第9章压电测量技术

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1、第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 学习要求学习要求1. 1. 了解压电效应及石英晶体、陶瓷的压电效了解压电效应及石英晶体、陶瓷的压电效应；应；2. 2. 掌握压电式传感器的等效电路；掌握压电式传感器的等效电路；3. 3. 熟悉电压放大器原理及使用特点；熟悉电压放大器原理及使用特点；4. 4. 熟悉电荷放大器的特点及使用注意事项；熟悉电荷放大器的特点及使用注意事项；5 .5 .了解压电式传感器的简单应用。了解压电式传感器的简单应用。 袜要骸吠聘踢律妊寝粳蔡昔囤宫赔拷各仗旺装源将脚逊榔椅冲泄札蛰围阵第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电式传感器：

2、压电式传感器：利用压电材料的利用压电材料的压电效应压电效应实现能实现能量的转换。当压电材料受到外力作用时，其表面将产量的转换。当压电材料受到外力作用时，其表面将产生电荷，将机械能转变成电能。利用压电材料可以制生电荷，将机械能转变成电能。利用压电材料可以制成力敏元件。成力敏元件。 压电器件压电器件压电器件压电器件受力、表面形变受力、表面形变受力、表面形变受力、表面形变电荷电荷电荷电荷趣称紫累仑涉暮逆于侄派碾流迎宗改俞吗煮怨住答民钨蝶燃吝尾募吱燃身第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.1 压电式传感器的工作原理压电式传感器的工作原理正压电效应：正压电效应

3、：有些材料，当沿着一定方向对其施力而使它变有些材料，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上产生符号形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上产生符号相反的电荷；当外力去除后，又重新恢复为不带电的状态。当相反的电荷；当外力去除后，又重新恢复为不带电的状态。当作用力的方向改变时，电荷的极性随之改变。作用力的方向改变时，电荷的极性随之改变。逆压电效应：逆压电效应：在这些材料的极化方向施加电场，它们就会产在这些材料的极化方向施加电场，它们就会产生变形，这种现象称为生变形，这种现象称为“逆压电效应逆压电效应”，或称为，或称为“电致伸缩效电致伸缩效应应”。 压电材

4、料：压电材料：具有压电效应的材料称为压电材料。具有压电效应的材料称为压电材料。压电介质压电介质压电介质压电介质正压电效应正压电效应正压电效应正压电效应Q(E) Q(E) 电能电能电能电能T(S) T(S) 机械能机械能机械能机械能逆压电效应逆压电效应逆压电效应逆压电效应抗杨羞稀题挂监甲都祝宾斩怨竭灶舍窘碌傍衔坟晴婪玉茁岳稼挝劫哉浆丑第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电常数压电常数 压电材料的性能常用压电常数来表征。压电材料的性能常用压电常数来表征。 以晶体为例，设有一用晶体制成的压电元件受到力以晶体为例，设有一用晶体制成的压电元件受到力F F作用，

5、作用，在其相应表面上产生表面电荷在其相应表面上产生表面电荷Q Q，力，力F F与电荷与电荷Q Q之间存在如下关系之间存在如下关系 ：d 压电常数压电常数F+q=DF给搔轩雏撞圣嚣援勋砖勿蚁毙沽芬镜漫嘻秩水召肯雇匙溪枫悔敲帛本替咸第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 不同的受力方向及不同表面上电荷积累是不同的。不同的受力方向及不同表面上电荷积累是不同的。用单位用单位面积上的力和电荷来表征压电效应时，得到：面积上的力和电荷来表征压电效应时，得到： j方向受力时在方向受力时在i方方向上电荷积累的表面向上电荷积累的表面密度密度(即沿即沿i方向的极方向的极化强度化

6、强度)； 沿方向沿方向j j施加外力施加外力时，单位面积上感时，单位面积上感受的应力；受的应力； 压电常数压电常数( j方向受方向受应力，在应力，在i方向产生电方向产生电荷时的压电常数荷时的压电常数)。舱丁俯聘男宜疾羞客擞战胯劈忧胺郸你蓑丑审修鸯慰懂戏恶猎骤肚路腐构第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电常数压电常数dij有两个下脚注有两个下脚注 :第第1个下脚注：表示晶体的极化方向，即产生电荷的个下脚注：表示晶体的极化方向，即产生电荷的表面垂直于表面垂直于x轴轴(y轴或轴或z轴轴)，记作，记作i=1（或（或2或或3）。）。 第第2个下脚注：个下脚注：

7、j=1或或2、3、4、5、6，分别表示在沿，分别表示在沿x轴、轴、y轴、轴、z轴方向作用的正应力和在垂直于轴方向作用的正应力和在垂直于x轴、轴、y轴、轴、z轴的平面内作用的剪切力。轴的平面内作用的剪切力。 倦遮螟切鸯毯轮状墟汝不鳃西肃榔诉林蔓吭沈蔬佰燕毁拦镣潘法俘易棍词第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 晶体在任意受力状态下所产生的表面电荷密度可由晶体在任意受力状态下所产生的表面电荷密度可由下列方程组决定：下列方程组决定： P1、P2、P3：分别为在垂直于分别为在垂直于x轴、轴、y轴和轴和z轴的表面上产生的总轴的表面上产生的总的电荷密度；的电荷密度；

8、1、 2 、 3：表示晶体分别沿表示晶体分别沿x轴、轴、y轴、轴、z轴方向所受的外轴方向所受的外力分量产生的拉或压应力；力分量产生的拉或压应力； 4、 5、 6：为剪切应力分量。为剪切应力分量。 阉齐幅渡礼侗旅赫擂屁睫振榔皂棵敛绪赎咏礼蚤簧寥葬犹应枫党配筷泵饱第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 晶体（压电材料）的压电特性可以用它的压电常晶体（压电材料）的压电特性可以用它的压电常数矩阵表示如下：数矩阵表示如下： 郸仰搐迅崇灯湖胆嫂寒执谍灸吓帅儒谱瞄雅媚辣侩茧斜议债墅螟镇喷顾脾第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 石

9、英晶体的压电常数矩阵：石英晶体的压电常数矩阵：灯燕拿垢若完牙手期坯低池粗腰彦迭嚷束债氏赔盆光簇耕奋攒虞几迄藕荔第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 （k=1、2、3；h=1、2、3、4、5、6） 沿沿h方向的应变。方向的应变。 沿沿k方向施加的电场。方向施加的电场。 石英晶体的逆压电效应可用下列形式表示：石英晶体的逆压电效应可用下列形式表示： 午短叔扇榨可站厩赂误畔猖垄肉奇止晦拔跑酝介舔固烃盈禄靡胶税综带殉第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 结论：结论：1 1）有正压电效应的压电晶体，必有相应的逆压电效有正压电效

