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1、 电感式传感器的基本原理是利用磁路磁阻变化，引起传感器线圈的自感和线圈间的互感的变化来实现非电量电测的一种装置。利用这种转换原理可以测量位移、振动、压力、应变、流量、相对密度等参数。 电感式传感器根据转换原理，可以分为自感式和互感式两类。按照结构形式，自感式传感器又可分为变气隙式，变截面式和螺管式等形式，互感式传感器也有变气隙式和螺管式等结构。电感式传感器优、缺点电感式传感器优、缺点结构简单，可靠，测量力小,当衔铁重力为 时，电磁吸力为 ；分辨率高，最小刻度值可达 ；零点稳定，漂移最小可达 ；测量精度高，输出线性可达 ；输出功率较大，即使不用放大器，一般也有 的输出值。电感式传感器的缺点主要是
2、：传感器本身频率响应较低，所以它不能用于快速动态信号的测量，而且传感器的分辨率与测量范围有关，测量范围愈大，分辨率愈低 5.1.1工作原理工作原理线圈的电感值可按下式计算： 对于变气隙式电感传感器，因为空气隙厚度较小，且不考虑磁路的铁损，则总磁阻为：因此因此的特性曲线为一条直线。图5-2 电感式传感器的特性曲线5.1.2输入输入输出特性输出特性.变气隙型自感式传感器 单一式变气隙型自感式传感器 图5-3 单一式变气隙型自感传感器 差动式变气隙型自感式传感器图5-4 差动式变气隙型自感式传感器2.变面积式型自感传感器变面积式型自感传感器单一式变面积式型自感传感器图5-5 单一式变面积型自感传感器
3、差动式变面积型自感传感器图5-6 差动式变面积型自感传感器3.螺管型自感传感器单一式螺管型自感传感器图5-7 单一式螺管型自感传感器差动式螺管型自感传感器图5-8 差动式螺管型自感传感器 5.1.3等效电路分析等效电路分析图5-9 等效电路5.1.4测量电路测量电路n电感式传感器将位移等非电量转换为电感的变化，为了将电感的变化转换为电压、电流或频率，还须选择适当的接口电路。选择的基本原则时尽可能使输出电压、电流或频率与被测非电量成线性关系。变压器电桥变压器电桥图5-10 变压器电桥带相敏整流的交流电桥带相敏整流的交流电桥图5-11 带相敏整流的交流电桥5.2.1工作原理与结构工作原理与结构 差
4、动变压器其工作原理基于变压器的原理。差动变压器主要由一个线框和一个铁心组成。在线框上绕有一组一次线圈作为输入线圈，一次线圈（初级线圈）上加交变的激励电压，在同一框架上另绕两组二次线圈作为输出线圈，二次线圈（次级线圈）即产生电动势，在负载上输出相应的电压。在线框中央圆柱孔中放入铁心，如下图5-12a所示。图5-12 差动变压器图 5-13 差动变压器的结构图5-14 差动变压器的等效电路 由图5-14可见，当二次侧开路时，一次线圈的交流电流复数值为 （5-21） 式中，为励磁电压的角频率； 为励磁电压的复数值。 由于 的存在，在铁心和线圈中产生磁通 和 ，在二次线圈中感应出电动势和，其值分别为：
5、 （5-22）式中， 。 和 分别为通过一次和两个二次线圈的磁阻。因此得到空载输出电压 为： （5-23） 其有效值为： （5-24） 只与 、 有关。 等效电路等效电路输出阻抗为：或写成：这样差动变压器又可等效为电压，输出阻抗的电动势源。 灵敏度灵敏度n差动变压器的灵敏度是指差动变压器在单位电压励磁下，铁心移动一单位距离时的输出电压，以vmmv表示。一般差动变压器的灵敏度大于50mvmmv。可采用下列方法提高差动变压器的灵敏度可采用下列方法提高差动变压器的灵敏度1)提高线圈的品质因数Q值，为此需增大差动变压器的尺寸，一般长度为直径的1.22.0倍较恰当。(2)选择较高的励磁频率。(3)增大铁
