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1、题目：细则产品：OLED封装系统模型：LLE470-1D1P1G20客户：授权于：客户：LAN技术服务公司：修订记录：日期次数说明作者2002.11.30初版说明：本文件为机密文件相关细则在设计过程中可能有所不同1.系统总览：本系统设计用于OLED器件面板和后盖玻璃封装制作。所有过程或在气压下的套式箱中，或在真空中完成。气体净化系统由逻辑编程控制器(PLC)系统主控器控制。3.概要：3-1物件：3-2厚度：3-3应答时间OLED器件玻璃后盖玻璃OLED器件玻璃后盖玻璃5min370（L）*470（W）370（L）*470（W）0.7mm1.1mm2.系统构造：(图略)A)带2道门阀的传递室B)
2、带1道门阀的传递室C)分配室D)干燥室(干燥剂安放室)E)UV清洗室F)封装室OLED器件面板与后盖玻璃联结暨UV封装室(包括装配系统)。G)UV加工室H)装片机械手位置I)卸片机械手位置J)真空烤箱K)真空烤箱4工艺流程：OLED器件玻璃4-1传递室A中的机械手将OLED器件玻璃从沉积设备递送到封装室F(器件玻璃正面朝下)。4-2在封装过程中，OLED器件玻璃由升高-手指夹持、提升，并被上层平台真空吸附。后盖玻璃4-3安放后盖玻璃于盒子中，随后由MGV安放到真空烤箱上。于是，在真空烤箱中，后盖玻璃被加热和抽真空4-4烘烤后，OLED器件玻璃一片片地被机械手通过门阀从H递送到UV清洗室。4-5
3、后盖玻璃在特定气体中UV光清洗，于是E室被干泵抽真空。4-6当E室中的气压抽到特定值时，N2被清除。4-7机械手B从UV清洗室E中夹起一片后盖玻璃递送至干燥室Do4-8干燥室D中有2台夹起和放置机械，并旋转提供干燥剂。4-9机械手B从干燥室D夹起后盖玻璃，送至分配室Co4-10在分配室C，4台分配器把UV胶涂敷在后盖玻璃上，以便绘制图案。4-11在分涂有UV胶后，后盖玻璃被递送至封装室Fo4-12提升-手指夹持后盖玻璃、下沉，并安放在底座平台上。4-13当2片玻璃通过CCD对位在封装室后，UV光从底部照射，于是在封装室F两片玻璃被封装在一起。装配线4-14装配设备被递送到UV加工室Go4-15
4、UV光从底部加工装配设备。4-16加工后，玻璃被机械手I通过门阀从UV加工室递送到细分盒。装满后，后者被MGV递送到下道工序。5.各室详细情况介绍：5-1传递室A和B：传递方法：单轴机械手递送巾15mm*LEAD20mm递送速度：机械手材料：表面处理：物件夹持方式：800mm/sec(取大值)铝硬性阳极氧化铝手持玻璃外边缘：边缘8mm宽是接触面:马达：冲程：5-2分配室C：100W伺服马达850mm分配头由ASYMTEK提供。分配驱动与控制由LAN技术服务公司制造。分配系统有4个分配头。4个分配头的动作可由XZ机械手单独控制。a)分配器：ASYMTEKDV8000b)驱动：Y机械手、XZ机械手
5、和XY0平台。c)注射容量：50ccd)注射数量：4鸣管e)分配树脂宽度：11.5mm+/-15%f)分配树脂高度：0.03mm（至0.05mm）g)单元尺寸：由可变程序控制。h)分配头加热器：已安装。I)分配头清洗器：已安装。参考值：分配速度大约每分配头1秒钟1英寸。然而，这受UV胶粘性的影响和变化。5-3干燥室D：本室有干燥剂吸取单元，该单元通过2个分别带有XY机械手的吸盘来吸取干燥材料。(a)吸附单元2头一头可在同一时间同一行中拾取3个干燥剂。（b）驱动：（c）供给单元：（d）电吹风：（e）卷轴数量：（f）单元尺寸：5-4UV清洗单元E：灯：输入：灯数量：形状：Y机械手和XY机械手轴连递
6、送。2套。2套。随可变程序调整。低压水银灯200W8N形。5-5OLED器件玻璃和后盖玻璃联结暨UV封装:气压方式：上层平台：下层平台：N2气压。带真空吸盘的铝板石英玻璃。包括制冷设备。掩膜：任选。室（包括装备系统）：封装单元FUV灯：2盏14KW带气冷功能的UV灯。*被动器件UV光照时需掩膜保护。定位方法：带CCD摄像系统的XY0平台。CCD摄像系统：联结精度+/50微米。*过后，联结对位标记就相互吻合。其他：5-6UV加工室G：室（包括装配系统）UV灯：压力方式：气冷系统。封装室D。1盏带气冷功能的14KWUV灯机械压力。带真空吸盘的铝板。石英玻璃。扫描。PIN连接。本室中，终极真空度：最
7、高温度：工作温度：加热方法：控制方法：加热速度：通过使用干灯加热的方式烘干后盖玻璃。3*10-2bar300C150C+5C电阻加热PLC控制。大约1小时从室温升到150C左右。下层平台：照射方法：对位方法：5-7真空烤箱（J&K）5-8装片机械手位置H和卸片机械手位置I：要放好封装盒位置，两点很重要。每个封装盒可以安装20片面板。不论封装盒是空还是满，封装盒可以自动移到卸片位置机械手H、I。主要单元型号UTF-F1000HGR-014结构汽缸型操作自由度4操作区域X轴1235mme轴340度细则Z轴520mmR轴185度最大速度X轴900mm/sece轴140deg/secZ轴172mm/s
