直流辉光等离子体特性诊断

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1、p 直流辉光等离子体特性诊断直流辉光等离子体特性诊断了解直流辉光放电中各区域的特性了解直流辉光放电中各区域的特性分析静电探针的工作原理分析静电探针的工作原理总结探针测量等离子体参数的相关理论总结探针测量等离子体参数的相关理论探讨静电探针获得等离子体伏安曲线的技术探讨静电探针获得等离子体伏安曲线的技术测量正电柱区的等离子体参数测量正电柱区的等离子体参数分析了引入误差的机理分析了引入误差的机理p1.1等离子体的产生（辉光放电）等离子体的产生（辉光放电）p1.2等离子体的基本特征等离子体的基本特征等离子体温度等离子体温度等离子体密度等离子体密度等离子体振荡等离子体振荡德拜屏蔽，鞘层德拜屏蔽，鞘层p1

2、.3等离子体参数的诊断等离子体参数的诊断基于等离子体的电磁效应的静电探针和磁探针诊断基于等离子体的电磁效应的静电探针和磁探针诊断方法。方法。基于电磁波在等离子体中传播特性的微光探针、激基于电磁波在等离子体中传播特性的微光探针、激光探针等。光探针等。光谱分析方法等光谱分析方法等p1.4静电探针法静电探针法静电探针测量原理图静电探针测量原理图p典型的伏安特性曲线典型的伏安特性曲线双探针I-V曲线单探针I-V曲线p1.5双探针理论双探针理论以电子伏为单位时电子的温度：以电子伏为单位时电子的温度：离子密度：离子密度： 探针电流探针电流:p2.1双探针曲线分析双探针曲线分析测量电流不饱和测量电流不饱和

3、测量曲线不对称测量曲线不对称 放电条件为：气压放电条件为：气压60Pa,电压电压600V，辉光电流辉光电流12.6mA时测得直流空气等时测得直流空气等离子体伏安特性曲线离子体伏安特性曲线 -1V 1V之之间间伏安特性曲伏安特性曲线线 p2.2理想曲线拟合理想曲线拟合 理想双探针伏安特性曲线拟合理想双探针伏安特性曲线拟合 p2.3等离子体参数计算等离子体参数计算图伏安特性曲线可以得到图伏安特性曲线可以得到 , 探针参数为：直径探针参数为：直径 ，长度，长度 探针面积探针面积 电子温度电子温度 等离子体离子密度等离子体离子密度 p4 误差的引入误差的引入气压气压 探针的大小和形状探针的大小和形状 探针的电子发射探针的电子发射 探针的氧化探针的氧化