6、心直径，使其接近于线圈框架内径，铁心采用磁导率高、铁损小、涡流损失小的材料。(4)减少涡流损耗，为此线圈框架采用非导电的且膨胀系数小的材料。(5)在不使一次线圈过热的情况下，尽量提高励磁电压。频率特性频率特性 差动变压器的励磁频率一般从1050kHz为适当。频率太低时差动变压器的灵敏度显著降低。温度误差和频率误差增加，要进行高精度和高灵敏度的测量比较困难。频率太高铁损和耦合电容等的影响增加，具体应用时频率可在5400kHz的范围内。 励磁频率与输出电压有很大关系，频率增加引起与二次绕组相联系的磁通量变化率增加，它将使差动变压器的输出电压增加。另外，增加频率使一次线圈的电抗增加，这使输出电压又有
7、减小的趋势。因此只有在某频率下才能达到最大输出，在此频率附近由励磁频率的变化而引起灵敏度的变化为最小。线性范围线性范围n理想的差动变压器二次侧输出电压应与铁心位移成线性关系，还希望二次侧的相角为一定值，这一点比较难满足。考虑到这种因素，线性范围约为全长的110左右。采用相敏整流电路对输出电压进行处理，可以改善差动变压器的线性 激励源波动和温度的影响激励源波动和温度的影响n差动变压器由于机械结构的膨胀、收缩、测量电路的温度特性等的影响，会造成测量精度下降。由于机械部分热胀冷缩，影响测量精度达到 左右，如果要把机械部分的温度影响限制在 的范围内，则需把差动变压器在使用环境中放置 后方可进行测量。在
8、造成温度误差的各项中，影响最大的为一次线圈的电阻温度系数，在温度变化时引起一次电流发生增减，造成二次测量电压随温度而变化。对于一次线圈Q值高的差动变压器，由于温度变化使二次线圈的电阻变化引起的的 变化程度较小，可忽略不计。铁心的磁特性、磁导率、铁损、涡流损耗等也随温度变化而变化，但数值较小，亦可略去不计。零点残余电压及其消除方法零点残余电压及其消除方法n差动变压器的两组二次线圈由于反向串联，因此当铁心处在中央位置时，输出信号电压应为零的理想特性。但是，在实际情况中我们研究零点附近的特性，可发现在所谓“零点”时，输出信号电压并不是零，而有一个很小的电压值这个电压值一般称为“零点残余电压”。零点残
9、余电压产生的原因零点残余电压产生的原因由于两个二次线圈结构上的不对称，引起两个二次电压的幅值平衡点与相位平衡点两者不重合。由铁心材料B一H曲线的弯曲部分导致输出电压中含高次谐波。励磁电压波形中有高次谐波。消除零点残余电方法消除零点残余电方法 从设计和工艺上尽量保证线路和磁路对称、结构上采用磁路可调形式；选用高 、低 、低 的导磁材料，使用经过热处理的导磁体，以消除残余应力，提高磁性能的均匀性和稳定性；磁路工作点应在线性区。 采用相敏检波电路，相敏检波电路不仅可以鉴别衔铁移动方向，亦可消除零残电压中的高次谐波成分。 选用补偿线路，消除零点残余电压可以采用各种形式如图5-15。归纳起来，加串联电阻消除基波同相成分；并联电容，改变相移，消除高次谐波分量；加并联电阻消除基波中正交成分；加反馈绕组和反馈电容补偿基波及高次谐波分量。图 5-15 差动变压器零点残余电压补偿线路5.2.3测量电路测量电路图5-16 差动整流电路 差动变压器有以下特点：差动变压器有以下特点：结构简单，工作可靠，寿命长；稳定性，重复性和线性度都比较好；测量范围宽；灵敏度高；分辨力高；存在零位输出电压（即零点残余电压），给测量造成误差；对激励电源的频率和幅值稳定性要求较高；不宜用于高频动态测量。5.2.4电感式压力传感器电感式压力传感器图5-17 电感式压力传感器
