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19）中华人民共和国国家知识产权局汐（12 ）实用新型专利（10）申请公布号CN210085563U（43）申请公布日2020.02.18（21）申请号 CN201920895209.7（22）申请日 2019.06.14（71）申请人 沈阳乐贝真空技术有限公司地址110135 辽宁省沈阳市沈北新区七星大街63-71号楼102室（72）发明人 王海;郭喜明;王英智;王开亮;刘洋;吴迪（74）专利代理机构 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 代理人 王荣亮（51）Int.CI权利要求说明书 说明书 幅图一种可制备硬质涂层的真空镀膜设备（57）摘要一种可制备硬质涂层的真空镀膜设备，解 决现有技术存在的靶材直径小，弧光不够细腻， 溅射颗粒大，膜层均匀性差，涂层与基体的结合 强度和韧性低，耐高温抗氧化能力弱的问题。包 括内部设置有工件旋转架的真空室，其特征在 于：真空室一侧的抽气口与真空抽气系统相连， 真空室另一侧的开口处活动设置有真空密封门， 真空密封门一端与真空室开口的侧部相铰接，真 空密封门另一端锁固在真空室开口的外侧壁上；
