步进化:从沙子到芯片看看处理器是怎样炼成的

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1、可以说,中央处理器(CPU)是现代社会飞速运转的动力源泉,在任何电子设备上都可以找到微芯片的身影,不过也有人不屑一顾,认为处理器这东西没什么技术含量,不过是一堆沙子的聚合而已。是么?Intel今天就公布了大量图文资料,详细展示了从沙子到芯片的全过程,简单与否一看便知。简单地说,处理器的制造过程可以大致分为沙子原料(石英)、硅锭、晶圆、光刻(平版印刷)、蚀刻、离子注入、金属沉积、金属层、互连、晶圆测试与切割、核心封装、等级测试、包装上市等诸多步骤,而且每一步里边又包含更多细致的过程。下边就图文结合,一步一步看看:沙子:硅是地壳内第二丰富的元素,而脱氧后的沙子(尤其是石英)最多包含25的硅元素,以

2、二氧化硅(SiO2)的形式存在,这也是半导体制造产业的基础。硅熔炼:12英寸/300毫米晶圆级,下同。通过多步净化得到可用于半导体制造质量的硅,学名电子级硅(EGS),平均每一百万个硅原子中最多只有一个杂质原子。此图展示了是如何通过硅净化熔炼得到大晶体的,最后得到的就是硅锭(Ingot)。单晶硅锭:整体基本呈圆柱形,重约100千克,硅纯度99.9999。第一阶段合影硅锭切割:横向切割成圆形的单个硅片,也就是我们常说的晶圆(Wafer)。顺便说,这下知道为什么晶圆都是圆形的了吧?晶圆:切割出的晶圆经过抛光后变得几乎完美无瑕,表面甚至可以当镜子。事实上,Intel自己并不生产这种晶圆,而是从第三方

3、半导体企业那里直接购买成品,然后利用自己的生产线进一步加工,比如现在主流的45nm HKMG(高K金属栅极)。值得一提的是,Intel公司创立之初使用的晶圆尺寸只有2英寸/50毫米。第二阶段合影念光刻荐胶斯(P折ho耗to碧 R钢es蛛is请t)求:图捎中蓝测色部移分就蛋是在守晶圆壳旋转铸过程盆中浇萄上去少的光抹刻胶柳液体丑,类灾似制基作传亲统胶量片的均那种追。晶擦圆旋铲转可恐以让装光刻娃胶铺逐的非舅常薄润、非歉常平来。霸光刻坟:页光刻杜胶层低随后外透过争掩模飘(M壮as沉k)乱被曝萄光在笼紫外社线伤(U友V)朗之下退,变惯得可雨溶,另期间曾发生自的化站学反密应类拨似按逆下机蛾械相记机快恶门那

4、档一刻观胶片就的变趋化。毫掩模姜上印崖着预筛先设布计好铃的电度路图尝案,踩紫外签线透馅过它堂照在拍光刻虹胶层上上,灾就会愉形成湾微处副理器终的每西一层减电路渔图案强。一今般来杯说,晚在晶菠圆上屈得到有的电名路图霞案是店掩模午上图握案的舟四分拥之一追。承光刻厅:由魂此进蝴入诱50竖-2纹00绝纳米搞尺寸荡的晶叮体管商级别呈。一露块晶蚕圆上丹可以匪切割后出数淹百个衔处理欧器,瓦不过强从这沾里开诊始把私视野竟缩小假到其港中一凳个上食,展施示如巧何制参作晶堂体管乒等部法件。证晶体播管相匠当于凤开关玻,控凯制着掩电流岁的方养向。搞现在色的晶肺体管扬已经偏如此付之小增,一翻个针蔬头上芝就能并放下私大约别3

5、0复00峰万个岭。降第三管阶段姿合影火溶解挠光刻择胶汤:光常刻过唇程中果曝光领在紫棒外线忽下的其光刻仪胶被茂溶解渡掉,添清除芹后留晒下的封图案请和掩灾模上葬的一真致。值蚀刻杰:使狭用化部学物绘质溶粱解掉随暴露雄出来桐的晶拢圆部量分,猾而剩铃下的储光刻怒胶保枕护着累不应余该蚀泳刻的岔部分生。得清除卫光刻汤胶像:蚀愈刻完朵成后针,光元刻胶勒的使总命宣鞠告完党成,直全部偏清除帮后就便可以杜看到搭设计归好的懒电路尝图案姜。龙第四洗阶段役合影晃光刻岂胶健:再宿次浇胁上光烦刻胶痕(饥蓝色忆部分英)阵,然适后光鼠刻,爸并洗队掉曝让光的熊部分忙,剩妹下的践光刻绝胶还帮是用兰来保傍护不语会离尘子注据入的虑那部精

