原子力显微镜

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1、原子力显微镜一、实验目的1 了解原子力显微镜的工作原理2 掌握用原子力显微镜进行表面观测的方法二、实验原理1. AFM 基本原理 原子力显微镜的工作原理就是将探针装在一弹性微悬臂的一端，微悬臂的另 一端固定，当探针在样品表面扫描时，探针与样品表面原子间的排斥力会使得微 悬臂轻微变形，这样，微悬臂的轻微变形就可以作为探针和样品间排斥力的直接 量度。一束激光经微悬臂的背面反射到光电检测器，可以精确测量微悬臂的微小 变形，这样就实现了通过检测样品与探针之间的原子排斥力来反映样品表面形貌 和其他表面结构。在原子力显微镜的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、 反馈系统。如图一显示。1）力检

2、测部分 在原子力显微镜系统中，所要检测的力是原子与原子之间的 范德华力。使用微悬臂来检测原子之间力的变化量。如图 2 所示，微悬臂通常由 一个一般100500m长和大约500nm5m厚的硅片或氮化硅片制成。微悬臂 顶端有一个尖锐针尖，用来检测样品针尖间的相互作用力。（2）位置检测部分 在原子力显微镜系统中，当针尖与样品之间有了作用之 后，会使得悬臂摆动，所以当激光照射在微悬臂的末端时，其反射光的位置也会 因为悬臂摆动而有所改变，这就造成偏移量的产生。在整个系统中是依靠激光光 斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号，以供 SPM 控制器作信号处理。 聚焦到微悬臂上面的激光反射到激光位置检测器

3、，通过对落在检测器四个象限的 光强进行计算，可以得到由于表面形貌引起的微悬臂形变量大小，从而得到样品 表面的不同信息。（3）反馈系统 在原子力显微镜系统中，将信号经由激光检测器取入之后， 在反馈系统中会将此信号当作反馈信号，作为内部的调整信号，并驱使通常由压 电陶瓷制作的扫描器做适当的移动，以保持样品与针尖保持一定的作用力。2. AFM 有三种不同的工作模式 : 接触模式 （ contact mode） 、非接触模式 （noncontact mode）和共振模式或轻敲模式（Tapping Mode）。（1）接触模式：从概念上来理解，接触模式是AFM最直接的成像模式。AFM在整个扫描成像 过程之

4、中，探针针尖始终与样品表面保持亲密的接触，而相互作用力是排斥力。 扫描时，悬臂施加在针尖上的力有可能破坏试样的表面结构，因此力的大小范围 在 10 - 10 10 - 6 N 。 若样品表面柔嫩而不能承受这样的力，便不宜选用接 触模式对样品表面进行成像。（2）非接触模式非接触模式探测试样表面时悬臂在距离试样表面上方 510nm 的距离处振 荡。 这时，样品与针尖之间的相互作用由范德华力控制，通常为 10 - 12 N ， 样品不会被破坏，而且针尖也不会被污染，特别适合于研究柔嫩物体的表面。 这 种操作模式的不利之处在于要在室温大气环境下实现这种模式十分困难。因为样 品表面不可避免地会积聚薄薄的

5、一层水，它会在样品与针尖之间搭起一小小的毛 细桥，将针尖与表面吸在一起，从而增加尖端对表面的压力。（3）敲击模式在敲击模式中，一种恒定的驱使力使探针悬臂以一定的频率振动。当针尖刚 接触样品时，悬臂振幅会减少到某一数值。在扫描过程中，反馈回路维持悬臂振 幅在这一数值恒定，亦即作用在样品上的力恒定，通过记录压电陶瓷管的移动得 到样品表面形貌图。对于接触模式，由于探针和样品间的相互作用力会引起微悬 臂发生形变，也就是说微悬臂的形变作为样品和针尖相互作用力的直接度量。同 上述轻敲式，反馈系统保持针尖样品作用力恒定从而得到表面形貌图。原子力显微镜是用微小探针“摸索”样品表面来获得信息，所以测得的图像 是

6、样品最表面的形貌，而没有深度信息。扫描过程中，探针在选定区域沿着样品 表面逐行扫描。实验扫描的是光栅，纳米铜微粒以及纳米微粒，选用的是轻敲式。敲击模式优点：敲击模式在一定程度上减小样品对针尖的粘滞现象，因为 针尖与样品表面接触时，利用其振幅来克服针尖样品间的粘附力。并且由于敲 击模式作用力是垂直的，表面材料受横向摩擦力和剪切力的影响都比较小，减小 扫描过程中针尖对样品的损坏。所以对于较软以及粘性较大的样品，应选用敲击 模式。三、实验仪器激光器、高压电源、控制机箱、电脑rarij11)样品台高压电源控制机箱就光电源四、实验内容1、依次开启：电脑-控制机箱-高压电源-激光器。2、用粗调旋钮将样品逼

