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1、等离子体分析实验报告摘要：本文阐述了气体放电中等离子体的特性及其测试方法， 分别使用单探针法 和双探针法测量了等离子体参量，并简要介绍了等离子体的应用 ，最后对实验结 果进行讨论。关键词:等离子体、单探针、双探针（一）引言等离子体作为物质的第四态在宇宙中普遍存在。 在实验室中对等离子体的研 究是从气体放电开始的。朗缪尔和汤克斯首先引入“等离子体”这个名称。近年 来等离子体物理学有了较快发展，并被应用于电力工业、电子工业、金属加工和 广播通讯等部门，特别是等离子体的研究，为利用受控热核反应，解决能源问题 提供了诱人的前景。（二）实验目的1 ，了解气体放电中等离子体的特性。2 ，利用等离子体诊断技
2、术测定等离子体的一些基本参量。（三）实验原理1 ，等离子体的物理特性等离子体定义为包含大量正负带电粒子、而又不出现净空间电荷的电离气 体。等离子体有一系列不同于普通气体的特性：（1）高度电离，是电和热的良导体，具有比普通气体大几百倍的比热容。（2）带正电的和带负电的粒子密度几乎相等。（3）宏观上是电中性的。描述等离子体的一些主要参量为：（1）电子温度Te。它是等离子体的一个主要参量，因为在等离子体中电子 碰撞电离是主要的，而电子碰撞电离与电子的能量有直接关系， 即与电子温度相 关联。（2）带电粒子密度。电子密度为ne，正离子密度为口，在等离子体中n n（3）轴向电场强度El。表征为维持等离子体
3、的存在所需的能量。（4）电子平均动能Ee。（5）空间电位分布。本实验研究的是辉光放电等离子体。辉光放电是气体导电的一种形态。当放电管内的压强保持在10102Pa时，在两电极上加高电压，就能观察到管内有放电现象。辉光分为明暗相间的8个区域，在管内两个电极间的光强、电位和场强分布如图一所示。8个区域的名称为（1）阿斯顿区，（2）阴极辉区，（3）阴极暗区，（4）负辉区，（5）法拉第暗区,（6）正辉区，（7）阳极暗区，（8）阳极辉区。其中正辉区是等离子区。辉光放电的光强、电位和场强分布2,单探针与双探针法的测量原理测试等离子体的方法被称为诊断。等离子体诊断有探针法，霍尔效应法，微波法，光谱法等。本次实
4、验中采用探针法。探针法分单探针法和双探针法。（1）单探针法。探针是封入等离子体中的一个小的金属电极（其形状可以是平 板形、圆柱形、球形）。以放电管的阳极或阴极作为参考点，改变探针电位，测 出相应的探针电流，得到探针电流与其电位之间的关系，即探针伏安特性曲线， 如下图所示。对此曲线的解释为：在AE段，探针的负电位很大，电子受负电位的排斥，而速度很慢的正离子 被吸向探针，在探针周围形成正离子构成的空间电荷层，它把探针电场屏蔽起来。 等离子区中的正离子只能靠热运动穿过鞘层抵达探针， 形成探针电流，所以AE 段为正离子流，这个电流很小。过了E点，随着探针负电位减小，电场对电子的拒斥作用减弱，使一些快速
5、电子能够克服电场拒斥作用，抵达探极，这些电子形成的电流抵消了部分正离子 流，使探针电流逐渐下降，所以EC段为正离子流加电子流。到了C点，电子流刚好等于正离子流，互相抵消，使探针电流为零。此时探 针电位就是悬浮电位U F。继续减小探极电位绝对值，到达探极电子数比正离子数多得多， 探极电流转 为正向，并且迅速增大，所以CD段为电子流加离子流，以电子流为主。当探极电位U P和等离子体的空间电位U S相等时，正离子鞘消失，全部电 子都能到达探极，这对应于曲线上的D点。此后电流达到饱和。如果UP进一步升高，探极周围的气体也被电离，使探极电流又迅速增大，甚至烧毁探针。由单探针法得到的伏安特性曲线，可求得等
6、离子体的一些主要参量。对于曲线的CD段，由于电子受到减速电位(U P- U S)的作用，只有能量比e ( U P- US)大的那部分电子能够到达探针。假定等离子区内电子的速度服从麦克斯韦 分布，则减速电场中靠近探针表面处的电子密度n e,按玻耳兹曼分布应为=no expkTe式中n o为等离子区中的电子密度，T e为等离子区中的电子温度，k为玻耳兹 曼常数。在电子平均速度为Ve时，在单位时间内落到表面积为Ne 詔 neVeS将式代入式得探针上的电子电流：I N ! v S Ie(Up-Us)lI = Ne e = 4 nev S e = I o exp e 4 e0kTej其中1Io =刁nV
7、e S eS的探针上的电子数为：对(3)式取对数eUs eUpln I = ln I0kTekTe其中eUsIn 10constantkTe故eUpIn IconstantkTe可见电子电流的对数和探针电位呈线性关系#In?单探针的半对数曲线作半对数曲线，如上图所示，由直线部分的斜率tg，可决定电子温度Te:IniUpekreektg11600tg(K)#若取以10为底的对数，则常数11600应改为5040。电子平均动能Ee和平均速度Ve分别为：Ee 詔 kT(8)(9)式中me为电子质量由(4)式可求得等离子区中的电子密度:(10)式中I0为Up =U S时的电子电流，S为探针裸露在等离子区
