《界面操作手册.doc》由会员分享，可在线阅读，更多相关《界面操作手册.doc（35页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、 全自动界面操作手册 REV. HXSC_A1.HA02（TDR-80A-ZJS/TDR-85A-ZJS/TDR-95A-ZJS适用） 2008年11月杭 州 慧 翔 电 液 技 术 开 发 有 限 公 司HangZhou HuiXiang Electro-Hydraulic Technology Development Co.Ltd目 录介绍. . . . . .3炉体控制. . . . .4晶体、坩埚提升运动控制界面. . . .5晶体、坩埚旋转运动控制界面. . . .5坩埚自动定位界面. . . . . 6加热功率控制界面. . . . . 6等径闭环界面. . . . . 7热场温度
2、控制界面. . . . . 7温度闭环参数设置界面. . . . . 8热场温升控制界面. . . . . 8液面温度控制界面. . . . . 8生长控制界面. . . . . 9坩埚跟踪控制界面. . . . . 9压力控制界面. . . . . 10自动工艺选择. . . . . 10氩气、真空控制. . . . . . 11曲线数据. . . . .12曲线数据选择. . . 13工艺参数. . . . .14下载SOP说明. . . . . 18辅助功能. . . . .19硅晶体重量长度计算. . . . . .19大气压力设定. . . . . .20液面温度校正. . . . . .20热场温度校正. . . . . .21晶体、坩埚行程设置. . . . . .21晶体、坩埚位置设置. . . . . .22日期修改. . . . . .23系统参数. . . . . .23注册. . . . . . .24CCD设置. . . . . .24切换显示. . . . .25系统维护. . . . .26开关量输入输出. . . .26模拟量输入输出. . . .26工艺设置. . . . .27生长记录. . . . .28图象系统. . . . .29功能描述. . . . .29硬件构成. .
