蚀刻线岗位操作指引规范

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1、XXXXXXXXXXXX 电子科技电子科技文件编号：版本 A：版次：生效日期：制 定日 期审 核日 期批 准日 期文件更改履历表修订版次更改性质、内容、摘要修订页次修订日期文件会签：拟案单位于 内“”以示回签部门总经理管理者代表设备部市场部管理部工程部财务部制造部采购部品保部物控部研发部此文件为江西华浩源电子科技之机密文件，未经许可，不得复印。发行管制章XXXXXXXXXXXX 电子科技电子科技蚀刻线岗位操作标准文件编号：版本号：制作单位：生效日期：总页数：第 1 页 共 6 页1.0 目的：标准职工操作,提高职工的操作技能。2.0 适用范围：本规程只适用本公司蚀刻工序的D.E.S 线。3.1

2、 显影段： 撕聚酯膜入板显影 1#/2#高压水洗 1#2#3#4#市水洗 1#冷风干热风干收板自检3.2 蚀刻段：入板蚀刻 1#2#3#高压水洗 5#6#7#市水洗 2#检查3.3 去膜段：入板去膜 1#2#高压水洗 8#9#10#市水洗 3#钝化 1#2#3#高压水洗 11#12#市水洗 4#冷风干热风干出板曝光能量与显影参数对照表曝光能量与显影参数对照表类别线路曝光能量5 级显影温度2830322830322830322830322830322830322830322830323032显影速度线路6 级线路7 级油墨7 级油墨8 级油墨9 级油墨10 级油墨11 级油墨12 级*m/min

3、*m/min*m/min*m/min药水浓度PH 值 10.4-112-CO3 8-15g/L2-CO3 8-15g/L2-CO3 8-15g/LCO3 8-15g/LCO3 8-15g/LCO3 8-15g/LCO3 8-15g/LCO3 8-15g/L2-CO3 8-15g/L2-2-2-2-2-备注不准生产只限于 BGA 产品只限于 BGA 产品只限于 BGA 产品不准生产只限于 BGA 产品不准生产不准生产带阻焊桥的产品制作单位：蚀刻线岗位操作标准生效日期：文件编号：版本号：总页数：第 2 页 共 6 页缸名项目碳酸钾PH 值上压力下压力温 度控制范围8-15 g/l最正确值10 g/

4、l配槽量8kg每班或PH更换标准分析频率显 影800L速 度压力水洗热风吹干压 力温 度铜离子盐 酸上压力0.8-1.6 kg/cm21.2 kg/cm21.0-1.8 kg/cm21.5 kg/cm228-3230干膜 ： 1. 2 - 1 .8 m / m i n感光线路油墨： 0. 6- 1 .2 m / m i n阻焊油墨： 0 .6 - 1 .2m / m i n1HZ 等于 0 . 036米每分钟此公 式只限 于显影速度调试0.8-1.2 kg/cm21.0kg/cm250-7065120-150 g/L130 g/L1.5-2.5 N2.0 N1.2-2.0 kg/cm21.4-

5、2.0 kg/cm249-541.9-2.5 m/min1.1-1.4 m/min1.0-1.3 m/min0.6-0.9 m/min1.6 kg/cm21.8 kg/cm2522. 2 m/min1.3 m/min1.3 m/min1.2 m/min0. 3 m / m i n0.8 m/min2 次/班此参数仅供参考， 具体的参数由首件来确定，超出此范围的为异常现象，必须得到工程师确实认方可生产。1 次/班频率显示1 次/班1 次/班1 次/班蚀刻1200L下压力温 度单面板：0.5 OZ单面板：1.0 OZ双面板：0.5 OZ1.0OZ已加厚10-20um0.5OZ已加厚注：此参数只供做

6、首板参考,每批生产板必须先做首板,待首板 OK 后,再批量生产，批量生产时必须有专人检验板。注：速度计算公式：1hz 等于 0.036 米每分钟此工式只限于蚀刻 脱蚀 刻1200L10-20um0.9-1.2 m/min1.0 m/min膜计算方法0.9-1.2 m/min0.4-0.7 m/min1.0 m/min0.5 m/min1.0 kg/cm24%1.1 kg/cm21.3 kg/cm20.1%551.6 m/min1.2 kg/cm22%1.2 kg/cm21.2 kg/cm28520” /10um注：此参数只供做首板参考,每批生产板必须先做首板,待首板 OK 后,再批量生产，量产

