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1、LCD前制程簡介前制程簡介 STN -LCD是從是從20世紀世紀80年代初開始發展，至令已有年代初開始發展，至令已有20年的歷年的歷史。史。 STN -LCD從制程上來分從制程上來分為LCP制程與制程與LCM制程。制程。 LCP制程又制程又可分可分為前制程與後制程。前制程與後制程。 LCP前制程是整個前制程是整個LCD制程中最重要的制程，制程中最重要的制程，它直接掌控直接掌控LCD良率良率的高低。的高低。 LCP前制程主要可分以下幾個部分：前制程主要可分以下幾個部分： a.圖案制作：在圖案制作：在ITO玻璃上，通過光阻塗布、曝光、顯影、蝕刻玻璃上，通過光阻塗布、曝光、顯影、蝕刻 及及 剝膜制程
2、，得到生剝膜制程，得到生產所需的所需的ITO圖案圖案.其制作過程類似於照像。其制作過程類似於照像。 b.定向處理：在定向處理：在ITO圖案上塗上一層高分子聚合物（圖案上塗上一層高分子聚合物（PI），固），固烤後後用高速轉動的毛輪在聚合表面摩擦，得到深淺不一有規則的溝槽。用高速轉動的毛輪在聚合表面摩擦，得到深淺不一有規則的溝槽。 C.基板組合：在一片玻璃基板上絲印框膠，另一片玻璃上撒布基板組合：在一片玻璃基板上絲印框膠，另一片玻璃上撒布SPACER（銀點）。再通過翻轉，按照組合標記，經熱壓固（銀點）。再通過翻轉，按照組合標記，經熱壓固烤成盒成盒（CELL）。）。1顯影顯影RUBBING后后清洗洗
3、 印框印框SPACER撒撒布布固固烤 基板組合基板組合印銀點印銀點投片投片清洗洗涂光阻涂光阻烘烘烤曝光曝光顯影顯影烘烘烤蝕刻蝕刻圖案檢圖案檢查去膜去膜涂布前涂布前清洗洗 PI涂布涂布預烘預烘固固烤RUBBING無機材涂無機材涂布布UV照射照射面板前制程制程面板前制程制程 圖案制作圖案制作定向處理定向處理基板組合基板組合鐳射修補射修補2LCD前制程各站作業示意圖前制程各站作業示意圖圖案制作圖案制作光阻圖案光阻圖案ITO基板基板清洗洗塗布塗布光阻光阻固固烤有機有機溶劑溶劑爆光爆光UV光光顯影顯影光阻光阻圖案圖案蝕刻蝕刻剝膜剝膜ITO圖案圖案ITO圖案圖案圖案檢圖案檢查3定向處理定向處理T/C塗布前
4、塗布前清洗洗無機材塗布無機材塗布無機材固無機材固烤UV光光PI塗布塗布PI膜膜有機有機溶劑溶劑固固烤UV照射照射RUBBING毛輪毛輪4基板組合基板組合摩擦後摩擦後清洗洗框框膠膠基板組合基板組合印框膠印框膠印銀點印銀點銀點銀點固固烤SPACER撒布撒布5站站組組原原物物料料/設設備備制制程程管管控控點點1.投片投片ITO玻璃玻璃四點探針四點探針1.ITO玻璃尺寸玻璃尺寸2.ITO玻璃阻玻璃阻值2.清洗洗清洗劑洗劑/KOH清洗烘干機洗烘干機1.清洗濃度、溫度洗濃度、溫度2.毛刷下壓力毛刷下壓力3.超音波頻率、功率超音波頻率、功率4.烘十溫度烘十溫度5.烘烘烤時間時間(傳送速度傳送速度)3.涂布光
5、阻涂布光阻光阻光阻光阻涂布機光阻涂布機1.膠膠輥下壓距下壓距2.膠膠輥轉速轉速3.光阻滴加速度光阻滴加速度4.光阻的粘度光阻的粘度4.烘烘烤烘干機烘干機1.烘十溫度烘十溫度2.烘烘烤時間時間(傳送速度傳送速度)5.曝光曝光曝光機曝光機光光罩1.曝光光量曝光光量2.光光罩與與ITO玻璃之間距玻璃之間距3.UV光之平行度光之平行度4.光光罩之質量之質量6.顯影顯影顯影機顯影機顯影劑顯影劑/KOH1.顯影液濃度、溫度顯影液濃度、溫度2.顯影時間顯影時間7.烘烘烤烘干機烘干機1.烘烘烤溫度溫度2.烘烘烤時間時間(傳送速度傳送速度)8.蝕刻蝕刻蝕刻去膜機蝕刻去膜機脫膜劑脫膜劑1.蝕刻液濃度蝕刻液濃度2.
6、蝕刻液溫度蝕刻液溫度3.蝕刻時間蝕刻時間(傳送速度傳送速度)4.毛刷下壓力毛刷下壓力9.圖案檢圖案檢查10.鐳射修補射修補鐳射修補機射修補機11.涂布前涂布前清洗洗清洗機洗機清洗劑洗劑1.清洗劑溫度洗劑溫度2.清洗劑濃度洗劑濃度3.清洗時間洗時間(傳送速度傳送速度)12.無機材涂布無機材涂布PI涂布機涂布機 APR板板 無機材料無機材料(SIO2)1.下壓距下壓距 2.印刷速度（平台）印刷速度（平台） 3.無機材料滴加速度無機材料滴加速度 4.無機材料粘度無機材料粘度13.PI涂布涂布PI涂布機涂布機APR板板PI1.下壓距下壓距2.印刷速度（平台）印刷速度（平台）3.PI滴加速度滴加速度4.
7、PI粘度粘度14.預烘預烘烘干機烘干機1.預烘溫度預烘溫度2.預烘時間預烘時間15.固固烤固固烤機機1.固固烤溫度溫度2.固固烤時間時間16.UV照射照射UV燈燈1.UV燈能量燈能量17.RUBBING摩擦機摩擦機絨布絨布1.下壓距下壓距2.摩擦速度（平台）摩擦速度（平台）3.毛輪轉速毛輪轉速4.摩擦角度摩擦角度18.RUBBING后后清洗洗清洗機洗機19.印框印框(導通點導通點)絲印機絲印機框膠框膠(金球金球/鎳球球)1.下壓距下壓距2.下壓力下壓力3.膠刮運行速度膠刮運行速度4.框膠粘度框膠粘度20.印銀點印銀點絲印機絲印機 銀點料銀點料 1.下壓距下壓距 2.下壓力下壓力 3.膠刮運行速度膠刮運行速度 4.銀點料粘度銀點料粘度21.SPACER撒布撒布噴粉機噴粉機SPACER1.噴頭的形狀噴頭的形狀2.壓力壓力22.基板組合基板組合對位組合機對位組合機23.固固烤固固烤機機1.固固烤時間時間2.固固烤壓力壓力3.固固烤溫度溫度LCD前制程各段制程明細前制程各段制程明細 6
