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1、八 外層層8.1 製程目目的經鑽鑽孔及通通孔電鍍鍍後, 內外層層已連通通, 本本製程在在製作外外層線路路, 以以達電性性的完整整.8.2 製作流流程銅面面處理壓膜曝光顯像8.2.1 銅銅面處理理詳細細資料請請參考44.內層層製作.8.2.2 壓壓膜8.2.22.1乾乾膜介紹紹乾膜膜(drry ffilmm)的構構造見圖圖8.11, 19968年年由杜邦邦公司開開發出來來這種感感光性聚聚合物的的乾膜後後，PCCB的製製作就進進入另一一紀元,到19984年年末杜邦邦的專利利到期後後日本的的HITTACHHI也有有自己的的品牌問問世。爾爾後就陸陸續有其其他廠牌牌加入此此一戰場場.依乾乾膜發展展的歷史
2、史可分下下列三種種Typpe: 溶劑顯顯像型 半半水溶液液顯像型型 鹼水溶溶液顯像像型現在幾幾乎是後後者的天天下,所所以本章章僅探討討此類乾乾膜. AA. 乾乾膜之組組成水水溶性乾乾膜主要要是由於於其組成成中含有有機酸根根，會與與強鹼反反應使成成為有機機酸的鹽鹽類，可可被水溶溶掉。其其組成見見圖8.1水溶溶性乾膜膜最早由由Dynnachhem 推出,以碳酸酸鈉顯像像，用稀稀氫氧化化鈉剝膜膜，當然然經不斷斷改進才才有今日日成熟而而完整的的產品線線. BB. 製製程步驟驟乾膜膜作業的的環境，需需要在黃黃色照明明,通風風良好,溫濕度度控制的的無塵室室中操作作，以減減少污染染增進阻阻劑之品品質。其其主
3、要的的步驟如如下：壓壓膜停置曝光停置顯像8.2.2.22 壓膜膜(Laaminnatiion)作業A. 壓膜機 壓膜機機可分手手動及自自動兩種種,有收收集聚烯烯類隔層層的捲輪輪，乾膜膜主輪，加加熱輪，抽抽風設備備等四主主要部份份, 進進行連續續作業, 其示示意見圖圖8.22一一般壓膜膜條件為為：壓膜熱熱輪溫度度 122010板面面溫度 55010壓膜膜速度 11.52.55米分分壓力力 115-440 ppsiaa. 傳傳統手動動壓膜機機須兩人人作業，一一人在機機前送板板，一人人在機後後收板並並切斷乾乾膜，此此方式用用在樣品品、小量量多料號號適合，對對人力、物物料的耗耗用浪費費頗多。b.自動壓
4、膜機市面上HAKUTO，CEDAL，SCHMID等多種廠牌，其機構動作在板前緣黏壓乾膜方式及壓膜後緣切膜動作多有不同，但都朝產速加快，節省乾膜以及黏貼能力上在改進。 c. 國內志勝幾年前開發自動壓膜機頗為成功國內多家大廠均有使用. d.乾膜在上述之溫度下達到其玻璃態轉化點而具有流動性及填充性，而能覆蓋銅面。但溫度不可太高，否則會引起乾膜的聚合而造成顯像的困難。壓膜前板子若能預熱,可增強其附著力。 e. 為達細線路高密度板之高品質，必須從環境及設備上著手，乾膜之壓膜需要在無塵室中進行（10K級以上），環境溫度應控制在233，相對濕度應 保持50RH5左右。操作人員也要帶手套及抗靜電之無塵衣帽。8
5、.2.3 曝曝光 EExpoosurre8.2.33.1 曝光機機種類手手動與自自動 平行光光與非平平行光 LDDI雷射射直接暴暴光 A.手動曝曝光機，是是將將欲欲曝板子子上下底底片以手手動定PPIN對對位後，送送入機台台面， 吸真空空後曝光光。 B.自動曝曝機一般般含Looadiing/unlloaddingg，須於於板子外外框先做做好工具具孔，做做初步定定 位再再由機台台上之CCCD，CChecck底片片與孔的的對位狀狀況，並並做微調調後入曝曝光區曝曝光。依依目前的的精密須須求程度度，不以以視覺機機器自動動對位，恐恐怕做不不到好品品質的 板子。 C. 如何量測及評估曝光機的平行度:定義:從