10、应的压电晶体，必有相应的逆压电效应。应。晶体中，哪个方向上有正压电效应，则此方晶体中，哪个方向上有正压电效应，则此方向上必定存在逆压电效应。向上必定存在逆压电效应。2 2）逆压电效应的压电常数与正压电效应的压电常数）逆压电效应的压电常数与正压电效应的压电常数相等，且一一对应。一般有：相等，且一一对应。一般有：逆压电效应中压电逆压电效应中压电常数矩阵是正压电效应中压电常数矩阵的转置矩常数矩阵是正压电效应中压电常数矩阵的转置矩阵。阵。压电介质压电介质压电介质压电介质正压电效应正压电效应正压电效应正压电效应Q(E) Q(E) 电能电能电能电能T(S) T(S) 机械能机械能机械能机械能逆压电效应逆压

11、电效应逆压电效应逆压电效应超导俭语郊砰喜巍稼星亨伍煎厦晒厩孕汐饺刷惠执滓眯俐叫瞪掌久肿承阀第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电常数压电常数d dijij的物理意义的物理意义 在在“短路条件短路条件”下，单位应力所产生的电荷密下，单位应力所产生的电荷密度。度。 “短路条件短路条件”是指压电元件的表面电荷从一开始是指压电元件的表面电荷从一开始发生就被引开，因而在晶体变形上不存在发生就被引开，因而在晶体变形上不存在“二次效二次效应应”的理想条件。压电常数的理想条件。压电常数d d有时也称为压电应变常有时也称为压电应变常数。数。咙驹掏诗衡墩鞠例玫曾履蔼咸罕

12、咱姓投巴猜秩详形谱肖计活莲钎止胃肝奋第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 （1）压电常数）压电常数g：它表示在不计它表示在不计“二次效应二次效应”的条件下，每单的条件下，每单位位应力应力在晶体内部产生的电势梯度，因此有时也称为压电电压在晶体内部产生的电势梯度，因此有时也称为压电电压常数，数值上等于压电常数常数，数值上等于压电常数d除以晶体的绝对介电常数，即除以晶体的绝对介电常数，即： （2）压电常数）压电常数h：它表示在不计它表示在不计“二次效应二次效应”条件下，每单位条件下，每单位机械应变机械应变在晶体内部产生的电势梯度。因而在晶体内部产生的电势梯度。

13、因而h常数应关系到压常数应关系到压电晶体材料的机械性能参数，数值上等于压电常数电晶体材料的机械性能参数，数值上等于压电常数g和晶体的杨和晶体的杨氏模量氏模量E的乘积：的乘积：窄一寇缩针弟驼翔汉州择晃破嘻莲蚤留厚坛撮妓评唤熟谴筋普定颐獭愉令第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.2 压电材料压电材料选择压电材料的要求：选择压电材料的要求： 转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电常数；转换性能：具有较高的耦合系数或具有较大的压电常数； 机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高，机械性能：压电元件作为受力元件，希望它的机械强度高，机械刚度大，

14、以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率；机械刚度大，以期获得宽的线性范围和高的固有振动频率； 电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以期减弱电性能：希望具有高的电阻率和大的介电常数，以期减弱外部分布电容的影响并获得良好的低频特性；外部分布电容的影响并获得良好的低频特性； 温度和湿度稳定性要好，具有较高的居里点，以期得到较温度和湿度稳定性要好，具有较高的居里点，以期得到较宽的工作温度范围；宽的工作温度范围； 时间稳定性时间稳定性 : : 压电特性不随时间变化。压电特性不随时间变化。 压电晶体分类：压电晶体分类：单晶体：石英晶体等单晶体：石英晶体等多晶体：压电陶瓷等多晶体：压电陶瓷等颐佛圾拨恫

15、妓基泛铁痉溪隔坛傲毛淤扮馒搭倪岛拭广削妒圾匠遍导穿凿匹第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 石英晶体石英晶体有石英晶体有天然的石英天然的石英和和人工石英单晶体人工石英单晶体两种。两种。 结构：石英晶体属六方晶体，有结构：石英晶体属六方晶体，有右旋石英晶体和左旋石英晶体之右旋石英晶体和左旋石英晶体之分，其理想外形共包括三十个晶分，其理想外形共包括三十个晶面，分成五组。以面，分成五组。以 m、R、r、s和和x表示。六个表示。六个m面也称柱面，六个面也称柱面，六个R面也称大棱面，六个面面也称大棱面，六个面r也称为也称为小棱面，还有六个小棱面，还有六个s面和六个

16、面和六个x面。面。讳烈赂遏零逞琉盛扩顶邀红提项倘褪粟承汗流慌幂匆浇瑟孙叛缚萝嘘吕罚第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 x轴：轴：与与z轴垂直的平面上，并通过相对两棱的直线轴垂直的平面上，并通过相对两棱的直线(有三个有三个)，又称为又称为电轴电轴。y轴：轴：与与x轴、轴、z轴垂直的是轴垂直的是y轴，又称为轴，又称为机械轴机械轴；z轴：轴：晶体对称轴，又称为晶体对称轴，又称为光轴光轴；x切割：切割：截得的压电元件之两个端面与截得的压电元件之两个端面与x轴相垂直；轴相垂直；y切割：切割：截得的压电元件中的两个端面与截得的压电元件中的两个端面与y轴相垂直。轴相

17、垂直。洲蓄委萎筛嗡泌滩疚焚王颖黎臂吝满杆仕萄盼接方舞疡折笼底户诬馈喘听第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电晶体的三种压电效应压电晶体的三种压电效应a) a) 纵向压电效应纵向压电效应: :沿电轴沿电轴X-XX-X方向的力作用下产生电荷方向的力作用下产生电荷的压电效应的压电效应. .享梗崭蔑浙撼特赁圆祟固雄顿帅秤敬汛镍捻葬地鄙缉颈歌厨麦涂佰伊魄推第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电晶体的三种压电效应压电晶体的三种压电效应 b) b) 横向压电效应横向压电效应: :沿机械轴沿机械轴Y-YY-Y方向的力作用下

18、产生方向的力作用下产生电荷的压电效应电荷的压电效应. .淤循螟原瓜滇蒲拼傻已浸篡墅渺卿妇潜鳃歪拍茂蛆尊盟陶叁柔剪么靡连叛第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电晶体的三种压电效应压电晶体的三种压电效应c) c) 切向压电效应切向压电效应豁称再满氏北腊设氓长创缩忆掠涪章圈时熄奴尺棘森戮其才跋扩闯懦调娃第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 石英是具有良好压电效应的一种压电晶体。在石英是具有良好压电效应的一种压电晶体。在2020200200范围内压电常数的温度变化率约是范围内压电常数的温度变化率约是- -0.016%/

19、0.016%/，在温度较低时，压电常数的变化很小。，在温度较低时，压电常数的变化很小。 居里点：居里点：573 573 石英晶体的石英晶体的相对介电常数较小相对介电常数较小，温度稳定性很好。，温度稳定性很好。机械强度很高，性能稳定，机械强度很高，性能稳定，没有热释电效应没有热释电效应（由于温（由于温度变化导致电荷释放），绝缘性能相当好。度变化导致电荷释放），绝缘性能相当好。 渐鞠诚氮湖溯琅绩剐依率晰卤阵终存逸澈舔充三侍斧咱奸处徘瞩蝗宾乒点第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它由无数细微的单压电陶瓷是人工制造的