8、ecR轴180deg/sec操作时间X轴2.6sece轴4.0secZ轴3.6secR轴1.5sec精度X轴小于0.001mm/脉冲机械臂操作角e轴0.001度/脉冲Z轴0.001mm/脉冲R轴0.001度/脉冲重复对位精度+0.1mm(X、e、Y)洁净度1级(0.1pm/cf)效用真空度：大于54kpa10NL/min压缩空气：0.20.6MPA传送块5kg（包括手）环境温度040重量大约100kg注示1：时间是指每轴一个全冲程所需的时间（理论值）注示2：20次对位精度包括错误对位（在精确位置左右方向对位的停止位置的不同）。注示3：洁净度是依据209E联邦标准而得的标准值。注示4：压缩空气必
9、须经过过滤和干燥。5-7气体净化系统MB-3001套覆盖B、C、D、E室MB-3001套覆盖A、F、G室。上述气体净化系统带有湿度计量器和氧气计量器。OLED面板封装设备细则型号：LLE-200-1D1G1P时间：2002.7.9LAN技术服务有限公司1.设备总览：本单元意图将PLED面板装进套式箱中，以便用UV粘性胶涂敷面板表面，并应用于后盖玻璃板。沉积设备外的PLED面板放在装载平台上。装载平台上的PLED面板移向分散工作台。于是，向面板上注射UV粘性胶（每套图案1个注射器）。绘制图案之前，面板在旋转平台上旋转180度。分配过后，面板又旋转回来，继而通过递送机械手和安装在上方的真空吸盘移向
10、压力平台。手动将安装在盒子里的后盖玻璃从接待室放到装载平台上。后盖玻璃自动移到接片平台上。于是机械手从喂料器中拾取接片器，并把它放到后盖玻璃上。在压力平台上，伺服马达提升后盖玻璃盘，将它压在PLED面板上。通过氮气保护气施加压力，同时UV灯从下方照射面板。光照完成后，传送机械手将碾压过的面板送回原封装盒中。2.设备构造：1）后盖玻璃装载盒单元2）接片单元3）分配单元4）封装单元5）有等待位置的旋转单元6）电控单元3.基本规格：1)可用单元：上层平台：200*200*0.7t(mm)材质：PLED面板玻璃下层平台：200*200*0.7t(mm)材质：后盖玻璃2)黏合剂：单部UV联结胶粘性：约3
11、00000CPS500000CPS3)适用压力：0.05kg/cm0.1kg/cm24)效用：输入功率：接地220VAC土10%60Hz大约150A（包括UV功率输入）氮气：0.50.6Mpa150l/min联结间隙：PT3/8-英寸排气装置：汽缸排气联结间隙：PT3/8-英寸真空度：400l/min联结间隙：PT3/8-英寸UV功耗：45M3/min（140mmAq）冷却水：30L/min（约25C）4.构成细则：1）装载盒单元：1套手动将从接待室装进盒子的后盖玻璃放在有上下功能的装载台面上。后盖玻璃自动移向接片平台。2）接片设备单元：1套（1）接片器吸取单元：吸取方式：真空吸取驱动：用1个
12、带有XYZ机械手的真空吸取单元，从供给单元接收接片器。XYZ机械手（与同分配单元一样）递送速度：最大800mm/sec马达：100WAC伺服马达冲程：300mm重复精度：土0.02分辩度：0.01mm（2）接片供给单元取决于客户的材质与工具。图画表明具有带轴连型干燥剂供给工具的功能。马达：100WAC伺服马达重复精度：土0.02分辩度：0.01mm吹风系统：电吹风供给单元：轴连3）封装分配系统：1套X-、Y轴速率：351mm/sX-、Y轴控制：无刷步频马达X-Y行程：508*444mmZ行程（最大）：96.0mm系统重复精度：+/-0.025mm（是指设备精确回到已达位置的能力）分辨度：+/-
13、0.025mm（是指设备可以移动的最小距离）放位精确度：+/-0.13（是指设备能够达到X-Y坐标点的精确程度）4）封装1套压力形式：N2气压（非接触型）低位平台：石英玻璃高位平台：铝板（水冷）压力平台温度不可超过50C器件温度N60C定位方法：CCD摄像定位迭片对位精度：土550pm（依赖于对位标记）垂直运动：球螺纹，伺服马达控制方法：带音序器的电子气动校准仪使用应变测量型装载单元测试和控制迭片压力控制幅度：0.01kg/cm20.5kg/cm2（接触型）时间设置：最小单元1秒，最大单元60分钟整单元间隙：目标值30pm（带间隔剂540pm）渗漏：无渗漏（当闭门器关上以后）套式箱外吹风速度应为1mw/cm2应防止从UV单元漏光到缓冲平台6）UV加工单元1套本单元适用于200*200mm玻璃（每单元1个UV灯）照射方法：安装灯炉照射灯：气冷7kw（120，160w/cm2）2盏制冷系统：气冷系统、-.、.亮度：=100mmW/cm2掩膜：有掩膜支撑功
