《场发射扫描电镜操作规程》由会员分享，可在线阅读，更多相关《场发射扫描电镜操作规程（5页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、场发射扫描电镜操作规程、操作流程1 .打开电脑，启动Windows 2000操作系统。2 .双击桌面上的“JEOL PC-SEM 6700图标，进入扫描程序界面。3 .点击工具栏中的“Tool”按钮，弹出“Maintenance窗口，打开“Gun/ PMT / Vac标签，查看真空室和过渡室的真空度是否在指定范围（枪室真空度不能小于5x10-8 ,过渡 室真空度不能小于5x10-6），打开“Instrument Flash”标签，点击Normal Flash选项，清 除枪表面吸附的气体等杂质。4 .确认工具栏中的加速电压按钮“HT”为兰色，选择“ Stage菜单下的“ Excha nge”（或
2、点击工具栏中的Speciman Exchange按钮），打开Sample Exchange窗口，选择要使用 的样品夹，点击Excha nge 1。5 .旋转工作距离旋钮使WD为8mm，倾斜角为0o，当屏幕左下角指示的样品台的位置显示为“X=35.0, Y=25.0, R=0且样品室操作面板上的“EVAC”和“EXCH POSN指示灯 亮时，按“VENT 指示灯，该灯闪烁，氮气进入样品交换室。6.当样品室操作面板上的“VENT 指示灯停止闪烁保持一直亮的状态时，打开样品交换室。7 .将样品固定到样品夹上，滑动进入样品夹夹具中，关闭样品交换室。8 .按样品室操作面板上的“EVAC”指示灯，开始抽真
3、空，该指示灯闪烁，等样品交换室达到一定真空度后，该指示灯停止闪烁保持一直亮的状态。9 倾斜样品交换杆使其保持水平，然后插入到样品室，当样品室操作面板上的“HLDR”指示 灯变亮时，表明样品已经进入样品室。10 水平抽出样品交换杆至杆末端完全离开导槽后，倾斜样品交换杆，此时工具栏中的加速 电压按钮“HT”变为黑色。11 .当加速电压按钮“HT”变为兰色时，打开加速电压，按钮“HT”变为绿色。根据试样设置加 速电压(0.530KV),工作距离(1.5, 2, 3, 6, & 15mm )，探针电流值。12 当发射电流值为10pA时，打开枪阀，扫描开始。13 调节操作面板上的放大倍数，焦距，亮度，对
4、比度，像散等旋钮，获得清晰的图像。14 按操作面板上的“Freeze”按钮，锁住图像。15 .点击“File菜单下的“Image File Handling选项，打开“Load/Save/Print Image窗口。16点击“ Export”或“Save”按钮，输入文件名及有关信息后，点击“ Save ”按钮，则样品的图 像被存储在文件中。17 停止扫描要先关闭枪阀，再关闭加速电压。18 确认工具栏中的加速电压按钮“HT”为兰色，选择“Stage菜单下的“Exchange”选项，打 开“Sample Exchange窗口，选择使用的样品夹，点击“Exchange 1”。19 旋转工作距离旋钮使
5、WD为8mm，倾斜角为0o，当屏幕左下角指示的样品台的位置显 示为“X=35.0, Y=25.0, R=0且样品室操作面板上的“EVAC”和“EXCH POSN指示灯亮时， 按“VENT”指示灯，该灯闪烁，氮气进入样品交换室。20.当样品室操作面板上的“VENT”指示灯停止闪烁保持一直亮的状态时，打开样品交换室， 取出样品夹。21 .按样品室操作面板上的“EVAC”指示灯，使样品交换室保持真空状态。22 选择菜单栏中的“File”菜单下的“Exit”选项，退出扫描程序。23 关闭电脑。二、注意事项：1 .做完“Flash30秒后，才可以进行扫描操作；先做“Normal Flash再做“Stro
6、ng Flash 且两次Flash之间要间隔30秒以上。2 做完“Flash”后首次开加速电压，电压值应从0.5KV开始逐步加大，步长小于4KV，并且 要等发射电流值为10MA时，才能改变加速电压。3样品表面最高不能超过样品台6mm，并且在超过样品台表面一定高度后，设置的工作距 离要相应加上该高度值。例如：想观察一定电压下工作距离为3mm时的图像，而样品表面 高过样品台2mm，则要调节工作距离旋钮，使工作距离值为5mm。4 扫描样品时要先开加速电压，等发射电流值为10pA时再开枪阀，扫描结束后要先关闭枪 阀，再关加速电压。5 测试弱磁性的样品，放样品和取样品时要打开操作面板上的“Low Mag按钮以减小物镜磁 性，并且工作距离要在8mm以上。6测试样品一定要固定好以防掉入样品室。天津理工大学材料科学与工程学院2004 年 3 月场发射扫描电镜操作规程1.打开电脑，启动扫描程序。2.将待测样品固定到样品夹上，送入样品室。3.设置合适的加速电压、工作距离，对样品表面进行扫描观测。4.调节操作面板上的放大倍数，焦距，亮度，对比度，像散等旋钮，获得清晰的样品图像。5.保存样品图像。6.测试完毕，关闭加速电压，从样品室取出样品。7.退出扫描程序，关闭电脑。