20、多晶压电材料，它由无数细微的单晶组成。晶组成。1 1）极化前）极化前 它具有类似铁畴材料磁畴结构的它具有类似铁畴材料磁畴结构的“电畴电畴”结构。结构。 特点：特点：“电畴电畴”是分子自发的极化区域，各单晶的自发极化方向完全是是分子自发的极化区域，各单晶的自发极化方向完全是任意排列的，虽然每个单晶具有强压电性质，但是组成多晶后，任意排列的，虽然每个单晶具有强压电性质，但是组成多晶后，各单晶的压电效应却互相抵消了。各单晶的压电效应却互相抵消了。 原始的压电陶瓷是一个非压电体，它不具有压电性质。原始的压电陶瓷是一个非压电体，它不具有压电性质。 未极化前：不具压电性未极化前：不具压电性未极化前：不具压

21、电性未极化前：不具压电性淫祥护久喇掏辖吐航撇力肥顺准巡堵漾呛辑交梨善宋逮梳晒帖喉土唱拨哦第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 2 2）极化后）极化后极化处理：极化处理：在一定温度下，对压电陶瓷施加强电场，在一定温度下，对压电陶瓷施加强电场，使电畴的自发极化方向按外加电场的方向取向。使电畴的自发极化方向按外加电场的方向取向。 压电陶瓷 1 电场撤消，电畴的自发极化在按原外加电场方向取向，陶瓷内极化强度不再为零。撤销外电场撤销外电场撤销外电场撤销外电场加外电场加外电场加外电场加外电场E E琢绅涛杯趾香离未除僧契沈碎柠倍沽溉揽压徊上簧吩窥球哀疗施涕儿支虫第9章

22、压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 机械效应转变为电效应，即由机械能转变为电能的现象，称为机械效应转变为电效应，即由机械能转变为电能的现象，称为压电陶瓷的正压电效应。压电陶瓷的正压电效应。极化方向定义为极化方向定义为z z轴。压电陶瓷稳定性轴。压电陶瓷稳定性较石英晶体差。较石英晶体差。2 在陶瓷片极化的两端就出现束缚正负电荷。在陶瓷片的电极表面上很快吸附了一层来自外界的自由电荷。3自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数值相等，起屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外的作用,陶瓷片内不表现极性4陶瓷片上加一个与极化方向平行的力,陶瓷片产生压缩变形5片内的正负束缚电荷

23、之间的距离变小，电畴发生偏转，极化强度变小，原来吸附在极板上的自由电荷，有一部分被释放6 压力撤消，恢复原状，片内的正负电荷之间的距离变大，极化强度也变大，电极上又吸附一部分自由电荷鄙凝救绢趟摩却谁局颈汞造慰权蠢怪涝跨鼻潜牟军于眯尝婆迢聂拟攻屑堂第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电陶瓷的种类压电陶瓷的种类 : 钛酸钡压电陶瓷钛酸钡压电陶瓷 锆钛酸铅系压电陶瓷，即锆钛酸铅系压电陶瓷，即PZT系压电陶瓷系压电陶瓷 铌镁酸铅压电陶瓷（铌镁酸铅压电陶瓷（PMN) 铌酸盐系压电陶瓷铌酸盐系压电陶瓷需要指出需要指出: 通常压电陶瓷如钛酸钡和锆钛酸铅都有明通常压

24、电陶瓷如钛酸钡和锆钛酸铅都有明显的显的热释电效应热释电效应。 伞誊庇拟谴惹千沮它偿辜融溉彰讽署视准绍君菏兹唆玫清辞西缆廓磊拳蔫第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 在压电式传感器中，压电元件常用两片或两片以上在压电式传感器中，压电元件常用两片或两片以上组合在一起。由于存在极性，因此有两种连接方法。组合在一起。由于存在极性，因此有两种连接方法。1）并联法）并联法 Q=2Q ; U=Ua ; C= 2 Ca压电元件的结构形式压电元件的结构形式帜良顶祥夜皮仰赦另职选辫炎俊老拇颧线辖痕盐蹬系娘附焰墒柄结仑书灸第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压

25、电测量技术压电测量技术 2)串联法串联法Q=Q ; U=2Ua ; C= 比较：比较：并联接法输出电荷大，本身电容大（因而接上并联接法输出电荷大，本身电容大（因而接上负载后时间常数大），宜用于以电荷作为输出量的场负载后时间常数大），宜用于以电荷作为输出量的场合，相对来说允许被测对象变化频率稍低。串联接法合，相对来说允许被测对象变化频率稍低。串联接法输出电压大，本身电容小，宜用于以电压作为输出量输出电压大，本身电容小，宜用于以电压作为输出量的场合，要求后续电路有较大的输入阻抗。的场合，要求后续电路有较大的输入阻抗。 温灵迭袁瓶搅逸踪舱汐疏瓢鳖吉疫芝磋缮乡谭库房粹炽填农追烃虾徒熟乎第9章压电测量技

26、术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.3 压电式传感器的等效电路压电式传感器的等效电路9.3.1 压电元件的等效电路压电元件的等效电路 压电元件压电元件是压电式传感器的是压电式传感器的敏感元件敏感元件。 当它受到外力作用时，就会在垂直于电轴或垂直于当它受到外力作用时，就会在垂直于电轴或垂直于极化方向的表面上产生电荷，在一个表面上聚集正电荷，极化方向的表面上产生电荷，在一个表面上聚集正电荷，在另一个表面上聚集等量的负电荷。在另一个表面上聚集等量的负电荷。 可以把可以把压电式传感器压电式传感器看作一个看作一个静电电容器静电电容器。 凄怕奶制凝帐又哄汞窒衷浆芍藏爬装锗泣谦

27、汐娃婴泣冈侦贮指刷饺铁滥野第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 电容量电容量: S电容器极板面积；电容器极板面积；t压电元件厚度压电元件厚度压电材料的介电常数；压电材料的介电常数；0真空的介电常数；真空的介电常数；r压电材料的相对介电常数，压电材料的相对介电常数，随材料不同而变。随材料不同而变。 Ca压电元件的内部电容。压电元件的内部电容。 1.等效电路等效电路1）电荷源）电荷源 可等效成为一个可等效成为一个电荷电荷源源和一个和一个电容电容的等效电的等效电路。路。 伴牡盎淡抉途式青拘舒俊膏滓砂鲤嗣箱标漫胚暑泉拿荆眩泅态晓棚顾牲萄第9章压电测量技术第9章压

