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1、实验报告学院：专业：班级：姓名学号实验组实验时间10/5/12指导教师成绩实验项目扫描电镜名称1）2）结合扫描电镜实物，介绍其基本结构和工作原理，加深对扫描电镜结构及原 理的了解。选用合适的样品，通过对样品形貌衬度和原子序数衬度的观察，了解扫描电 镜图像衬度原理及其应用。1）简述扫描电镜的基本结构及特点。2）举例说明扫描电镜表明形貌衬度和原子序数衬度的应用。在扫描电镜中，成象的信息主要是电子信息，根据近代的电子工业技术水平,即使高速变化的电子信息，也能毫不困难的及时接收、处理和储存，故可进行些动态过程的观察，如果在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件，则可以通过电视装置，观察相变
2、、断烈等动态的变化过程。用扫描电镜观察厚块试样更有利，更能得到真实的试样表面资料。扫描电镜主要有真空系统，电子束系统以及成像系统。真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电磁透镜：热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子枪的扫描电镜上，电磁透镜必不可少。通常会装配两组：汇聚透镜、物镜（物镜为真空柱中最下方的一个电磁透镜，它负责将电子束的焦点汇聚到样品表）。电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及线等一系列信号。所以需要不同的探测
3、器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。工作原理：右图是扫描电镜的原理示意图。由最上边电子枪发射出来的电 子束，经栅极聚Iff扫描电镜原理示意图焦后，在加速电压作用下，经过二至三个电磁透镜所组成的电子光学系统，电子束会聚成一个细的电子束聚焦在样品表面。在末级透镜上边装有扫描线圈， 在它的作用下使电子束在样品表面扫描。 由于高能电子束与样品物质的交互作用， 结果产生了各种信息：二次电子、背反射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子、阴极发光和透射电子等。这些信号被相应的接收器接收，经放大后送到显像管的 栅极上，调制显像管的亮度。由于经过扫描线圈上的电流是与显像管相应的亮度 一一对应，也就是说，电子束打到样品上一点时，在显像管荧光屏上就出现一个亮点。扫描电镜就是这样采用逐点成像的方法，把样品表面不同的特征，按顺序, 成比例地转换为视频信号，完成一帧图像，从而使我们在荧光屏上观察到样品表 面的各种特征图像。实 验电子扫描显微镜、试样、导电胶 仪一、制作好试样、打开电子扫描电镜、用导电胶固定试样在载物台上三、放好试样后，抽真空，调整试样的距离、扫描的衬度和最佳倍数 四、选择不同倍数，照像
