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1、PVD*欧阳光明*创编2023.03.07简介欧阳光明2023.03.071. PVD 的含义 PVD 是英文 Physical Vapor Deposition 的缩写，中文意思是“物理气相沉积”，是指在真空条件下，用物理的方法使材料沉积在被 镀工件上的薄膜制备技术。2. PVD 镀膜和 PVD 镀膜机 PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。对应于 PVD 技术的三个分类，相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种。近十多年来，真空离子镀膜技术的进展是最快的，它已经成为 当今最先进的外表处理方式之一。我们通常所说
2、的 PVD 镀膜 ，指的就是真空离子镀膜；通常所说的 PVD 镀膜机，指的也就是真空离子镀膜机。*欧阳光明*创编2023.03.07*欧阳光明*创编2023.03.073. PVD 镀膜技术的原理 PVD 镀膜离子镀膜技术，其具体原理是在真空条件下，承受低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反响产物沉积在工件上。4. PVD 镀膜膜层的特点 承受 PVD 镀膜技术镀出的膜层，具有高硬度、高耐磨性低摩擦系数、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点，膜层的寿命更 长；同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能。5. PVD
3、镀膜能够镀出的膜层种类 PVD 镀膜技术是一种能够真正获得微米级镀层且无污染的环保型外表处理方法，它能够制备各种单一金属膜如铝、钛、锆、铬等), 氮化物膜 TiN、ZrN、CrN、TiAlN和碳化物膜 TiC、TiCN),以及氧化物膜如 TiO 等)。6. PVD 镀膜膜层的厚度 PVD 镀膜膜层的厚度为微米级，厚度较薄，一般为 0.3m 5m，其中装饰镀膜膜层的厚度一般为 0.3m 1m ，因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的状况下提高工件外表的各种物理性能和化学性能，镀后不须再加工。*欧阳光明*创编2023.03.077. PVD 镀膜能够镀出的膜层的颜色种类 PVD 镀膜目前能够做出的膜层
4、的颜色有深金黄色，浅金黄色， 咖啡色，古铜色，灰色，黑色，灰黑色，七彩色等。通过掌握镀膜过程中的相关参数，可以掌握镀出的颜色；镀膜完毕后可以用相关的仪器对颜色进展测量，使颜色得以量化，以确定镀出的颜色是否满足要求。8. PVD 镀膜与传统化学电镀水电镀的异同PVD 镀膜与传统的化学电镀的一样点是，两者都属于外表处理的范畴，都是通过肯定的方式使一种材料掩盖在另一种材料的表 面。两者的不同点是：PVD 镀膜膜层与工件外表的结合力更大，膜层的硬度更高，耐磨性和耐腐蚀性更好，膜层的性能也更稳定； PVD 镀膜不会产生有毒或有污染的物质。9. PVD 镀膜技术目前主要应用的行业PVD 镀膜技术的应用主要
5、分为两大类：装饰镀膜和工具镀膜。装饰镀的目的主要是为了改善工件的外观装饰性能和色泽同时使工件更耐磨耐腐蚀延长其使用寿命；这方面主要应用五金行业的各个领域，如门窗五金、锁具、卫浴五金等行业。工具镀的目的主要是为了提高工件的外表硬度和耐磨性，降低外表的摩擦系数，提高工件的使用寿命；这方面主要应用在各种刀剪、车削刀具如车刀、刨刀、铣刀、钻头等等、各种五金工具如螺丝刀、钳子等、各种模具等产品中。10. PVD 镀膜离子镀膜技术的主要特点和优势和真空蒸发镀膜真空溅射镀膜相比较， PVD 离子镀膜具有如下优点：1 膜层与工件外表的结合力强，更加长久和耐磨2 离子的绕射性能好，能够镀外形简单的工件3 膜层沉
6、积速率快，生产效率高4 可镀膜层种类广泛5 膜层性能稳定、安全性高获得FDA 认证，可植入人体 真空蒸发镀膜 真空溅射镀膜 真空离子镀膜 三种镀膜方式的比比较工程真空蒸发镀膜真空溅射镀膜真空离子镀膜压强133Pa10E-510E-60.150.020.020.005中性0.11eV110eV0.11eV粒子能量较离子沉 淀 速 率 微 米/数百到数千0.1700.010.50.150分绕射性差较好好附着力量不太好较好很好*欧阳光明*创编2023.03.07薄膜致密性密度低密度高密度高薄膜中的气孔低温时较多少少内应力拉应力压应力压应力PVD 镀膜 ( 离子镀膜 ) 技术和设备常见问题解答Q1:请
7、问什么是PVD？ A1: PVD 是英文 Physical Vapor Deposition 的缩写，中文意思是“物理气相沉积”，是指在真空条件下，用物理的方法使材料沉积在被 镀工件上的薄膜制备技术。Q2:请 问 什 么 是 PVD镀 膜 ？ 什 么 是 PVD镀 膜 机 ？ A2: PVD(物理气相沉积)技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。相对于 PVD 技术的三个分类，相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。近十多年来，真空离子镀技术的进展是最快的，它已经成为了当代最先进的外表处理方法之一。 我们通常所说的 PVD 镀膜，指的就是真空