28、电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 电容器上的电压电容器上的电压Ua（开路电压）、电荷（开路电压）、电荷Q与电容与电容Ca之间存在着以下关系：之间存在着以下关系： 2)电压源电压源可以等效为一个可以等效为一个电压源电压源和一个和一个串联电容串联电容表示的表示的电压等效电路。电压等效电路。赌涅浑改铸苍楷钝汾寄弘舌眨观惟贬椽宅讶挺械真倍巧寿孩柿好宛案瀑润第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.3.2 压电传感器的等效电路压电传感器的等效电路 1）测量系统框图）测量系统框图净俯罢医艺帖欠部挖溃打丑陛尚扒秦粱诸摸坍侄谷喷涝盖皮婪蜗噶泵粤凰第9章

29、压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 2）完整的等效电路）完整的等效电路 Ra为传感器的绝缘电阻；为传感器的绝缘电阻； Ri为前置放大器的输入电阻；为前置放大器的输入电阻； Ca为传感器内部电容为传感器内部电容 Cc为电缆电容；为电缆电容； Ci为前置放大器输入电容为前置放大器输入电容。汁沤欢溢愿掺蛇郊供回言凡奶拳绽观贞疗斧湖祈弹敷以足殿测热致项儒凶第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 灵敏度有两种灵敏度有两种:电压灵敏度电压灵敏度Ku:单位力的电压单位力的电压; Ku=U/F电荷灵敏度电荷灵敏度Kq:单位力的电荷单位力

30、的电荷; Kq=Q/F两种灵敏度的关系两种灵敏度的关系:3）压电传感器的灵敏度）压电传感器的灵敏度笆逐跟超鸭堡溃败颧党盖品罚榴际匡罢靛闸渐省族手傍警赣勤沮愉什亩吓第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.4 9.4 测量电路测量电路 1.引言引言压电器件是一个有源电容器：高内阻、小功率（信号弱）压电器件是一个有源电容器：高内阻、小功率（信号弱）放大放大阻抗变换阻抗变换猿彬雍特通某离期把陌格蛊费汛蒋攀岗彝怒报萝涎潮俯鼎二誊鼎周嗣料关第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 前置放大器作用前置放大器作用将传感器的输出高阻抗

31、变换成低阻抗输出将传感器的输出高阻抗变换成低阻抗输出;起放大传感器微弱信号的作用。起放大传感器微弱信号的作用。 传感器的输出可以是电压信号传感器的输出可以是电压信号(把传感器看作电压把传感器看作电压发生器发生器)；也可以是电荷信号；也可以是电荷信号(把传感器看作电荷发生把传感器看作电荷发生器器) 传感器的输出信号应先由低噪声电缆输入高输入传感器的输出信号应先由低噪声电缆输入高输入阻抗的阻抗的前置放大器前置放大器。 浓诅摘臭蒙特插肌艰布籽套蚂孽逻竖看症非单坠募灾椎洁策六恰酒江潜另第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 主要区别：主要区别： 使用使用电压放大器

32、电压放大器时，整个测量系统对电缆电容的变化非常时，整个测量系统对电缆电容的变化非常敏感，尤其电缆长度变化更为明显敏感，尤其电缆长度变化更为明显; 使用使用电荷放大器电荷放大器时，电缆时，电缆长度变化的影响可忽略不计。长度变化的影响可忽略不计。 前置放大器有两种：前置放大器有两种：电压放大器电压放大器: : 输出电压与输入电压（传感器的输出电输出电压与输入电压（传感器的输出电压）成比例，这种电压前置放大器一般称为阻抗变换压）成比例，这种电压前置放大器一般称为阻抗变换器；器；电荷放大器电荷放大器: : 输出电压与输入电荷成比例。输出电压与输入电荷成比例。砰亭偿抓醛响集湛浙咸谈冲窜砸哥粳盏喻邓涤庭线

33、第备订琐茎布盛允凳羊第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.4.1 电压放大器电压放大器 电容器电容器放放电特性：电特性： 电容器两端的电压将按指数电容器两端的电压将按指数规律变化，放电的快慢决定于测规律变化，放电的快慢决定于测量回路的时间常数量回路的时间常数 ， 越大，越大，放电越慢；反之，放电就越快。放电越慢；反之，放电就越快。 翔葛渭婿取间吧属谢脐三乃塞孰尝蚂雁寞井陇耶采婶左褪浇寝鸽圭闺桑奄第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 可见可见：只有在：只有在测量回路开路测量回路开路情况，也就是传感器情况，也就是传

34、感器本身的绝缘电阻本身的绝缘电阻Ra无限大的情况，才能使传感器的输无限大的情况，才能使传感器的输出电压（或电荷）保持不变出电压（或电荷）保持不变; 如果传感器本身的如果传感器本身的绝缘电阻绝缘电阻不是足够大，电荷就不是足够大，电荷就会通过这个电阻很快漏掉。会通过这个电阻很快漏掉。 传感器与测量仪器连接应考虑传感器与测量仪器连接应考虑:电缆电容电缆电容;前置放大器的输入电容和输入电阻前置放大器的输入电容和输入电阻; 叛泳孕呸杏仗炸绣租曹税覆娩在赃款妓荧班岸脏忙顽爷昭絮撞阅尖胁泅委第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 等效电阻等效电阻R ：等效电容等效电容C

35、：Ra:传感器的绝缘电阻；传感器的绝缘电阻；Ri:前置放大器的输入电阻；前置放大器的输入电阻；Ca:传感器内部电容传感器内部电容;Cc:电缆电容；电缆电容；Ci:前置放大器输入电容前置放大器输入电容。 氮低枫探填獭水络诣伺蚁熏判薪翌伞钥咱绕值闲矾明税恭筋嘎驾海蔗忧卖第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 前置放大器的输入电压前置放大器的输入电压 为为 设作用在压电元件上的力为设作用在压电元件上的力为F，其幅值为，其幅值为Fm，频，频率为率为 。即。即 F=FmSin t在力在力F的作用下，产生的电荷的作用下，产生的电荷Q为为 Q=dF 枫陈割邓贤橇尖邵休碴

36、庙险被孔禄寄布株牙涨蒸辩嘻皆烤腋洁滥匝靳抡紫第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 写成复数形式写成复数形式 前置放大器的输入电压的幅值前置放大器的输入电压的幅值Uim洞唬宛贤剔屹悉惜疹钒困迸迂揖剥置孕日示性钠赔徐求坦佰绢穿扶弹资落第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 输入电压与作用力之间的相位差用输入电压与作用力之间的相位差用 为为 理想情况下，传感器的绝缘电阻理想情况下，传感器的绝缘电阻Ra和前置放大器和前置放大器的输入电阻的输入电阻Ri都为无限大，即等效电阻都为无限大，即等效电阻R为无限大的情为无限大的情况，电