6、分材收料。要离子孤注入住(I出on驶 I糊mp摩la无nt寒at锄io浅n)释:在胖真空醒系统篇中,甚用经宜过加晨速的驱、要恋掺杂任的原稍子的侨离子闯照射雕(套注入婚)湾固体樱材料阵,从辈而在宿被注气入的槐区域湾形成尖特殊剪的注松入层搂,并湾改变恋这些芝区域棒的硅趣的导缴电性馋。经报过电亚场加他速后键,注落入的确离子恭流的情速度漠可以社超过捞30丈万千某米每纪小时帽。叔清除鞋光刻需胶碰:离任子注悲入完零成后魄,光昌刻胶擦也被转清除攻,而具注入禁区域衣(穷绿色愿部分古)前也已三掺杂毅,注劈入了盐不同蜓的原絮子。逢注意牧这时私候的馒绿色档和之躁前已然经有唱所不贝同。咱第五赚阶段地合影罩晶体糖管就尝

7、绪挽:至肥此,才晶体花管已么经基界本完种成。描在绝党缘材围(慰品红军色岩)城上蚀熟刻出计三个雹孔洞束,并唉填充蹄铜,跳以便峰和其悬它晶度体管湿互连啄。丈电镀线:在拾晶圆惨上电晨镀一蔬层硫能酸铜跌,将肯铜离粱子沉睬淀到骨晶体惜管上淹。铜盯离子虹会从秀正极冒(揉阳极叹)帖走向介负极卡(遍阴极候)倦。汉铜层霸:电庙镀完遥成后批,铜听离子秩沉积斜在晶攀圆表沫面,尤形成抹一个饼薄薄钱的铜梦层。枣第六揪阶段导合影鲜抛光附:将陵多余报的铜贱抛光臣掉,粘也就位是磨痕光晶吼圆表观面。怠金属刺层刷:晶拌体管盟级别秧,六两个晶喜体管轻的组传合,柳大约擦50争0痒纳米暖。在肝不同哄晶体削管之俊间形朽成复犁合互丈连金权

8、属层边,具秧体布歉局取舰决于苗相应味处理呆器所筋需要金的不梳同功掌能性著。芯凑片表赔面看道起来贫异常碑平滑细,但肚事实刘上可盯能包泻含遮20谎多层盐复杂跑的电暴路,广放大悦之后医可以匠看到马极其邮复杂石的电芹路网乓络,但形如蚂未来课派的什多层瓶高速废公路雷系统歌。摇第七封阶段却合影卸晶圆拼测试硬:内萝核级泛别,双大约夕10甩毫米格/0葬.5悔英寸蜻。图崇中是倾晶圆影的局勤部,洗正在昂接受聚第一帜次功陆能性怒测试各,使辽用参补考电押路图焦案和趣每一鸦块芯晓片进超行对谢比。唉晶圆互切片敢(S竭li供ci之ng臂)灯:晶遮圆级脖别,钳30蚊0咳毫米愈/1遵2稻英寸听。将膏晶圆址切割穷成块反,每仿一块

9、读就是明一个厨处理河器的谊内核眯(D爹ie益)著。阻丢弃喝瑕疵坦内核市:晶绳圆级华别。佳测试炭过程称中发婚现的凶有瑕伶疵的合内核草被抛槐弃,浩留下汽完好符的准称备进扑入下脖一步势。箭第八锤阶段谦合影堵单个欧内核驼:内互核级厅别。武从晶陷圆上测切割担下来吃的单珠个内售核,垒这里留展示晃的是摸Co中re浪 i梨7赵的核甜心。跃封装芹:封凳装级图别,询20索毫米预/1醒英寸返。掠衬底丝(笑基片储)侨、内善核、剃散热被片箭堆叠掉在一辅起,祸就形愿成了撒我们堵看到猾的处么理器麦的样睛子。恨衬底弃(济绿色沸)狂相当握于一丈个底姑座,严并为谢处理扭器内酿核提痰供电好气与怕机械家界面责,便宜于与麦PC演系统谦

10、的其土它部酒分交灯互。键散热叉片赌(铲银色浮)危就是违负责旁内核逃散热起的了各。燕处理哈器专:至徒此就旅得到搞完整扔的处诉理器奉了坛(瞒这里彩是一坏颗悠Co章re柿 i套7)候。这迅种在素世界弓上最骗干净穷的房浸间里瞎制造脂出来紧的最票复杂冰的产伶品实两际上农是经垫过数种百个犁步骤衰得来破的,迅这里馆只是融展示砖了其和中的烧一些是关键深步骤尤。炭第九逆阶段搁合影怎等级器测试桥:最腹后一井次测浇试,帅可以朵鉴别嫩出每蚀一颗比处理榆器的酒关键有特性仗,比怎如最肚高频驼率、邻功耗患、发毛热量时等,嗓并决毯定处留理器苹的等藏级,兽比如脏适合罪做成撞最高艺端的否Co偷re弃 i壤7-满97在5 哨Ex出tr葛em数e具,还跑是低交端型仙号布Co且re脆 i旷7-宇92优0齿。勤装箱辽:根愿据等秆级测查试结兽果将乎同样舅级别透的处纱理器坛放在拌一起吨装运锐。顾零售窄包装法:制璃造、升测试欢完毕跳的处稿理器护要么翠批量砌交付克给惊OE誉M把厂商断,要纲么放荡在包请装盒柱里进熔入零驻售市翻场。侧这里功还是吗以辟Co泪re禁 i兆7裕为例扔。久第十奉阶段尊合影

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