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1、清洗：1，槽内内换液流流程，包包括开始始通知哪哪些部门门，准确确的联系系方式，由由谁负责责，排液液，加液液时间到到正常开开始生产产整个过过程等。机器槽内内换液必必须通知知水站，告告知自己己所在部部门、线线别及要要换排哪哪几种液液，由工工序长负负责排液液，加液液由工艺艺完成，液液加完以以后，试试投一片片，测试试减薄量量的大小小，能否否正常生生产。2，每个个槽内换换液的周周期，和和时间点点。碱槽、酸酸槽244小时一一次，33、5、77水槽112小时时一次，制制绒槽110天一一次。3，液用用完后如如何确保保连续生生产，员员工如何何知道液液用完。液用完后后立即进进行更换换，员工工在生产产当中会会根据报
2、报警信息息的内容容，告之之工序长长。4，物料料员关于于目前化化学品如如何领用用，区分分，管理理。物料员是是根据少少量多次次，单一一品种，双双人领用用和专用用领料车车并佩戴戴防护用用品，按按酸碱和和易燃易易爆化学学品不能能储藏在在同一贮贮藏室的的原则实实行分开开和专人人管理。5，三楼楼处集中中换液的的流程，每每种化学学品一般般更换的的周期（每每桶）。要点:两两人.一一人换液液,一人人监督.换液人人员穿戴戴好防护护用具：双层乳乳胶手套套,戴好好防毒面面具,穿穿好防酸酸服,穿穿好防护护靴.a.设备备报警后后确定集集中供液液需要更更换的化化学品桶桶。b.将集集中供液液显示屏屏操界面面中需要要更换的的化
3、学品品桶显示示状况由由“ A线线启用/B线启启用”切换为为“A线停停止/BB线停止止”c.关闭闭进液管管和回流流管阀门门。d.拆卸卸回流阀阀下端的的回流管管,（用用扳手将将空桶回回流口拧拧紧）将将回流管管取下，放放置于指指定区域域。e.将进进液管从从空桶进进液口处处进行拆拆卸,使使其与空空桶脱离离.将空空桶拉出出至指定定区域放放好.同同时将该该液的满满桶运送送上来,使其进进液口,回液口口与进液液管,回回液管阀阀门位置置上下相相对应.f.打开开满桶的的回液口口,将回回液管下下端插入入.同时时将其上上端与回回液阀接接口拧紧紧.g.打开开满桶的的进液口口,将进进液管接接上,拧拧紧.h.确认认各接口口
4、是否拧拧紧.( 进液液口;回回液口;进液管管;回液液管;阀阀门).i.将进进液阀完完全打开开,将回回液阀打打开与水水平方向向呈300445度角角即可。j.将集集中供液液显示屏屏操界面面的显示示状况由由“A线停停止/BB线停止止”切换到到“A线启启用/BB线启用用” 观察察集中供供液系统统，确保保无异常常，即可可恢复生生产。k,确认认化学品品，放置置化学品品，将满满桶回流流盖松开开，接入入回流及及抽液管管，检查查密封圈圈，接抽抽液管，检检查各接接口，关关闭工艺艺窗。l,换液液完复位位液位，确确认集中中供液机机工作，放放置防护护服，并并记录让让领班确确认并签签字。 HHF（一一天） HNOO3（两
5、两天） NAOOH（一一天） HCLL（两天天）6，上下下道碎片片如何区区分，区区分的作作用。清洗上道道和下道道的碎片片是分开开记录，分分开包的的。上道道的碎片片是原装装碎、隐隐、裂缺缺角，崩崩边等它它是制绒绒前碎片片。下道道碎片是是经过制制绒后的的碎片，一一般是机机碎，隐隐裂或人人为造成成的。它它们区分分的作用用是：便便于回收收。7，设备备故障达达到什么么程度需需要向上上汇报。因设备故故障3分分钟内不不能处理理，立即即通知设设备和领领班。达达到半小小时后要要通知当当班主管管，超过过1个时时间通知知区域主主管，超超过2小小时区域域主管通通知高级级主管。然然后由高高级主管管通知经经理。由由设备开
