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1、 质量流量控制器和质量流量计使 用 说 明 书1、 特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：R*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚四氟乙烯等*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。*操作使用方便，可
2、任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2S49系列质量流量控制器和质量流量计型号 本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器 S49-33A/MT型高精度质量流量计。 S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器 S49-33B
3、M/MT型普通型质量流量计。质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。执行Q/XCHBY001-2003企业标准3主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 - 273.15K ( 0 ); 气压 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标编号项 目S49-33/MTS49-33M/MT1流量规格( 05
4、,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 01,2,3,5,10,15,20,30) SLM2调节阀类型电磁调节阀3调节阀静止位置常闭4准确度 1 % F.S （5sccm10slm） 2 % F.S5线性 (0.51.5) % F.S6重复精度 0.2 %F.S7响应时间(1 10) sec8工作压差范围(0.05 0.4) Mpa 1030L(0.10.4) Mpa9耐压3 Mpa 10 Mpa10工作环境温度5 45 11材料不锈钢316L12标准密封材料VitonEPDM, 或其他13漏率210-9mbar.1/s He14接头6mm, 1/4Swagel
5、ok, 1/4VCR, 或其他15输入输出信号0 V +5.00 V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)16电源+15 V 50 mA-15V 200 mA17外形尺寸 mm1341343818重量 kg1.2表2. S49-33A/MT S49-33BM/MT型质量流量计技术指标编号项 目S49-33A/MTS49-33BM/MT1流量规格( 05,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 01,2,3,5,10,15,20,30) SLM2准确度1 % F.S2 % F.S3线性 (0.51.5) % F.S4重复精度 0.2 %F.S5响应时间1
6、4 sec6气压降0.01 MPa7耐压3 MPa 10 MPa8工作环境温度5 45 11材料不锈钢316L12标准密封材料VitonEPDM, 或其他13漏率210-9mbar.1/s He14接头6mm, 1/4Swagelok, 1/4VCR, 或其他电源+15 V 50 mA -15 V 50 mA11外形尺寸 mm134134381341343812重量 kg11注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。4. 工作原理图一 热式质量流量计的工作原理图质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的
7、基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了质量流量控制器。流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度和压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比,满量程(F.S)流量检测输出电压为+5V。质量流量控制器的流量控制范围是(5100)%F.
8、S（量程比为50:1）, 流量分辨率是0.1%F.S。控制操作一般在MT-50系列流量显示仪上进行。当设定与“内”设相连时，由流量显示仪上的设定电位器控制流量。当与“外”设相连时，由用户提供的外部0+5V电压控制流量。在流量显示仪的显示面板上设置有三位阀门控制开关，当置于“阀控”时，则按设定电位器的数值自动控制流量，当置“关闭”位时，阀门关闭；当置“清洗”位时，阀门开到最大，以便气路清洗，或作为流量计使用。在做流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达到+10V以上，不过要注意，当流量超过满量程（+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示不准确，还可能出现流量
9、增大显示反而减小的异常现象，但不会对流量计本身造成损伤。（参考流量显示仪的使用说明书）5.安装和接线5.1 S49系列质量流量控制器外形及安装尺寸如图二所示 图二 S49系列质量流量控制器外形及安装尺寸5.2入口和出口气路接头形式可以根据用户的不同需求，选用两种类型：1. 双卡套（Swagelok）；a. 6mm； b. 3； c. 1/4；d.或其他2.VCR a. 1/4； b. 3/8连接方法如图三，图四所示 图三 双卡套接头的连接方法注意：按上图所示安装接管时，在装上前卡套、后卡套、螺母后，先用手将螺母与接头拧紧，再用板手拧紧，以保证不漏气。注意应使用双扳手操作，用一只扳手卡住接头不动
10、，用另一只扳手旋转螺母。特别是在拆卸时必须使用双扳手操作，否则会引起接头松动，影响密封。图四 VCR 接头的连接方法5.3质量流量控制器连接电缆接口S49系列质量流量控制器的电缆接线插头，主要采用DB-15-pin针型接口和DB-15- hole孔型接口两种。其接线方法见图所示。设定(0+5.00V)空脚-15V+15V0电平外调零清洗流量检测（0+5V）-15V+15V+15V-15V空脚关闭电源地（GND）阀控空脚大地（Earth）空脚空脚OV（EO）815714613512411310291 图五 DB-15-pin针型接口配线图192103114125136147158外调零设定(0+
11、5.00V)流量检测（0+5V）大地（Earth）0电平阀控0V（EO）电源地（GND）+15V-15V-15V+15V清洗-15V关闭-15V+15V空脚空脚空脚 图六DB-15- hole孔型接口配线图注意：S49系列质量流量计接线与上述接线只是少了“阀控”和“设定”两根线其它完全相同。5.4 与计算机的连接方法a. 通过流量显示仪与计算机(或其它外部信号)的连接方法, 见图7。图七 通过流量显示仪与计算机的连接质量流量控制器或质量流量计流量显示仪连接电缆流量检测外设零电平阀控A/D转换输入信号地D/A转换输出信号地+15V关闭-15V清洗计算机或PLC( 注意: 质量流量计无阀控线和设定线 )内设设定阀控制若要检测流量输出信号(0V+5V)时, 将线引至显示仪外控信号插座的“流量检测”和“0电平”线上即可，也可直接与计算机的模数(A/D)转换器连接，+5.00V输出电压对应MFC满量程额定流量值。流量检测输出电流3mA。b. 流量计直接与计算机连接的接线方法，见图8。图八 直接与计算机连接的接线方法质量流量控制
