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原子原子层层沉沉积积：一种多相催化：一种多相催化剂剂“自下而上自下而上”气相制气相制备备新策略新策略王恒王恒伟伟,路路军军岭岭 1 中国科学技术大学化学物理系，合肥微尺度物质科学国家研究中心，能源材料化学协同创新中心，合肥 230026 2 中国科学技术大学，中国科学院能量转换重点实验室，合肥 230026 In situ QCM measurements of ALD metal on metal and oxide surface 79 . (a) Pd ALD on Pt, Ru, Al 2 O 3 , TiO 2 and ZrO 2 using Pd(hfac) 2 and H 2 at 150 . (b) Pt ALD on Pd, Ru, Al 2 O 3 , TiO 2 and ZrO 2 using MeCpPtMe 3 and O 2 at 150 . (c) ABC-type Ru ALD on Pd and Pt at 150 and 200 , and on Al 2 O 3 , TiO 2 and ZrO 2 at 200 using Ru(EtCp) 2 , O 2 and H 2 . 物理化学学报,2018,34(12),1334-1357.DOI:10.3866/PKU.WHXB201804201
