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19)中华人民共和国国家知识产权局(12 )发明专利说明(10)申请公布号CN107523793B(43)申请公布日2019.06.07(21)申请号 CN201710728956.7(22)申请日 2017.08.23(71)申请人 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司地址100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号(72)发明人 胡长奇;郭书鹏;王梦帝(74)专利代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司代理人 郭润湘(51)Int.CI权利要求说明书 说明书 幅图一种金属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法 (57)摘要本发明涉及蒸镀技术领域，公开了一种金 属锂蒸发装置、蒸镀设备及金属锂蒸发方法，该 金属锂蒸发装置中包括：开孔组件，开孔组件包 括针体支撑板、安装于针体支撑板且与蒸发孔一 一对应的开孔针；当针体支撑板处于第一工位 时，每一个开孔针穿过对应的蒸发孔伸入至蒸发 坩埚内以插入至蒸发坩埚内的金属锂内，当针体 支撑板处于第二工位时，每一个开孔针自蒸发坩 埚内脱离；用于驱动针体支撑板动作的第一驱动