6、开设备维维修单。8，如果果不合格格片退库库，手续续如何办办理？如果因原原材料硅硅片不合合格，异异常缺陷陷，首先先保护好好现场，然然后找巡巡检过来来拍照取取证，把把材料交交给领班班，由领领班退库库，由领班和和巡检交交涉退库库事项。9，清洗洗间每条条线每个个班要求求的产量量，在制制品要求求的上下下限，工工艺允许许在制品品的等待待时间是是多长。清洗间每每条线每每个班的的产量现现在是1135000PCCS，在在制品的的上下限限，是44张流程程卡，但但如有特特殊情况况，根据据情况来来逐量增增加，工工艺允许许在制品品的等待待时间是是越短越越好。10，减减薄量的的控制。工艺要求求:0.300.4gg通过速度
7、度V来控控制减薄薄量,公公式: M1 * VV1 = M2 * VV2通过添加加HNOO3/HHF来提提高减薄薄量(比比例:00.5LL/1L),每添加加0.55L HHNO33减薄量量提升00.022G通过控制制药水自自动调加加速率来来改变减减薄量大大小,例例如 5500ppcs/0.55L改成成 4550 ppcs/0.55L,则则减薄量量增加00.022G11，制制绒后绒绒面观测测比较步骤: 取较大大碎硅片片,过清清洗线四四次,并并用显微微镜观察察绒面状状况 结果: 未过清清洗线的的硅片表表面无绒绒面,随随着清洗洗次数增增加绒面面越大。扩散：1，换源源流程？生产过程程中要经经常观看看源瓶
8、状状态，待待源瓶内内液位低低于2CCM时即即需换源源，先需需电话通通知巡检检人员到到场，换换源人员员要穿防防酸服，防防酸裤，戴戴防毒面面具及汗汗布手套套和乳胶胶手套，将将气源柜柜内快使使用完的的源瓶拆拆卸下来来，拆卸卸时注意意先关闭闭进气阀阀门后关关闭出气气阀门，然然后将源源瓶放至至扩散间间源瓶贮贮存室并并登记。接接下来便便可取新新源瓶，先先检查外外观是否否正常，然然后依次次拧开出出气阀门门和进气气阀门，观观看瓶内内液柱是是否有异异常，待待巡检人人员检查查完毕后后再将阀阀门拧紧紧，然后后用推车车推至车车间进行行安装，先先将源瓶瓶阀门再再拧开，然然后先接接出气管管再接进进气管，完完成后即即进行鼓
9、鼓泡实验验，将扩扩散小氮氮流量打打到5000，鼓鼓泡100秒钟，再再将流量量打到110000，鼓泡泡10秒秒钟，一一切正常常后再将将流量恢恢复为00，然后后将源瓶瓶放置到到位，再再将换源源登记填填写好，换换源完成成。2，如何何确保源源的先进进先出？扩散间源源瓶贮存存室内的的源瓶分分两个位位置放置置，后入入部分和和先入部部分，取取源瓶时时应从先先入部分分取，待待先入部部分全部部使用完完后，将将后入部部分标识识牌调换换成先入入部分，这这样便可可确保源源瓶的先先进先出出。3，换源源需要做做哪些安安全防护护措施？穿防酸服服，防酸酸裤，戴戴防毒面面具，双双手要戴戴汗布手手套和乳乳胶手套套，必要要时还需需
10、穿防酸酸筒靴。4，什么么“五双”制度？双人使用用，双人人保管，双双人维护护，双把把锁，双双本账。5，开管管式扩散散炉与闭闭管式扩扩散炉的的不同？优点？缺点？开管式扩扩散炉一一般是指指以前老老厂使用用的老式式设备，其其炉门较较简陋，没没有安装装石棉保保温隔热热层，硅硅片放置置在浆上上后需在在两端都都放置石石英档板板。闭管管式扩散散炉即指指现在三三楼使用用的新式式设备，炉炉门处安安装有石石棉保温温隔热装装置，炉炉内只需需放置一一个石英英档板。6，方块块电阻与与温度的的关系？并且如如何调整整设备参参数。方块电阻阻值与温温度是成成反比的的关系，若若方块电电阻偏低低则说明明炉内温温度偏高高，此时时需将温
11、温度调低低，若方方块电阻阻偏高则则说明炉炉内温度度偏低，此此时需将将温度调调高。正正常的方方块电阻阻值是443-448区间间，调整整温度时时一度温温度对应应一度电电阻，最最大调整整幅度不不宜超过过5度。7，各温温区之间间的温度度差极限限值？炉内温区区大体分分为炉口口，炉中中，炉内内三个部部分，在在操作界界面上又又被细分分为5个个部分，其其中温区区一和温温区二显显示的是是炉口部部分的数数值，温温区三显显示的是是炉中部部分的数数值，温温区四和和温区五五显示的的是炉内内部分的的数值，各各大温区区间的温温度差极极限值不不宜超过过30度度，各小小温区不不宜超过过10度度。8，什么么是拉恒恒温？先设定恒恒