6、平行度(collimate)字面的意思就是使直向行進，而從光的眼光而言則是讓光行進同時垂直於照射面。圖8.3是平行光與非平行光之比較.平行行度的影影響:而而研判平平行直進進的方法法有兩個個值可供供參考，平平行羊角角 (CColllimaate Hallf AAnglle)及及偏斜(DecclinnatiionAAnglle)。此此二值可可大略判判斷 曝曝光機的的平行度度及曝光光可能造造成的側側向偏移移，也因因此若使使用非平平行曝光光機 曝曝光其影影像會有有偏料及及底部側側向顯像像的問題題。量測方方法及工工具: 一般量量測平行行度的方方法是用用一種叫叫平行度度像機(Colllimmatiion
7、Cammeraa)其量量測方式式是以此此工具置置於感光光紙或感感光物上上曝光，之之後再量量偏移度度，其示示意圖如如下（圖圖8.44(a,b)）:D. 非平平行光與與平行光光的差異異，平行行光可降降低Unnderr-Cuut。 其差異異點，可可見圖88.5，顯顯影後的的比較。做做細線路路(4mmil以以下)非非得用平平行光之之 曝光光機。E.另有一一種LDDI(LLaseer DDireect Imaaginng)鐳鐳射直接接感光之之設備與與感光方方式。是是利用特特殊之感感光膜ccoattingg在板面面，不須須底片直直接利用用鐳射掃掃描曝光光。其細細線可做做 到22mill以內，利利用多bbe
8、amm方式118inn24iin的板板子，已已有號稱稱曝光時時間僅330秒。8.2.3.22 作業業注意事事項A. 偶氮氮棕片的的使用手手動曝光光因仰賴賴人目視視對位，因因此棕片片是有必必要的，但但自動曝曝光機由由機器負負 責對對位所以以一般黑黑白底片片即可。棕棕片的壽壽命較短短BB. 能能量的設設定 曝曝光機中中有光能能量之累累積計算算器，光光能量子子 (以以焦耳或或毫焦耳耳為單位位)是指指 光強強度（瓦瓦特或毫毫瓦特）與與時間的的乘積，即即 milli - Jooulee = milli WWattt Seec. 焦耳瓦特秒曝光機機上有可可以調動動的光能能量數字字鍵，並並有測光光強度之之裝
9、置，當當設定某某一光 能量數數字後即即可做定定能量之之曝光，每每當光源源紫外燈燈老化而而光強度度衰減時時，該設設定系統統即會自自動延長長時間以以達到所所需的光光能量。 定期以以Phhotoometter 或Raddiommeteer做做校正工工作。C. Sttouffferr 211 Sttep Tabblett SStouuffeer 221 sstepp taableet是IIN-pproccesss監測曝曝光顯像像後的條條件是否否正常，見見圖8.6。 它是放放於板邊邊與正常常板一樣樣曝光，停停置及顯顯像後，其其21格格上之乾乾膜殘留留有顏色色漸淡，至至完全露露銅的變變化，最最重要視視其已
10、顯顯像及仍仍殘存板板面之交交界是落落 於第第幾格。一一般標準準是810格格，Foolloow各廠廠牌所給給的Daata Sheeet。D. 吸真空空的重要要 非平平行光的的作業中中，吸真真空的程程度是影影響曝光光品質的的重大因因素。因因底片與與膜面有有間隙會會擴大uundeer-ccut。一一般判斷斷貼緊程程度是從從光罩上上之Myylarr面出現現的 牛牛頓環(NewwtonnRinng)的的狀況，以以手碰觸觸移動，若若牛頓環環並不會會跟著移移動，則則 表吸吸真空良良好。手手動作業業，時常常作業員員尚要以以刮刀刀輔助助刮除空空氣，此此小動作作事實上上極易影影響對位位及底片片的壽命命。平行行光源
