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1、会计学1TouchPanel双面双面SiO镀膜介绍镀膜介绍(jisho)第一页，共18页。2Touch Panel Touch Panel 产品产品产品产品(chnpn)(chnpn)介绍介绍介绍介绍背景：Touch Panel 产品是2007年伟光公司(n s)开发的新产品，主要用于高端电子产品显示屏，目前已经进入批量生产阶段。构造：Touch Panel 产品为双面Pattern结构，膜面和空气面均有图案。 F面SiO2F面ITO层玻璃(b l)R面ITOR面金属层R面ITO层第1页/共17页第二页，共18页。3双面SiO2镀膜前准备(zhnbi)双面SiO2镀膜是Touch Panel产
2、品制程中最重要的工序，与常规的镀膜工艺相比具有其一定的特殊(tsh)性，需要用到两种特殊(tsh)用品。镀膜特殊(tsh)用品介绍：金属Mask及铜磁背板。 第2页/共17页第三页，共18页。4双面SiO2镀膜前准备(zhnbi)金属(jnsh)Mask 金属(jnsh)MASK分两种，F面金属(jnsh)MASK间隔条为凹状，R面金属(jnsh)MASK间隔条为凹状第3页/共17页第四页，共18页。5双面SiO2镀膜前准备(zhnbi)金属(jnsh)Mask R面金属(jnsh)MASKF面金属MASK第4页/共17页第五页，共18页。6双面SiO2镀膜前准备(zhnbi)铜磁背板 铜磁背
3、板没有(mi yu)镙孔面与玻璃基板接触第5页/共17页第六页，共18页。7双面SiO2镀膜作业(zuy)将金属MASK置于对位台上，固定后打开真空吸附开关，将其吸附（注意(zh y)F/R面MASK不要用错）第6页/共17页第七页，共18页。8双面SiO2镀膜作业(zuy)将基板置于金属MASK上，必须避免基板在金属MASK上的滑动(hudng)（注意基板待镀面朝下，大角与金属MASK错开）第7页/共17页第八页，共18页。9双面SiO2镀膜作业(zuy)基板对位标金属(jnsh)MASK对位框OKNG手动对位(du wi)第8页/共17页第九页，共18页。10双面SiO2镀膜作业(zuy)
4、在监视器上确认(qurn)基板与金属MASK对位是否在规格内（基板上有四个“田”字型对位标，与金属MASK上对位方框对位）第9页/共17页第十页，共18页。11双面SiO2镀膜作业(zuy)将铜磁背板置于基板置于基板上，必须避免基板在金属(jnsh)MASK上的滑动第10页/共17页第十一页，共18页。12双面SiO2镀膜作业(zuy)将组合(zh)好的待镀品置于待镀品区域第11页/共17页第十二页，共18页。13双面SiO2镀膜作业(zuy)将待镀品挂上框架（注意金属(jnsh)MASK不能有翘曲）第12页/共17页第十三页，共18页。14双面SiO2镀膜品质(pnzh)缺陷主要品质(pnz
5、h)缺陷电子击伤金属层划伤SiO2掉膜 SiO2打弧粉尘、污染第13页/共17页第十四页，共18页。15双面SiO2镀膜品质(pnzh)缺陷电子击伤：ITO层在镀膜时被击伤，外观检查(jinch)时呈一条黑线第14页/共17页第十五页，共18页。16双面SiO2镀膜品质(pnzh)缺陷金属层划伤：在镀膜时三明治结构出现错位(cu wi)，造成金属层的划伤第15页/共17页第十六页，共18页。17第16页/共17页第十七页，共18页。内容(nirng)总结会计学。Touch Panel 产品介绍。背景：Touch Panel 产品是2007年伟光公司开发的新产品，主要用于高端电子产品显示屏，目前已经进入批量生产阶段。构造(guzo)：Touch Panel 产品为双面Pattern结构，膜面和空气面均有图案。双面SiO2镀膜是Touch Panel产品制程中最重要的工序，与常规的镀膜工艺相比具有其一定的特殊性，需要用到两种特殊用品。将组合好的待镀品置于待镀品区域第十八页，共18页。