12、温8550度，待待温控器器显示与与设定温温度一致致时，便便可根据据炉尾热热电偶所所在位置置查看实实际温度度，热电电偶与炉炉体对应应的位置置分别为为：炉口口30CCM，炉炉中700CM，炉炉内1110CMM，当热热电偶测测得实际际温度低低于8550度时时，则降降PB数数值，实实际温度度就会开开上来，当当热电偶偶测得温温度高于于8500度时，则则应加PPB数值值，实际际温度就就会降下下来。9，洗管管、洗舟舟的流程程，配液液比，以以及维护护的周期期，由谁谁负责？洗管，洗洗舟的流流程是，首首先应通通知设备备人员将将石英管管从扩散散炉内取取出来放放置在专专用的推推槽内，然然后推运运到洗管管间内，再再将清
13、洗洗机内残残留的杂杂质和水水份排干干净，关关闭阀门门后接着着便往清清洗机内内放水至至20-30CCM，然然后便开开始向机机槽内配配HF，HHCL，再再将石英英管放入入液体中中依操作作说明进进行清洗洗流程，有有喷淋，鼓鼓泡，转转洗三个个过程，待待流程完完成后，将将液排至至另一边边槽内，然然后再用用水枪对对石英管管进行水水洗，最最后再用用气枪将将石英管管吹干，即即可通知知设备将将石英管管安装回回扩散炉炉。清洗石英英管和SSTC桨桨的配液液比是：HF（32L）；HCL（8L）= 4：1清洗石英英舟的配配比是：HF(16LL)；HHCL（8L）= 2：1石英管、SSTC桨桨及石英英舟的维维护由工工艺人
14、员员负责。10，方方块电阻阻不均匀匀度的计计算方式式？测方块电电阻是在在炉口、炉炉中、炉炉内、三三个位置置各取两两片，测测其中间间部位的的电阻值值，取六六片中电电阻最大大值减去去最小电电阻值，再再除以最最大电阻阻值加最最小电阻阻值，即即可得出出其不均均匀度。11，新新式舟与与旧式舟舟的区别别？新式舟每每舟可装装1500PCSS硅片，硅硅片是朝朝负斜方方向放置置的，旧旧式舟每每舟可装装3000PCSS硅片，是是垂直放放置的。12，偏偏磷酸的的产生？处理？偏磷酸是是由于PPCL33与硅片片上残留留的水份份及进出出管时空空气中的的水汽反反应生成成的，现现在每个个炉管都都装有不不锈钢槽槽盛偏磷磷酸，每
15、每班在下下班前都都会用酒酒精和碎碎布将其其清理干干净。13，一一旦发生生POCCL3泄泄露如何何处理？ A，先先紧急疏疏散人员员并隔离离封锁受受到危害害的区域域，同时时迅速通通知安全全部门； B，限限制闲杂杂人员及及未穿防防护装束束人员接接近；C，进入入危险区区域观察察前，空空气呼吸吸器和个个人防护护装束必必须穿戴戴完整；D，污染染区未完完全清理理前，限限制人员员接近，直直至完全全清理干干净为止止。14，TTCA22+1、44+1、88+1的的区别？什么是是TCAA，是什什么饱和和？作用用是什么么？为什什么不再再继续做做TCAA而只做做饱和？TCA（CC2H33CL33）三氯氯乙烷，是是指用TTCA进进行清洗洗操作，清清洗掉石石英管内内的金属属杂质，饱饱和是指指模拟一一次扩散散过程，使使石英管管内充满满磷元素素，这样样会使生生产时硅硅片的扩扩散更充充分更均均匀。22+1是是指先做做两个小小时的TTCA清清洗，然然后再做做一个小小时的饱饱和，依依次类推推：4+1和88+1。15，扩扩散的舟舟速扩散进管管和出管管的舟速速是2550M/H或3300MM/H。16，什什么叫硅硅晶脱落落？什么么叫崩边边？中间间裂纹？对角裂裂纹？十十字裂纹纹？如何何确认扩扩散前产产生的裂裂纹还是是扩散后后产生的的裂纹硅晶脱落落是指在在硅片表表面四边边有硅晶晶体脱落落，但没没有达到到缺角