7、时，每 30pnl 测试 1 次。1 次/班25kg1 次 /4天压力水洗压 力氢氧化钠上压力0.8-1.2 kg/cm23-5%0.8-1.4 kg/cm21.0-1.6 kg/cm20.05-0.2%50-601.0-2.2 m/min1.0-1.4 kg/cm21-3%1.0-1.4 kg/cm21.0-1.4 kg/cm275-10020/5-10um1 次/班去 膜600+600L下压力消泡剂温 度速 度1 次/班压力水洗钝化压力水洗热风干压 力H2SO4压 力压 力温度棉 芯1 次/班60L1 次 /3天1 次/班1 次/周制作单位：蚀刻线岗位操作标准生效日期：总页数：第 3 页

8、共 6 页5.1.1 检查药水槽，水洗槽液位是否正常，并使之正常。5.1.2 检查各盖板是否盖好，没盖好必须盖好。5.1.3 检查各输送轮是否清洁，不清洁必须清洗干净。5.1.4 检查烘干段加热系统是否正常，不正常使之修复。保养中,如在维修保养中必需挂上标识牌,待维修 OK 后再开机。5.1.6 检查连接部位是否需加润滑油。5.1.7 检查急停开关是否复位。5.2.1 开启主电源,机器电源。5.2.2 轻触触摸屏,进入机器运行操作系统。文件编号：版本号：5.2.3 查看各段的温度是否正常，不正常的使之正常(各段的温度都由工程师设定好,严禁随意更改,假设要更改,必须由工艺部专职工程师更改)。5.

9、2.4 开喷淋前领班或储干检查输送轮、 轴转动是否正常， 如有跳动或不转等异常应做好记号，并通知设备组维修，待维修完毕后才能开机。5.2.5 显影开机： 依次打开显影 1#2#、摆动 1#2#、水洗 1#2#3#4#、冷风 1#、热风 1#。5.2.6 蚀刻开机：轻触“下一页”按扭依次打开蚀刻1#2#3#、摆动1#2#3#、水洗5#6#7#。5.2.7 脱膜开机： 依次打开脱膜 1#2#、滚筒 1#2#、吹膜 1#2#、水洗 8#9#10#、钝化 1#2#3#、水洗 11/12、冷风 2、热风 2、冷却风扇。5.2.8 三段喷淋开起后检查喷淋摇摆、喷淋喷嘴，无异常后再开传动。“传动速度”按扭，

10、进入速度设定界面，轻触设定栏，输入所需的速度值，轻触“确定”按扭，确认速度。“控制”按扭，进入界面，轻触传动 1#2#3#。5.2.11 手动打开显影、 蚀刻、 脱膜、 钝化后面的市水洗 1#2#3#4#， 并调至适当的流量 400L/h 。5.2.12 打开控制柜的总电源开关。 里面所有的设定参数，除了本工序的工程师外，其他人不准作任何修改设定 。5.3.1 将已曝光好的板撕掉聚酯膜后按操作示意图片平稳地放在转轮上，板与板之间的间隔为10cm 以上，放板宽度不得超过 530mm5.3.2 如果铜厚 0.5OZ 以下的单面板必须带回形框或载板过机。5.3.3 每放完一批板后面要放上一张绿板或引

11、导板作标记。5.3.4 显影后产品必须有专人自检，自检合格后方可放入蚀刻机。5.3.5 蚀刻后必须抽检，控制欠蚀刻的板进入脱膜段。5.3.6 显影、蚀刻、首件前，必须先核对首件上的产品型号、版本号与流转单上的是否一致，梳对无误后再进行生产。开始生产批量前，必须先核对产品型号、版本号与流转单是否一致，领代班或负责人每 1 小时抽查一次产品型号、版本号与流转单是否一致。制作单位：蚀刻线岗位操作标准生效日期：总页数：第 4 页 共 6 页文件编号：版本号：5.4.1 戴棉手套或指套双手对角拿板,将板平整的放绿板上，注意拿板位置尽量拿板边缘。5.4.2 将生产板与绿胶片摆放整齐。5.4.3 连续生产时

