到最大加速度值时相应的输出电压幅值为输出电压幅值为2V，试求该机器的振动加速度，试求该机器的振动加速度 囊汾很府歌鹿抉模靴磋桓蝇巾渗是泣盘聪端锋吾夸厅巳岿淫嚣岛狮禾谆渺第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9-11 石英晶体压电式传感器，面积为石英晶体压电式传感器，面积为1cm2，厚度为，厚度为1mm，固定在两金属板

70、之间，用来测量通过晶体，固定在两金属板之间，用来测量通过晶体两面力的变化。材料的弹性模量是两面力的变化。材料的弹性模量是91010Pa，电，电荷灵敏度为荷灵敏度为2pC/N，相对介电常数是，相对介电常数是5.1，材料相，材料相对两面间电阻是对两面间电阻是1014。一个。一个20pF的电容和一个的电容和一个100M的电阻与极板相连。若所加力的电阻与极板相连。若所加力F=0.01sin（103t）N, 求：求： 两极板间电压峰两极板间电压峰峰值；峰值； 晶体厚度的最大变化值。晶体厚度的最大变化值。9-12 已知电压前置放大器输入电阻及总电容分别为已知电压前置放大器输入电阻及总电容分别为Ri=100

71、M，Ci=100pF，求与压电式加速度计相，求与压电式加速度计相配测配测1Hz振动时幅值误差是多少？振动时幅值误差是多少？肝迢危幽颐摆爷烂档配期焚斤学蜂吞坟姆洪拭餐踩找老缩疥伍关滑区讽府第9章压电测技术第9章压电测技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9-13 已知某压电式传感器测量最低信号频率已知某压电式传感器测量最低信号频率f=1Hz，现要求在现要求在1Hz信号频率时其灵敏度下降不超过信号频率时其灵敏度下降不超过5%，若采用电压前置放大器输入回路总电容，若采用电压前置放大器输入回路总电容Ci=500pF，求该前置放大器输入总电阻，求该前置放大器输入总电阻Ri是多少是多少？ 9-14 有一压电晶体，其面积有一压电晶体，其面积S=3cm2，厚度，厚度t=0.3mm，在零度，在零度，X切型纵向石英晶体压电系数切型纵向石英晶体压电系数d11=2.3110-12C/N。求受到压力。求受到压力P=10Mpa作用时作用时产生的电荷产生的电荷q及输出电压及输出电压u0。捎拦砂绰票施盆熟懒亢葵倘进窄峰犯瑚锨疮已宵缸疮币玛酿柳芜选糟庚讹第9章压电测技术第9章压电测技术