11、則則此問題題可降至至最低。E. 對位對於自動曝光機來說，偏位不是不問題，只要評估好設備的製程能力以及維 護工作底片的準確度即可，但手動曝光機作業影響對準度的變數就很多： PIN孔大小的選擇 上製程通孔電鍍的厚度分析 孔位準確度 底片套板的方式 人目視誤差上述僅舉常見因素，各廠應就產品層次來提升乾膜作業的製程能力。F. 靜置曝光後板子須問隔板置放1015分鐘讓吸收UV能量後的resist Film聚合更完全。G.高強度的UV光對細線路而言是十分重要的，因為所有的光阻都含有遮蔽劑(Inhibitor)，而此遮蔽劑遇UV光時會在數秒內大量消耗。因此如果用弱光曝光，則須用較長時間來達到必須的能量，如此
12、有較多的時間讓未見光區的遮蔽劑擴散至曝光區，如此只要有一點折光或散射就會形成聚合，產生殘膠顯影不 潔等問題。因此使用強光曝光機有助於細線的製作，有殘膠並不是代表只是顯影不潔或水洗不良的問題。一般而言5mW/cm2能量密度對一般的線路已有不錯的效果，如果要有更佳的解析度則高一些的光強度有助於改善之。H.影響解析度的因子互動關係有:(I)曝光時間長短(2)未曝光區遮蔽劑的量 (3)散射折射光的多少.其中第二項是來自供應商的調配較無法調整，第(1)項可考慮控制光強度來改善其品質，第(3)項則使用平行曝光機及加強曝光前真空作業會有幫助.8.2.4. 顯像DDeveeloppingg8.22.4.1槽液
13、液成份及及作業條條件溶液液配方之碳酸酸鈉（重重量比）溫度30 +_2 噴壓 1520 PSI水洗2729，水壓40 PSIpH 10.5 10.7，Break point 5070% Auto dosing8.2.4.22作業注注意事項項A. 顯像是把把尚未發發生聚合合反應的的區域用用顯像液液將之沖沖洗掉，已已感光部部份則因因已發生生聚合反反應而洗洗不掉仍仍留在銅銅面上成成為蝕刻刻或電鍍鍍之阻劑劑膜。注注意在顯顯像前不不可忘記記把表面面玻璃紙紙撕掉。B. 顯像像點Brreakk poointt ( 從設備備透明外外罩看到到已經完完全顯現現出圖樣樣的該點點的距 離稱之之)應落落於500700%間
14、，不不及,銅銅面有sscunn殘留,太過,則線邊邊有膜屑屑或 uundeercuut過大大. 最最好有自自動添加加系統(autto-ddosiing).另外外噴灑系系統設計計良否也也會影響響顯像點點.可參參考表88.1(本表僅僅供參考考) CC.顯像像良好的的側壁應應為直壁壁式者，顯顯像不足足時容易易發生膜膜渣(SScumm) 造造成蝕刻刻板的短短路、銅銅碎、及及鋸齒突突出之線線邊，顯顯像機噴噴液系統統之過濾濾不良時時也會造造成此種種缺點。檢檢查Sccum的的方法可可用之氯化化銅溶液液(Cuupriic CChlooridde CCuCll 2) 或氯氯化銨溶溶液浸泡泡， 若若銅面上上仍有鮮鮮
15、亮的銅銅色時，即即可判斷斷有Sccum殘殘留，D. 顯像像完成板板子切記記不可疊疊放,須須用Raack插插立.8.3. 乾膜膜環境的的要求線路路板之細細線及高高密度要要求漸嚴嚴，其成成功的契契機端賴賴各種精精密的控控制。乾乾膜 轉轉移影像像之精準準除了上上述各種種生產技技術外，環環境的完完善也占占有很大大的比重重。A. 首先要要注意到到的是無無塵室(Cleean Rooom) 的建立立，一般般常說的的無塵室室是以 美國聯聯邦標準準Fedd. SSTD 2099做為分分級的規規範，是是以每立立方呎的的空氣中中 所含含大於00.5微微米的塵塵粒之數數目(PPPCFF) 作作為分級級的，可可分為三三級，見見表三三者間之之維