12、，一旦发现出板不连续必须立即查看蚀刻机是否在卡板。如果出现卡板，立即按下红色的急停按扭， 由领班或储干轻轻取出所卡之板， 如取出所卡之板需拿出输送轮、轴时，要由领班或储干拿出，并做好记号，按原位装回，不得调乱位置。5.5 关机5.5.1 将各水洗槽的进水阀门关闭，最后关闭总水阀。5.5.2 按开机相反顺序关机。6.1 添加物料时必须戴胶手套及防护眼罩、防酸围裙和水鞋(如图 1)。6.2 机器卡板时必须立即按下红色的急停按扭使机器停下后再开盖取板(如在药水缸处卡必须戴好防护用具再开盖取板，取出后即刻将板清洗干净)。6.3 入料时应尽量使板位于机器中间位置,以保证受喷洒位置最好。6.4 入料时板与

13、板间距应在 10cm 以上, 宽度应在 530mm 以内， 防止出现卡板 特别是单面板 。6.5 铜厚 0.5OZ 以下的单面板必须带回形框或载板过机。烘烤 12min,然后再蚀刻。6.7 接板人员必须戴绵手套或指套作业,并将板放整齐。6.8 每批板批量生产前必须先做首板,首板张数等于菲林数(曝光、显影、 蚀刻时每批每次只蚀刻2PNL)，待首板 OK 后，再量产。6.9 在每班生产前必须通知化验室分析药水及测量各药水缸温度。6.10 蚀刻线生产时显影必须自检，蚀刻后必须抽检。6.11 生产线药水添加时必须有领代班、主管或工程师在场确认，防止意外事件发生。6.12 如发生药水泄漏、火灾等异常时,

14、请按紧急应变措施方法(QCW091)处理。6.13 显影换缸时，先加水到液位再加碳酸钾，保养时先加水开启循环后再加氢氧化钠并手动搅拌，以免氢氧化钠结成块。7.1.1 每班对机身及机台清洁一次。7.1.2 每 2 小时检查各压力,温度液及喷嘴是否正常,并使之正常。7.1.3 每 2 小时检查显影,去膜段消泡是正常，每次补加消泡剂 300ml 稀释成 1000ml 后加入。7.1.4 每 2 小时用清水DI 水清洗吸水棉辘一次。7.1.5 每班检查传送链条及输送轮转动,仪表是否正常,是否需加润滑油。7.1.6 每班清洁蚀刻药水箱过滤袋一次。7.1.7 每班清洁去膜的干膜渣一次。7.1.8 每三天更

15、换显影段的水洗缸一次，换水时用碎布擦洗缸壁。7.1.9 每三天对蚀刻、去膜、钝化的水缸更换水洗一次。7.1.10 每三天对全线的棉芯及水泵过滤网清洁一次。7.1.11 每周全线的棉过滤芯更换一次。7.1.12 每周烘干段风机空气滤棉反吹清洁一次(需设备组配合,如太脏需更换制作单位：蚀刻线岗位操作标准生效日期：总页数：第 5 页 共 6 页文件编号：版本号：7.2.1 显影段保养半个月一次7.2.1.1 排掉缸内的药水和水。7.2.1.2 用清水清洗缸壁，必须清除污物、沉淀及结晶体，清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理。7.2.1.3 加水至液位，加 1 桶25kg氢氧化钠NaOH ，喷淋循

16、环 1-2 小时后排掉。7.2.1.4 加清水，开启喷淋 30 分钟后排掉。7.2.1.5 加水至液位，加 2 桶硫酸，喷淋循环 1-2 小时后排掉。7.2.1.6 加水喷淋 30min 排掉，拆下喷嘴清洗，安装保证喷嘴成“一”型调整摆架所有废液和清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理7.2.1.8 加水至液位，加 8kgK2CO3，循环升温。7.2.1.6 流程保养，但是氢氧化钠及硫酸都是用 5%，具体添加量由各缸的体积来决定，而无喷嘴段的滚轮要用高压水枪冲洗。7.2.1.10 风干段的滚轮要取出清洗 需设备组协助， 取出时做好顺序标记， 按原位装回 。风刀用压缩空气进行清洁。7.2.1.