8、离子镀膜；通常所说的 PVD 镀膜机，指的也就是真空离子镀膜机。Q3: 请 问 PVD 镀 膜 的 具 体 原 理 是 什 么 ？ A3: 离子镀膜PVD 镀膜技术，其原理是在真空条件下，承受低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质电离，在电场的作用下，使被蒸发物质或其反响产物沉积在工件上。*欧阳光明*创编2023.03.07*欧阳光明*创编2023.03.07Q4: 请问 PVD 镀膜与传统的化学电镀水电镀相比有何优点？ A4: PVD 镀膜与传统的化学电镀的一样点是，两者都属于外表处理的范畴，都是通过肯定的方式使一种材料掩盖在另一种材料的表 面。两者的不同点是：P
9、VD 镀膜膜层与工件外表的结合力更大，膜层的硬度更高，耐磨性和耐腐蚀性更好，膜层的性能也更稳定； PVD 镀膜可以镀的膜层的种类更为广泛，可以镀出的各种膜层的颜色也更多更秀丽；PVD 镀膜不会产生有毒或有污染的物质。Q5:请 问PVD镀 膜 能 否 代 替 化 学 电 镀 ？ A5: 在现阶段，PVD 镀膜是不能取代化学电镀的，并且除了在不锈钢材料外表可直接进展 PVD 镀膜外，在很多其他材料如锌合金、铜、铁等的工件上进展 PVD 镀膜前，都需要先对它们进展化学电镀 Cr(铬)。PVD 镀膜主要应用在一些比较高档的五金制品上，对那些价格较低的五金制品通常也只是进展化学电镀而不做PVD 镀膜。Q
10、6:请 问 采 用 PVD镀 膜 技 术 镀 出 的 膜 层 有 什 么 特 点 ？ A6: 承受 PVD 镀膜技术镀出的膜层，具有高硬度、高耐磨性低摩擦系数、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点，膜层的寿命更 长；同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能。*欧阳光明*创编2023.03.07Q7: 请 问 PVD 能 在 镀 在 什 么 基 材 上 ？ A7: PVD 膜层能直接镀在不锈钢以及硬质合金上，对锌合金、铜、铁等压铸件应先进展化学电镀铬，然后才适合镀PVD。Q8: 请 问 PVD 镀 膜 能 够 镀 出 的 膜 层 种 类 有 那 些 ？ A8: PVD 镀膜技术是一种能够真正获得微米
11、级镀层且无污染的环保型外表处理方法，它能够制备各种单一金属膜如铝、钛、锆、铬等、氮化物膜TiN钛金、ZrN锆金、CrN、TiAlN和碳化物膜TiC、TiCN，以及氧化物膜如 TiO 等。Q9: 请 问 PVD 镀 膜 膜 层 的 厚 度 是 多 少 ？ A9: PVD 镀膜膜层的厚度为微米级，厚度较薄，一般为 0.1m 5m，其中装饰镀膜膜层的厚度一般为 0.1m1m，因此可以在几乎不影响工件原来尺寸的状况下提高工件外表的各种物理性能和化学性能，并能够维持工件尺寸根本不变，镀后不须再加工。Q10:请 问 PVD镀 膜 能 够 镀 出 的 膜 层 的 颜 色 有 哪 些 ？ A10: 我们目前能
12、够做出的膜层的颜色有深金黄色，浅金黄色，咖啡色，古铜色，灰色，黑色，灰黑色，七彩色等。通过掌握镀膜过程中的相关参数，可以掌握镀出的颜色；镀膜完毕后可以用相关的仪器对颜色值进展测量，使颜色得以量化，以确定所镀出的颜色是否满足要求。Q11:请 问 目 前 PVD镀 膜 技 术 主 要 应 用 在 哪 些 行 业 ？A11: PVD 镀膜技术的应用主要分为两大类：装饰镀和工具镀。装饰镀的目的主要是为了改善工件的外观装饰性能和色泽同时使工件更耐磨耐腐蚀延长其使用寿命；这方面主要应用五金行业的各个领域，如门窗五金、锁具、卫浴五金等行业。工具镀的目的主要是为了提高工件的外表硬度和耐磨性，降低外表的摩擦系数
13、，提高工件的使用寿命；这方面主要应用在各种刀剪、车削刀具如车刀、刨刀、铣刀、钻头等等等产品中。Q12:请 问PVD镀 膜 的 成 本 是 不 是 很 高 ？ A12: 虽然使用 PVD 镀膜技术能够镀出高品质的膜层，但是 PVD 镀膜过程的本钱其实并不高，它是一种性价比格外高的外表处理方 式，所以近年来 PVD 镀膜技术进展得格外快。PVD 镀膜已经成为五金行业外表处理的进展方向。Q13:请 问 PVD镀 膜 设 备 主 要 由 哪 几 部 分 组 成 ？ A13: PVD 镀膜设备主要由真空腔体、真空抽气机组、水冷系统、电源系统、掌握系统等几大局部组成。Q14: 请问真空腔体和真空抽气机组对
14、 PVD 镀膜设备来说很重要吗？A14: 两者都很重要，他们在很大程度上打算了 PVD 镀膜设备运行的稳定性和使用寿命。真空腔体所承受的材料的质量、腔体的厚 度、腔体的水冷方式、腔体焊接方式和组装的气密性、腔体材料的放气率等对镀膜质量都有很大影响；真空抽气机组的抽气速率的稳定性、在不同真空度下的抽气力量以及真空抽气机组的故障率对整*欧阳光明*创编2023.03.07个镀膜系统的性能及连续运转力量的影响也格外大。所以这两者对PVD 镀膜设备来说都很重要。1. PVD 的含义 PVD 是英文 Physical Vapor Deposition 的缩写，中文意思是“物理气相沉积”，是指在真空条件下，用物理的方法使材料沉积在被 镀工件上的薄膜制备技术。2. PVD 镀膜和 PVD 镀膜机 PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜。对应于 PVD 技术的三个分类，相应的真空镀膜设备也就有真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机这三种。近十多年来，真空离子镀膜技术的进展是最快的，它已经成为 当今最先进的外表处理方式之一。我们通常所说的 PVD 镀膜 ，指的就是真空离子镀膜；通常所说的 PVD 镀膜机，指的也就是真空离子镀
