《ICP清腔ppt课件》由会员分享，可在线阅读，更多相关《ICP清腔ppt课件（14页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、ICP清腔报告1NE950清腔清腔前准备工作清腔使用工具：防毒面具、手套、无尘布、去离子水、内六角2NE950清腔1）在MAIN界面下使用程序“cleaning”进行清洗3NE950清腔2）MAIN界面下使用程序“MAINTE”进行清洗4NE950清腔3）使用“Flashing”吹扫5NE950清腔4）打开腔体前运行程序6NE950清腔5）打开腔体a.在机器右侧左下角同时按下“OPEN”、“E-LID”打开腔体。把腔体盖后面的黑色销子拔起，把腔体盖向左侧推出，到位后再将销子按下。b.取出玻璃盘将排气罩罩在腔口处用排气管向外抽气20分钟。c.将腔体内的防护板、上防护罩、特种陶瓷部件、上玻璃防护板
2、、上下固定铁圈及固定螺栓等部件拆下放在垫有无尘布的桌面上，注意轻拿轻放。7NE950清腔6）用无尘布蘸少量去离子水擦拭腔体内部用无尘布蘸少量去离子水擦拭腔体内部在【MAINTENANCE】中点“Robot”点HOIST的箭头使三根针升起按顺时针方向擦拭。 8NE950清腔7）装机a.将擦拭好的部件按拆的反顺序安装回原处。b.在【MODE SELECT】点Load和unload确认无异后同时按“CLOSE ”、“E-LID”关闭腔体盖9NE950清腔8)试运行a.抽真空10NE950清腔8)试运行b.运行清腔后吹扫程序运行清腔后吹扫程序11NE950清腔8)试运行c.空运空运12NE950清腔9)首件检查清腔结束后需要由技术工程组先确认刻蚀深度，结果正常后交生产人员正常生产。1310）注意事项a) 操作过程中带好手套、口罩，操作人员注意安全；b) 拆装时要部件与工具要轻拿轻放；c) 擦针时要按顺时针方向擦拭；d) 清洗时勿将液体溅到皮肤上，手套破损即时更换，物件必须烘干后才能进行安装；e) 无尘布的使用：将无尘布对折二次擦一次，取开一层反过来对折擦一次，完全取开后反过来对折再擦二次，一块无尘布使用四次，擦拭必须沿同一方向，不可重复；f）没有经过确认刻蚀深度，不得生产。NE950清腔14