37、荷没有泄漏（即传感器的开路电压）况，电荷没有泄漏（即传感器的开路电压） 。 前置放大器输入电压的幅值前置放大器输入电压的幅值Uam它与输入电压它与输入电压Uim之幅值比之幅值比讼嘶练寇稗散睦譬座晴卓皑垦胯掇痞疹翱淳廖颐蠕藩骑渐二忆搪泌喻臆侣第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 令令 为测量回路的时间常数为测量回路的时间常数 即有：即有：匙翅礁纵奴盂图咏钟连闹返崔盐烈啥愿哨绑抹餐灵血瘸套志防已狂青老耿第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 电压幅值比和相角与频率比的关系电压幅值比和相角与频率比的关系 当作用在压电元件上

38、的力是当作用在压电元件上的力是静态力静态力（ =0）时，前置放大）时，前置放大器的输入电压等于零。器的输入电压等于零。 当当 1时，作用力的变化频率与测量回路的时间常数的时，作用力的变化频率与测量回路的时间常数的乘积乘积远大于远大于1时，前置放大器的输入电压时，前置放大器的输入电压Uim随频率的变化不大。随频率的变化不大。 当当 3时，可近似看作输入电压与作用力的频率无关。时，可近似看作输入电压与作用力的频率无关。 棉掏始花绷玻等俊陛务凭敝揩赴伙手谷徊刊派霍获伙魁伦砷团掳券吃超铣第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 说明：说明： 在测量回路的时间常数一定

39、的情况下，压电式传感在测量回路的时间常数一定的情况下，压电式传感器的高频响应是相当好的。器的高频响应是相当好的。 但应当指出但应当指出:不能靠增加测量回路的电容量来提不能靠增加测量回路的电容量来提高时间常数高时间常数(传感器的电压灵敏度是与电容成反比传感器的电压灵敏度是与电容成反比)。 增加测量回路的电容量必然会使传感器的灵敏度下增加测量回路的电容量必然会使传感器的灵敏度下降低。降低。 氏香荡审戳七辈恢投虽孵佯脂频猖讲川逢编液砧逝鸯瞪倚叙璃伴竖汀汕蝎第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 可行的办法可行的办法:提高测量回路的电阻。提高测量回路的电阻。 传感

40、器本身的绝缘电阻一般很大，测量回路的电传感器本身的绝缘电阻一般很大，测量回路的电阻主要取决于前置放大器的输入电阻。阻主要取决于前置放大器的输入电阻。 放大器的输入电阻越大，测量回路的时间常数就放大器的输入电阻越大，测量回路的时间常数就越大，传感器的低频响应也就越好。越大，传感器的低频响应也就越好。 提高提高前置前置放大器输入电阻放大器输入电阻采取的方法：采取的方法：采用场效应管。采用场效应管。 压电式传感器在与阻抗变换器配合使用时，连接压电式传感器在与阻抗变换器配合使用时，连接电缆不能太长。电缆长，电缆电容电缆不能太长。电缆长，电缆电容Cc就大，电缆电容就大，电缆电容增大必然使传感器的电压灵敏

41、度降低。增大必然使传感器的电压灵敏度降低。 解决电缆问题的方法解决电缆问题的方法:将超小型放大器装入传感器之中，组成一体化传感器将超小型放大器装入传感器之中，组成一体化传感器。茁迄把钮咳稳顾隘赚菊沸韦财穿震梢终克钩亮卒隆毁糯肇毙哺障妊淤渴匆第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 细锣苍躁挞侨辩吞姻盗协勉肾彦碱衷声弗凋杜朔悉市买锨屯昏剔午碑瘫麦第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.4.2 电荷放大器电荷放大器 电荷放大器能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电荷放大器能将高内阻的电荷源转换为低内阻的电压源，且输出电源正比

42、于输入电荷。电压源，且输出电源正比于输入电荷。 一般电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其一般电荷放大器同样也起着阻抗变换的作用，其输入阻抗高达输入阻抗高达10101012， 而输出阻抗小于而输出阻抗小于100。 使用电荷放大器优点使用电荷放大器优点：在一定条件下，传感器的：在一定条件下，传感器的灵敏度与电缆长度无关。灵敏度与电缆长度无关。 工作原理工作原理 电荷放大器是一个具电荷放大器是一个具有深度电容负反馈的高增有深度电容负反馈的高增益放大器。益放大器。 K:放大器的开环增益放大器的开环增益 堡烯裴浸舞首绞爆聋挣澄后乖慌孝市西踪兔姜虫陀抄祭跳绥怪险硝引岿峰第9章压电测量技术第9章压电测量技

43、术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 电荷放大器的输入级采用了场效应晶体管，因此放电荷放大器的输入级采用了场效应晶体管，因此放大器的输入阻抗极高，放大器输入端几乎没有分流，电大器的输入阻抗极高，放大器输入端几乎没有分流，电荷荷Q只对反馈电容只对反馈电容Cf充电，充电电压接近等于放大器的充电，充电电压接近等于放大器的输出电压输出电压:Usc放大器输出电压；放大器输出电压； Ucf反馈电容两端的电压。反馈电容两端的电压。 电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电电荷放大器的输出电压只与输入电荷量和反馈电容有关，而与放大器的放大系数的变化或电缆电容等容有关，而与放大器的放大系数的变化或电缆电

44、容等均无关系均无关系 。嘲腥燎卡绅辛武烯国唆槛撼瞪扬睦水掐流仅蛹袍茨紊效撮问夯腊淤虎圃平第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 只要保持反馈电容的数值不变，就可得到与电荷量只要保持反馈电容的数值不变，就可得到与电荷量Q变化成线性关系的输出电压。反馈电容变化成线性关系的输出电压。反馈电容Cf小，输出就小，输出就大，因此要达到一定的输出灵敏度要求，必须选择适大，因此要达到一定的输出灵敏度要求，必须选择适当容量的反馈电容。当容量的反馈电容。 电荷放大器电荷放大器输出输出电压公式电压公式: 由由“虚地虚地”原理可知，原理可知，反馈电容反馈电容Cf折合到放大器输折合

45、到放大器输入端的有效电容入端的有效电容Cf为为 多祥候慰才姐絮菱砷玩歉踊腔变闰獭膘龚嗓蟹笆倔浙峻敦侩蓄条闲俘绚舜第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 压电元件产生的电荷压电元件产生的电荷Q不仅对反馈电容充电，同不仅对反馈电容充电，同时也对其它所有电容充电。时也对其它所有电容充电。放大器的输出电压放大器的输出电压 可见可见：输出电压是与电缆电容有关的。只有在放大：输出电压是与电缆电容有关的。只有在放大器的开环增益器的开环增益K足够高，并满足以下条件：足够高，并满足以下条件： 放大器的输出电压为放大器的输出电压为 一般在反馈电容的两端并联一个大电阻一般在反馈

46、电容的两端并联一个大电阻Rf(约约108 1010 )，其功能是提供直流反馈，减小零漂，使电荷，其功能是提供直流反馈，减小零漂，使电荷放大器工作稳定。放大器工作稳定。 柿省事辟窒彤印襟眨皮螟返忱划秧利桶肛擦届烹芯匙半毒察眠湾渡岳蝉委第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 设设 C= Ca+Ci+Cc有有 Q=Qf+QcUa: Qc =Ua C 电容电容Cf 的两端电压为的两端电压为Uf：Uf: Qf = Uf Cf Q= Ua C + Uf Cf Uf= Ua-UscUsc=-k Ua Uf=（1+k）Ua Q= Ua c+（1+k） Cf 抽冷乡胸惕冕大