8、中的表面面积。(2)双探针法。单探针法有一定的局限性，因为探针的电位要以放电管的阳极 或阴极点位作为参考点，而且一部分放电电流对探极电流有所贡献， 造成探极电 流过大和特性曲线失真。双探针法是在放电管中装两根探针，相隔一段距离L。双探针法的伏安特性曲线如图4所示。在坐标原点，如果两根探针之间没有电位差，它们各自得到 的电流相等，所以外电流为零。然而，一般说来，由于两个探针所在的等离子体 电位稍有不同，所以外加电压为零时，电流不是零。#随着外加电压逐步增加，电流趋于饱和。最大电流是饱和离子电流Is1 , Is2#双探针伏安特性双探针法有一个重要的优点，即流到系统的总电流决不可能大于饱和离子电流。
9、这是因为流到系统的电子电流总是与相等的离子电流平衡。从而探针对等离子体的干扰大为减小。由双探针特性曲线，通过下式可求得电子温度 Te:(11)式中e为电子电荷,e hi 匚k Iii Ii2k为玻耳兹曼常数,dUdlU =0Iii，Ii2为流到探针1和2的正离子#=0附近伏安特性曲线斜率。(12)Is是正电流。它们由饱和离子流确定。电子密度ne为：ne式中M是放电管所充气体的离子质量，S是两根探针的平均表面面积 离子饱和电流。(四) 实验仪器本实验用等离子体物理实验组合仪、 接线板和等离子体放电管。放电管的阳 极和阴极由不锈钢片制成。相关的试验参数如下：#探针直径(mm):0.45探针轴向间距
10、(mm):30.00放电管内径(mm):6.00平行板面积(mmA2):8.00平行板间距(mm):4.00 亥姆霍兹线圈直径(mm): 200.00 亥姆霍兹线圈间距(mm): 100.00亥姆霍兹线圈匝数： 400放电电流(mA):90取样电阻值(Q) :1000#(五) 实验内容1，单探针法测等离子体参量 本实验我们采用的是电脑化 X-Y函数记录仪直接记录探针电位和探针电流, 自动绘出伏安特性曲线，并使用等离子体实验辅助分析软件算出等离子体参量。仪器联线如图所示。单探针法实验接线图（逐点记录）测量时电阻设为1000 Q，电流设为90mA ,软件自动测量的结果如下U0 = 27.26 Vt
11、g0= 1.2710 =5076.97uATe=9.13E+003 KVe :=5.93E+005 m/sNe :=1.34E+018 n/mA3Ee :=1.89E-019 J伏安特性曲线如下2,双探针法测量等离子体参量 仪器联线如下图所示。双探针法实验接线图测量时采样电阻设定为1000Q，放电电流设定为90mA软件自动计算的测量结 果如下：11 = 506.85 uA12 = 413.78 uAtgO= 1.0E-004Te = 2.62E+004 KNe = 1.54E+017 n/mA3由于实际实验中S和Ii2并不能达到饱和，因此对实验数据处理时是在曲线两边各取一点做该点切线交于电压为
12、零所对应的直线，交点的数值分别取为1订和Ii2伏安特性曲线如下 Figure 2#File Edit Vjiew Insert Tools Desktop Window Help9 己日fe J O X S IEI 口昭探针伏安待性曲线OD眾0000-600电压(mV)46xlO可见单探针法与双探针法测出的数据在数量级上是一致的。(六) 思考题(1) 气体放电中的等离子体有什么特性？1. 高度电离，是电和热的良导体，具有比普通气体大几百倍的比热容2. 带正电和带负电的粒子密度几乎相等。3 宏观为电中性4.有辉光特性，电子的平均动能远大于其他粒子，处于非平衡状态(2) 等离子体有哪些主要参量？1
13、.电子温度Te2. 带点粒子密度n ,电子密度入，正离子密度ni3. 轴向电场强度El4. 电子平均动能Ee5. 空间点位分布(3) 探针法对探针有什么要求？1 电子和离子打到探针表面后被完全吸收，不会发生次级电子发射。2探针熔点要较高，保证其不会在放电过程中熔化。3 探针不与等离子体发生化学反应。4.探针的线度适中：小于离子和电子的自由程，减小对等离子体的干扰; 同时要明显大于其表面的正离子鞘层的厚度， 以减少离子鞘层的厚度的变化造成 的影响。使用双探针法时，两探针应垂直于放电电流方向放置，使两个探针所在的等离子 体电位尽量相同(4) 两种方法的比较单探针法的优点：单探针法可以通过伏安特性曲线得到双探针法无法获得的悬 浮电位Uf及空间电位Us。双探针法的优点：双探针法不需要参考电位，受放电系统接地情况的影响较小。 另外由于流到探针的总电流不会大于饱和离子电流， 从而探针对等离子体的干扰 大为减小。#