17、11 保养好后，要检查各滚轮运行是否正常，确保无误后方可进行生产。显影缸体上的油墨残渣，在用碱进行循环前先用洗网水擦干净 。7.2.2 蚀刻段保养每 2 个月一次7.2.2.1 将蚀刻液用桶装起来。7.2.2.2 用水清洗缸体内的杂质及沉淀后排掉， 清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理。7.2.2.3 用 5%的氢氧化钠NaOH循环1-2 小时后排掉，再加清水循环15 分钟后排掉，氢氧化钠清洗液和清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理。7.2.2.4 用 5%的盐酸循环 30 分钟后排掉，再加清水循环 15 分钟后排掉，盐酸清洗液和清洗废水排入废水站综合废水池净化排放处理。7.2.2.5

18、 拆下喷嘴清洗疏通，安装喷嘴调整为“一”字型。7.2.2.6 将药水抽回缸里循环升温。7.2.2.7 对于水洗缸排掉原水后按 7.2.2.2-7.2.2.5 进行保养，而喷洒不到的滚轮要用高压水枪冲洗干净。7.2.2.8 保养好后，要检查各滚轮运行是否正常，确保无误后方可进行生产。7.2.3 去膜段保养1 个月一次7.2.3.1 排掉原液，加清水循环 20 分钟排掉， 。7.2.3.2 去膜缸及其水洗缸：用 5%的硫酸循环 1-2 小时后排掉，再加清水循环半小时后排掉。7.2.3.3 钝化缸及其水洗缸：用 5%的氢氧化钠NaOH循环 1-2 小时后排掉，再用 5%的硫酸循环半小时后排掉。7.2

19、.3.5 风干段的滚轮要取出清洗需设备组协助，取出时做好顺序标记，按原位装回7.2.3.6 保养好后，要检查各传送轮运行是否正常，有无不转或跳动，确保无误后方可进行生产。制作单位：工艺部蚀刻线岗位操作标准生效日期：总页数：第 6 页 共 6 页1.温度过低。2.速度过快。3.喷嘴堵塞。4.预烘时间过长。显影不净5.药液浓度过低。 6.曝光能量过高。7.压力过低。8.油墨过厚。9.菲林擦花或粘有油墨。1.温度过高。2.速度太慢。显影过度3.药水浓度偏高。4.压力过大。5. 预烘时间短。 6.曝光能量低。7.油墨太薄。3. 药液浓度过低。4. 喷嘴堵塞。欠蚀刻5. 压力过低。6.板面有铜粒/胶。7

20、.显影不净。8.铜后度不均。1. 温度过高。2.蚀刻速度过慢。3.药水浓度偏高。4.压力过大。1. 温度过低。2.去膜速度过快。3.药水浓度过低。文件编号：版本号：1.检查加热管是否正常，提高温度。2.调慢速度。3.清洗喷嘴。4.减少预烘时间 。 5. 分析调整或换缸。6.降低曝光能量。 7.调整压力。8.减慢显影速度。 9.检查菲林。1.调整温度。2.调快速度。3.加水调整浓度。4.减小压力。5.加长预烘时间。6.增加曝光能量。7.加快显影速度。3.按药水最正确值添加。4.清洗疏通喷嘴。5. 调整压力。6.贴膜前处理铜面。7.调整显影参数。8.镀铜控制其厚度。1.调整温度。2. 调快速度。3.控制药水的浓度。4.减小压力。1. 调整温度。2. 调快速度。3.分析，补加氢氧化钠。1. 温度过低。2. 蚀刻速度过快。1. 调整温度。2. 调慢速度。过蚀刻去膜不干净9.1 每班将机身用抹布擦干净。9.2 将所有物料及引导板/引导板按相应标识处摆放整齐。9.3 地面要经常打扫，保证无积水。9.4 每班下班前把垃圾分类处理。10.1 蚀刻线生产及加药记录表。10.2 蚀刻线自检表。10.3 设备日常维护保养记录。