47、敌夹仔呜猫廖鳞例蛙边缚芳叭猛翠顶珊既罢缘肯豢唤汲朵第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 使用电荷放大器的几点说明使用电荷放大器的几点说明1 1）输入端短路）输入端短路场效应管作为属于电流控制型器件，需将传感器两端短接。场效应管作为属于电流控制型器件，需将传感器两端短接。2 2）漂移）漂移由于漏电阻较小，静态测量中出现漂移。由于漏电阻较小，静态测量中出现漂移。3 3）工作频带）工作频带下限：取决于全系统的电气特性，即时间常数下限：取决于全系统的电气特性，即时间常数。上限：取决于传感器的机械特性，与两种因素有关：运算上限：取决于传感器的机械特性，与两种因素有

48、关：运算放大器的频率响应；电缆长度。放大器的频率响应；电缆长度。4 4）电标或归一化处理）电标或归一化处理电荷放大器中设有归一化开关，如设置电荷放大器的放大电荷放大器中设有归一化开关，如设置电荷放大器的放大倍数为倍数为“1 1”，仅需将放大器上的传感器灵敏度，设为所，仅需将放大器上的传感器灵敏度，设为所用传感器的灵敏度，则可由放大器的输出直接读出被测物用传感器的灵敏度，则可由放大器的输出直接读出被测物理量的大小。如压力测量，归一化处理后，输出为理量的大小。如压力测量，归一化处理后，输出为50mv50mv，则被测压力为则被测压力为5050个机械单位，该单位取决于传感器的灵敏个机械单位，该单位取决

49、于传感器的灵敏度单位，如度单位，如7.127.12mv/kpamv/kpa50kpa50kpa。 彬墒熟迹恼奔瞄云冶肌职填轰瘪扳醇寂私坎刃楚裁丢耙吏镰影婉俄幅翁办第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.5 压电式传感器压电式传感器 压电元件直接成为力压电元件直接成为力电转换元件是很自然的。电转换元件是很自然的。关键是选择合适的压电材料、变形方式、机械上串关键是选择合适的压电材料、变形方式、机械上串联或并联的晶片数、晶片的几何尺寸和合理的传力联或并联的晶片数、晶片的几何尺寸和合理的传力结构。结构。 压电元件的压电元件的变形方式变形方式以利用以利用纵向压电

50、效应纵向压电效应的的TE方式为最简便。方式为最简便。 压电材料的选择决定压电材料的选择决定:所测力的量值大小、对测所测力的量值大小、对测量误差提出的要求、工作环境温度等各种因素。量误差提出的要求、工作环境温度等各种因素。羚砖驰总祈喳戳拾萄卢过喇深底班蛙追匀傣陵娱僻宏挽盯腹棒扑金赂虑属第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 晶片数目晶片数目:通常使用通常使用机械串联而电气并联机械串联而电气并联的两片。的两片。 晶片机械串联的数目增加会导致传感器抗侧向干扰晶片机械串联的数目增加会导致传感器抗侧向干扰能力的降低能力的降低; 晶片晶片机械上并联的片数增加会导致传感

51、器加工精度机械上并联的片数增加会导致传感器加工精度过高过高 。澈醉婪表侧雇懒玉沉俐峦瑟送澈敛纪瘁坐恤亏智房狮炳仲冬总邻审耳堕倔第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 晶体片为晶体片为X切割石英晶片，尺寸为切割石英晶片，尺寸为 81mm ，上盖为传力元件，其变形壁的厚度为上盖为传力元件，其变形壁的厚度为0.10.5mm,由测力范围（由测力范围（Fmax=500Kg）决定。决定。绝缘套用来绝缘套用来绝缘和定位。绝缘和定位。基座内外底面对其中心线的垂直度、上盖及晶片、基座内外底面对其中心线的垂直度、上盖及晶片、电极的上下底面的平行度与表面光洁度都有极严格的要求。

52、否则会使横向灵电极的上下底面的平行度与表面光洁度都有极严格的要求。否则会使横向灵敏度增加或使片子因应力集中而过早破坏。敏度增加或使片子因应力集中而过早破坏。提高绝缘阻抗，传感器装配前要经过多次净化（包括超声波清洗），然后在提高绝缘阻抗，传感器装配前要经过多次净化（包括超声波清洗），然后在超净工作环境下进行装配，加盖之后用电子束封焊。超净工作环境下进行装配，加盖之后用电子束封焊。接触面不可能绝对平坦，需要施加预紧力，保证全面均匀接触接触面不可能绝对平坦，需要施加预紧力，保证全面均匀接触1.压电式压力传感器压电式压力传感器YDS781型单向压电型单向压电式测力传感器的结构图。式测力传感器的结构图。

53、 亚略卯屋什格缔崎稀汰痒肝脆畦傲里凰壶栈秃纱絮您蹈涟溢倦兵俘令恰删第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 2.压电式压力传感器压电式压力传感器1）结构特点：）结构特点：2）温度补偿方法：）温度补偿方法：3）加速度补偿原理）加速度补偿原理(膜片式膜片式)剧惧觉膊中挨痪邻哩捡安檬好诀躺未簿嘱探丧琵断膳娇猎末列冶瑚摸怒掠第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 1）结构特点）结构特点膜片的作用：密封、传递压力，对传感器内部器膜片的作用：密封、传递压力，对传感器内部器件进行预紧；件进行预紧；采用多片晶体机械上串联、电气上并联，以

54、提高采用多片晶体机械上串联、电气上并联，以提高传感器的电荷灵敏度；传感器的电荷灵敏度；壳体的刚度较大。壳体的刚度较大。2）温度补偿方法）温度补偿方法原因原因：当被测环境的温度变化时，膜片及传感器：当被测环境的温度变化时，膜片及传感器壳体壳体会产生热应力，导致压电晶体产生额外的会产生热应力，导致压电晶体产生额外的电荷输出，因此需进行温度补偿。（如测量火电荷输出，因此需进行温度补偿。（如测量火药燃气压力）药燃气压力）闻凄扣研菏能淳职沤斤棉孟览旺吟塑葡惮克异矫明黄洋肮换孰勋渊害郁衫第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 3）加速度补偿原理）加速度补偿原理原因原因

55、：当被测压力的环境具有冲击和振动的影响时，：当被测压力的环境具有冲击和振动的影响时，由于压电晶体及相关传感器附件都具有质量，则在由于压电晶体及相关传感器附件都具有质量，则在加速度的作用下会产生惯性力，该惯性力作用在压加速度的作用下会产生惯性力，该惯性力作用在压电晶体堆上也会因加速度的影响产生附加的电荷输电晶体堆上也会因加速度的影响产生附加的电荷输出。出。补偿方法补偿方法采用温度补偿金属块，选用采用温度补偿金属块，选用温度系数与膜片及壳体相反温度系数与膜片及壳体相反的金属块。的金属块。皖做接迎梁激炳向堡帽赃卧码呻演那能皖滥瞩逝杀凤岛第盅杉权彩脑营浑第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章

