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1、PCW系统简介系统简介 PCW SYSTEM PCW SYSTEMPCW系统作用系统作用 因机台在制造生产过程中会产生大量热，如不及时把热因机台在制造生产过程中会产生大量热，如不及时把热量除去，会造成机台不能精确动作或误动作，严重时会量除去，会造成机台不能精确动作或误动作，严重时会当机，严重影响制程良率。当机，严重影响制程良率。PCW系统概要系统概要 设备冷却水由制程机房设备冷却水由制程机房PCW PUMP送水管送出经过滤送水管送出经过滤器、热交换器到器、热交换器到AB栋各楼层，经由各设备需栋各楼层，经由各设备需求点后由回水管至求点后由回水管至-栋的栋的TANK,再回到再回到PCW PUMP往
2、复循环。往复循环。PCW系统流程图系统流程图 PCW SYSTEM PCW SYSTEMHEAT EXCHANGERVFD PUMPFILTER冰水冰水回回冰水冰水进进FAB : B1F自来水自来水进水进水14OC16OC8OCTANKF2B栋栋RO水水进水进水 PCW SYSTEM PCW SYSTEMDetailDetail20OC一次侧水温： 一次侧水温：处理量：1,312.5LPM /1,750LPMBack PCW PUMP FILTER HEX PCW PUMP FILTER HEX一级过滤等级 m二级过滤等级 m处理量LPMPUMP ,M,KWPCW TANK作用：1.建立及保持
3、系统的最小静压 2.预防因温度的变化，产生水 体积的变化进而对系统压力 产生过大的变化.状态说明 1.Lo Lo: 自来水,RO水同时补水并报警 2.Lo:RO水开始补水 3.Hi:RO水补水关闭 4.Hi Hi: 发出警报示意图PCW系统的水处理原因:虽然PCW系统内采用RO水,但不可片面地认为使用RO水就无需化学处理,PCW系统仍然存在腐蚀,沉积,微生物问题。A 腐蚀问题 由于PCW系统大部分为半封闭系统，对外界空气没有完全隔离，因此空气可自由进入系统，空气中含有CO2和O2,会造成水质变酸性及金属氧化，从而使系统产生腐蚀，最终有可能引起系统管路破损。B 沉积问题 与腐蚀问题相关，因为保持水为纯水，没有硬度沉积之困扰，但腐蚀仍将发生：氧化铁、氧化铜、氧化铝等金属腐蚀物就会在管路中沉积，经过一段时间的运行，将堵塞细微管路，影响机台运行，严重时会造成机台当机。C 微生物问题 因PCW系统回水温度非常适合微生物的生长，其半封闭系统可提供足够的氧气和养分供细菌生长需求，长时间繁殖生长形成细菌族群，造成系统问题。部分细菌会以金属材料作为养分，新陈代谢产物为酸液，腐蚀管路。处理方法1.预处理方案： 在洗管时，用预处理药剂清楚管路内的锈、油渍、碎屑等 2.日常处理方案： 防腐蚀剂+杀菌剂 3.加药设备 由隔膜计量泵、药桶、控制盒组成，将药剂每周一 次定量地加入PCW系统中敬请指导敬请指导!