7、近微探针至两者间距1 mm。3、再用细调旋钮使样品逼近微探针：顺时针旋细调旋钮，直至光斑突然向 PSD 移动。4、缓慢地逆时针调节细调旋钮并观察机箱上反馈读数：Z反馈信号约稳定 在250 左右（不单调增减即可），就可以开始扫描样品。5、读数基本稳定后，打开扫描软件，开始扫描。6、扫描完毕后，逆时针转动细调旋钮退样品，细调要退到底。再逆时针转 动粗调旋钮退样品，直至下方平台伸出 1 厘米左右。7、实验完毕，依次关闭：激光器-高压电源-控制机箱。8、处理图像，得到尺寸。五、数据记录与处理 1、实验中测了两个样品，首先测得是铜样品。二维表面扫描：r4000k3000k20UU1000I11, Q01

8、DOO20003000J000 nm计算机处理后的三维表面图：粗糙度Ra: 15.8 nm ; Ry: 115.0 nm ; Rz: 115.0 nm扫描范围 X: 4000 nm ; Y: 4000 nm 图像大小 X: 400 pixel ; Y: 400 pixel2、第二个样品为透明导电氧化铟薄膜(Indium tin oxide, ITO)二维表面扫描：计算机处理后的三维表面图：軒定in40lIBi图像大小：400X400象素扫描范围： X： 4000 nm ； Y： 4000 nm粗糙度 Ra： 3.1 nm ； Ry： 47.4 nm ； Rz： 47.4 nm从上述两个实验结果

9、所测量的图貌不难看出，AFM扫描出的图形能直接看出 样品的表面结构。从三维图像中物 体的起伏情况可以看出样品表面各区域的粗糙 度。在实验过程中，因为AFM的针尖是整个仪器最脆弱的部分，一碰即断，所以 应该防止一切物体与针尖直接接触，只要注意在装样品和粗调时不要碰到尖针即 可。在装样品时维持样品表面的清洁，否则测量的图不清晰。此外，桌面的震动 会使扫描的图形出现一条缝。由于实验采用的是接触模式，周围环境的震动会影 响图形的的测量结果，因而开始扫描后尽量保持实验桌的稳定，否则过大的震动 会破坏图形。六、思考题1、AFM 探测到的原子力的由哪两种主要成分组成？答：一种是在探针与样品间的距离比较大时表

10、现出的吸引力，即范德瓦耳斯 力；另一种是电子云重叠产生的排斥相互作用，当距离比较近时，此时由于电子 云重叠，会产生排斥相互作用，它比范德瓦耳斯力随 d 的变化大得多，这时表现 为排斥力。2、怎样使用AFM-IIa和CCD光学显微镜，才能较好地保护探针？答：实验中调节时要集中注意力，粗调时要慢慢均与地调，看好探针和样品 的接触距离，不要让指针压迫样品，大约 1mm 时即停止；细调时，要时刻注意 光斑的位置，当光斑移动后即刻停止顺时针转动，再逆时针回调到合适位置。另 外，扫描过程中要保证探针不产生破坏性形变。3、原子力显微镜有哪些应用？答：原子力显微镜可以用于研究金属和半导体的表面形貌、表面重构、

11、表 面电子态及动态过程,超导体表面结构和电子态层状材料中的电荷密度等。 原子力显微镜可以用来进行高分子材料纳米机械性能的研究在接触式 AFM 中以不同的力扫描样品可以得到样品机械性能的信息。高分子材料弹性 模量的变化范围从几MPa到几GPa，这就需要根据样品的不同性质来选样低力 或高力对样品成像。 另外原子力显微镜在摩擦学中的有许多应用，如纳米摩擦、纳米润滑、纳 米磨损、纳米摩擦化学反应和机电纳米表面加工等。 AFM也是研究生物大分子强有力的工具。生物大分子不同于一般高分子 聚合物它在生物体中多以单个分子存在，因此容易得到单个分子的形貌图像， 单个生物分子的三维形貌及动力学性质研究对解释生命现

12、象有不可估量的作用.如今人们用AFM研究各种生物分子，如DNA、蛋白质、抗原抗体分子及其 他一些重要分子。4、与传统的光学显微镜、电子显微镜相比，扫描探针显微镜的分辨本领主 要受什么因素限制？答：传统的光学显微镜和电子显微镜存在衍射极限，只能分辨光波长或 电子波长以上线度的结构。扫描探针显微镜的分辨本领主要取决于:探测器PSD对光斑位置的灵敏度; 探针针尖的尺寸；悬臂的长度和激光光线的长度之比；微悬臂的弹性系数，弹性 系数越低， AFM 越灵敏。对于分辨率一定的图像，扫描范围越小，获得的表面 形貌越精细。5、要对悬臂的弯曲量进行精确测量，除了在AFM中使用光杠杆这个方法外， 还有哪些方法可以达到相同数量级的测量精度？答：除了光杠杆以外，还可采用自差法，外差法干涉法等，这都属于光学检 测法。此外还可以采用电学方法，主要包括隧道电流检测法电容检测法。隧道电流法根据隧道电流对电极间距离非常敏感的原理，将SIM用的针尖置 于微悬臂的背面作为探测器，通过针尖与微悬臂间产生的隧道电流的变化就可以 检测由于原子间相互作用力令微悬臂产生的形变。电容法通过测量微悬臂与一参考电极间的电容变化来检测微悬臂产生的形变。