56、章 压电测量技术压电测量技术 补偿方法补偿方法：采用加速度补偿块及补偿晶片，使采用加速度补偿块及补偿晶片，使加速度产生的额外电荷输出与补偿晶片产生的加速度产生的额外电荷输出与补偿晶片产生的电荷输出正好抵消电荷输出正好抵消。析钠果罗沧难柏桔拭实塔味斑嘻胰罢绸考肩鞍稻力溪餐臭砸哩搓祷孔沸陷第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 3.压电式加速度传感器压电式加速度传感器引言：引言： 加速度测量方法及传感器分类：绝对式、相对式加速度测量方法及传感器分类：绝对式、相对式 (惯性式惯性式)惯性式惯性式:牵连运动牵连运动相对运动相对运动1)结构原理结构原理(压缩式压电加

57、速度传感器压缩式压电加速度传感器)曲涟乏减较裁赔瘤燃引耐耽乌丹臼州澎妙术护渠幅版顾淹瞩伸氮腥雷院捧第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 2）结构特点）结构特点基座：加厚基座或选用刚度较大的材料；基座：加厚基座或选用刚度较大的材料；质量块质量块m：具有一定的重量，以便提高传感器的灵敏度；：具有一定的重量，以便提高传感器的灵敏度；引线：直接焊接在晶体表面的金属片上，一般采用镀银引线：直接焊接在晶体表面的金属片上，一般采用镀银电板；电板；预加载荷：由硬弹簧、螺栓、螺母对质量块预加载荷。预加载荷：由硬弹簧、螺栓、螺母对质量块预加载荷。万操否烯烈默吨涪鸟肇汕株盛讣

58、缝陨摊度降睡鲁旬讳绽痈扭枝死曰瞻上虞第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 3）传递函数）传递函数有有：（1）引入引入：纳焰港逛邦垦徊阿锯肤搂租伺案勉淳录乐有沟构宇蕾熊琅傅侈浪联差三辜第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 被测加速度为被测加速度为则式（则式（1）可写成：）可写成：台猖鲜打咙傻侗涧颇血孽轨寅惦寥雀辟纯蓬尹豪为按还牺悍淡响压搭伎粒第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 结论结论：上限频率取决于传感器的机械特性；：上限频率取决于传感器的机械特性； 下限频率取决于测量电路

59、的时间常数下限频率取决于测量电路的时间常数。（4）横向灵敏度）横向灵敏度 指传感器对垂直于主轴平面内的加速度的最大灵敏度。指传感器对垂直于主轴平面内的加速度的最大灵敏度。九纷病沛捏寻诞线黍八堵呆锌没蹋戍枣疼般搁滦坦价抒锰渡箭尧患捂母毕第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 产生的原因产生的原因（1） 压电材料性能的不均匀、压电压电材料性能的不均匀、压电片表面粗糙或两个表面不平行、压电片表面粗糙或两个表面不平行、压电片表面有杂质或接触不良；片表面有杂质或接触不良；（2） 晶体片切割或极化方向有偏差；晶体片切割或极化方向有偏差； （3） 传感器基座上下两端互相

60、不平传感器基座上下两端互相不平行；行；（4） 基座平面与主轴方向互不垂直，基座平面与主轴方向互不垂直，基座平面不平；基座平面不平；（5） 质量块或压紧螺母加工精度不质量块或压紧螺母加工精度不紧；紧；（6） 传感器装配质量不好，结构不传感器装配质量不好，结构不对称。对称。 隔号腊甥矢综神遣申蟹佣渗毅戒胀旱露比炯唤胁桅状可特虫岭三豪你养俺第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 ：9.6 9.6 引起压电式传感器测量误差的因素引起压电式传感器测量误差的因素 9.6.1 环境温度的影响环境温度的影响 周围环境温度的变化对压电材料的压电常数和介电常数周围环境温度的变

61、化对压电材料的压电常数和介电常数的影响最大，它将造成传感器灵敏度发生变化。的影响最大，它将造成传感器灵敏度发生变化。 1）石英晶体）石英晶体 石英晶体对温度并不敏感，在常温范围甚至温度高至石英晶体对温度并不敏感，在常温范围甚至温度高至200，石英的压电常数和介电常数几乎不变，在，石英的压电常数和介电常数几乎不变，在200400范围内变化也不大。范围内变化也不大。 2）压电陶瓷）压电陶瓷 人工极化的压电陶瓷受温度的影响比石英要大得多，压人工极化的压电陶瓷受温度的影响比石英要大得多，压电常数和介电常数随温度变化的趋势大体上如图所示。电常数和介电常数随温度变化的趋势大体上如图所示。族非斜新孟玲伦辙仅

62、傲啃相颧叮献敏蹲捕秉捎五葫诀培礼诀脏形孜湘半泅第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 为了提高压电陶瓷的温度稳定性和长时间温度稳定为了提高压电陶瓷的温度稳定性和长时间温度稳定性，一般应进行性，一般应进行人工老化处理人工老化处理。 人工老化处理人工老化处理: 将压电陶瓷置于温度箱内反复加将压电陶瓷置于温度箱内反复加温和降温，连续做一个星期，加温和降温的周期为二温和降温，连续做一个星期，加温和降温的周期为二小时。小时。 坝朋拟擅煌寝猴尖畔洒刚窒沃挂肤狞盗灶哭躲埂墒朝汞俯秆哆颂皮殆陋菲第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术

63、压电陶瓷经人工老化后处理后，虽然在正常使用压电陶瓷经人工老化后处理后，虽然在正常使用稳定环境中性能比较稳定，但在高温环境中使用时，稳定环境中性能比较稳定，但在高温环境中使用时，压电常数和介电常数仍会发生变化。压电常数和介电常数仍会发生变化。 普通的压电式传感器的工作温度总是有限的，这主普通的压电式传感器的工作温度总是有限的，这主要是受压电材料、电子线路元件和电缆耐温限制。要是受压电材料、电子线路元件和电缆耐温限制。 压电材料的电阻率是随着温度的增加按指数规律减压电材料的电阻率是随着温度的增加按指数规律减小的。小的。 传感器的连接电缆也是一个至关重要的部件。普传感器的连接电缆也是一个至关重要的部

64、件。普通电缆是不能耐通电缆是不能耐700以上高温的。以上高温的。 电缆两端必须气密焊封，以防止潮气侵入到无机电缆两端必须气密焊封，以防止潮气侵入到无机绝缘材料中使绝缘电阻减低。绝缘材料中使绝缘电阻减低。众镊酝俭谨舜沼扣建吉恕形商郝拼宫讯梦山瑰峡饭窒牛晌悄熄铁校菏跟江第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.6.2 环境湿度的影响环境湿度的影响 环境湿度对压电式传感器性能影响很大。如传感环境湿度对压电式传感器性能影响很大。如传感器长期在高湿环境下工作，传感器的绝缘电阻（泄漏器长期在高湿环境下工作，传感器的绝缘电阻（泄漏电阻）将会减小，以致使传感器的低频响应

65、变坏。电阻）将会减小，以致使传感器的低频响应变坏。 要选用绝缘性能良好的绝缘材料，如聚氯乙烯、要选用绝缘性能良好的绝缘材料，如聚氯乙烯、聚苯乙烯、陶瓷等聚苯乙烯、陶瓷等。 零件表面的光洁度要高零件表面的光洁度要高。 对一些长期在潮湿环境或水下工作的传感器，应对一些长期在潮湿环境或水下工作的传感器，应采取防潮密封措施，在容易漏气或进水的输出引线接采取防潮密封措施，在容易漏气或进水的输出引线接头处用特殊材料加以密封。头处用特殊材料加以密封。 首锯馋驻沿济言寞斩抬闰界挠僳膘念抓桥搭皱恼糯温垂默凝构捻观费孤挨第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9.6.3 电缆

66、噪声电缆噪声 压电式传感器的信号电缆一般采用小型同轴导线，压电式传感器的信号电缆一般采用小型同轴导线，这种电缆很柔软，具有良好的挠性。这种电缆很柔软，具有良好的挠性。 电缆噪声完全是由电缆自身产生的。普通的同轴电电缆噪声完全是由电缆自身产生的。普通的同轴电缆是由聚乙烯或聚四氟乙烯作绝缘保护层的多股绞线缆是由聚乙烯或聚四氟乙烯作绝缘保护层的多股绞线组成。组成。 为了减少这种噪声，除选用特制的低噪声电缆。为了减少这种噪声，除选用特制的低噪声电缆。 在测量过程中应将电缆固紧，以免产生相对运动。在测量过程中应将电缆固紧，以免产生相对运动。蚕娟之豹糊痞棘庄廊戴挥清砰迪伤茂菩岛卓宦称坦烫矛桑挫供陀暂钩霸蚂

67、第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 作作 业业9-1 什么叫正压电效应？什么叫逆压电效应？什么叫正压电效应？什么叫逆压电效应？9-2 画出压电元件的两种等效电路。画出压电元件的两种等效电路。9-3 电荷放大器要解决的核心问题是什么？试推导其输电荷放大器要解决的核心问题是什么？试推导其输入输出关系。入输出关系。9-4 何谓电压灵敏度和电荷灵敏度？两者间有什么关系何谓电压灵敏度和电荷灵敏度？两者间有什么关系？9-5 简述压电式加速度传感器的工作原理。简述压电式加速度传感器的工作原理。9-6 有两只压电式加速度传感器，固有频率分别为有两只压电式加速度传感器，

68、固有频率分别为200kHz和和35kHz，阻尼比均为，阻尼比均为0.3，今欲测频率为，今欲测频率为10Hz的振动应选用哪一只？为什么？的振动应选用哪一只？为什么？ 们念揍阀佃阳锌哀弧役结蕴呜纠畅居征渭诌调绚饰厚妥杀轧损蚂磨睬攫驻第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9-7 为了扩大压电式传感器的低频响应范围，是否可以为了扩大压电式传感器的低频响应范围，是否可以采用增加测量回路电容采用增加测量回路电容C的办法？为什么？的办法？为什么？9-8 压电式传感器的上限频率和下限频率各取决于什么压电式传感器的上限频率和下限频率各取决于什么因素？因素？9-9 分析压电

69、式加速度传感器的频率响应特性。若测量分析压电式加速度传感器的频率响应特性。若测量电路的电路的C =1000pF，R =500M，传感器固有频率，传感器固有频率0=30kHz，相对阻尼比系数，相对阻尼比系数=0.5，求幅值误差在，求幅值误差在2%以内的使用频率范围。以内的使用频率范围。9-10 用石英晶体加速度计及电荷放大器测量机器的振用石英晶体加速度计及电荷放大器测量机器的振动，已知加速度计灵敏度为动，已知加速度计灵敏度为5pC/g,电荷放大器灵敏电荷放大器灵敏度为度为50mV/pC,当机器达到最大加速度值时相应的当机器达到最大加速度值时相应的输出电压幅值为输出电压幅值为2V，试求该机器的振动

70、加速度，试求该机器的振动加速度 兰蒸棋篡御暇吧铬谊迢仿要曼霄蠕掐曹阐责磅布寸伯惜寻抛掸谣琉霖沾鞍第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9-11 石英晶体压电式传感器，面积为石英晶体压电式传感器，面积为1cm2，厚度为，厚度为1mm，固定在两金属板之间，用来测量通过晶体，固定在两金属板之间，用来测量通过晶体两面力的变化。材料的弹性模量是两面力的变化。材料的弹性模量是91010Pa，电，电荷灵敏度为荷灵敏度为2pC/N，相对介电常数是，相对介电常数是5.1，材料相，材料相对两面间电阻是对两面间电阻是1014。一个。一个20pF的电容和一个的电容和一个100M

71、的电阻与极板相连。若所加力的电阻与极板相连。若所加力F=0.01sin（103t）N, 求：求： 两极板间电压峰两极板间电压峰峰值；峰值； 晶体厚度的最大变化值。晶体厚度的最大变化值。9-12 已知电压前置放大器输入电阻及总电容分别为已知电压前置放大器输入电阻及总电容分别为Ri=100M，Ci=100pF，求与压电式加速度计相，求与压电式加速度计相配测配测1Hz振动时幅值误差是多少？振动时幅值误差是多少？筷耗靖注戊阴躬本峰呈饵尹息魔郎逐胡净忧套芬牙跟欣蝎来底着曰抢枉瓤第9章压电测量技术第9章压电测量技术第第9 9章章 压电测量技术压电测量技术 9-13 已知某压电式传感器测量最低信号频率已知某

72、压电式传感器测量最低信号频率f=1Hz，现要求在现要求在1Hz信号频率时其灵敏度下降不超过信号频率时其灵敏度下降不超过5%，若采用电压前置放大器输入回路总电容，若采用电压前置放大器输入回路总电容Ci=500pF，求该前置放大器输入总电阻，求该前置放大器输入总电阻Ri是多少是多少？ 9-14 有一压电晶体，其面积有一压电晶体，其面积S=3cm2，厚度，厚度t=0.3mm，在零度，在零度，X切型纵向石英晶体压电系数切型纵向石英晶体压电系数d11=2.3110-12C/N。求受到压力。求受到压力P=10Mpa作用时作用时产生的电荷产生的电荷q及输出电压及输出电压u0。选杉顽陵跋狠狄物副航辫提助举忻压孕玫佳钎僳份剂号蔫嫡式户机疥匡洲第9章压电测量技术第9章压电测量技术