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1、建设项目环境影响报告表项 目 名 称:薄膜电路配套光刻药液研制项目 建设单位 (盖章): 绵阳致知高科技有限责任公司编制日期:2021 年 02 月国家生态环境部制四川省生态环境厅印建设项目环境影响报告表编制说明建设项目环境影响报告表由具有从事环境影响评价资质的单位编制。1、项目名称指项目立项批复时的名称, 应不超过 30 个字(两个英文字段作一个汉字)。2、建设地点指项目所在地详细地址,公路、铁路应填写起止终点。3、行业类别按国标填写。4、总投资指项目投资总额。5、主要环境保护目标指项目区周围一定范围内集中居民住宅区、学校、医院、保护文物、风景名胜区、水源地和生态敏感点等,应尽可能给出保护目
2、标、性质、规模和距厂界距离等。6、结论与建议给出本项目规划符合性、清洁生产、达标排放和总量控制的分析结论, 确定污染防治措施的有效性, 说明本项目对环境造成的影响, 给出建设项目环境可行性的明确结论。同时提出减少环境影响的其他建议。7、预审意见 由行业主管部门填写答复意见,无主管部门项目,不填。8、审批意见 由负责审批该项目的环境保护行政主管部门批复。绵阳致知高新科技有限责任公司薄膜电路配套光刻药液研制项目环境影响报告表建设项目基本情况(表一)项目名称薄膜电路配套光刻药液研制项目建设单位绵阳致知高新科技有限责任公司法人代表联系人通讯地址绵阳市经开区贾家店街 89 号联系电话*邮政编码62100
3、0建设地点绵阳市经开区文武中路 218 号 7 栋 5 层立项审批部门绵阳市经济技术开发区经济 发展和科学技术局批准文号川投资备【2020-510796-73-03-472278】FGQB-0101 号建设性质新建 改扩建技改行业类别及代码C2669其他专用化学产品制造占地面积(m2 )897绿化面积(m2 )/总投资(万元)110其中:环保投 资(万元)12环保投资占总 投资比例10.91%评价经费(万元)/预期投产日期2021 年 06 月由于法人代表、联系人和联系方式等涉及到个人隐私,因此本公示本将其删除。 项目内容及规模:一、建设项目由来MEMS 是微机电系统(Micro-Electr
4、o-Mechanical Systems)的英文缩写。它是指可批量制 作的, 集微型结构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通信和电源于 一体的微型器件或系统。 MEMS 是随着半导体集成电路、微细加工技术和超精密机械加工技 术的发展而发展起来的,目前 MEMS 还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而 进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 MEMS 由硅片、 Al2O3 瓷片、 AlN 瓷片等基片 上溅射金属薄膜, 采用光刻各向异性刻蚀工艺制造而成, 具有尺寸小, 重量轻、成本低、可靠 性高、抗振动冲击能力强以及易批量生产等优点。MEMS 技术的发展开辟了一个
5、全新的技术 领域和产业,采用 MEMS 技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、 微机械光学器件、真 空微电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事等领域都有着十分广阔的应 用前景。由于我国 MEMS 行业正处于发展初期,市场需求增长非常迅速,但是配套的高端光刻药 液却依赖于进口。近年来, 我国通过不断地自主研究和引进技术, 逐步实现了部分药液配方及四川百翔嘉润环保科技有限公司第1页绵阳致知高新科技有限责任公司薄膜电路配套光刻药液研制项目环境影响报告表生产工艺的技术突破。而随着经济可持续发展,光刻药液在 MEMS 行业的需求量将会逐步加 大。绵阳致知高新科技有限责任公司成立于 20
6、14 年 7 月, 注册资本 500 万元, 公司位于绵阳 市经开区贾家店街 89 号。公司自成立起一直从事光刻药液的研发、生产和服务, 经过近 2 年 的研发探索,设计出独有的产品配方、生产工艺和控制指标。基于市场需求和企业自身发展, 绵阳致知高新科技有限责任公司拟在绵阳经开区积家工业园二期内, 实施“薄膜电路配套光刻 药液研制项目”(以下简称“本项目或项目”) ,购置和安装混料罐、过滤器、纯水机等主要 生产设备,建设一条薄膜电路光刻药液的研发生产线 (属于生产线) ,设计生产能力 20.5t/年 薄膜电路光刻药液。 本项目性质为新建。厂房出租房环保手续履行情况:本项目租用的厂房为绵阳市经开
7、区积家工业园投资有限公 司已建的二期标准厂房,该标准厂房已于 2018 年 05 月办理了环评登记表,具体见附件 4。根据中华人民共和国环境保护法、中华人民共和国环境影响评价法以及中华人 民共和国国务院令第 682 号 建设项目环境保护管理条例的要求,建设项目应进行环境影 响评价。对照建设项目环境影响评价分类管理名录 (2021 版) ,本项目属于“二十三、 化学原料和化学制品制造业 26 ,44.基础化学原料制造 261;农药制造 263;涂料、油墨、颜 料及类似产品制造 264;合成材料制造 265 ;专用化学产品制造 266;炸药、火工及焰火产品 制造 267”中“单纯物理分离、物理提纯
8、、混合、分装的 (不产生废水或挥发性有机物的除外) ” 类项目,因此项目应编制环境影响报告表。为此, 绵阳致知高新科技有限责任公司委托四川百翔嘉润环保科技有限公司承接本项目 环评报告编制工作。我公司接受委托后,立即组织有关技术人员对工程场址及其周围环境进 行详尽的实地勘查和相关资料的收集、核实与分析工作,按照环境影响评价技术导则所 规定的原则、方法、内容及要求,编制本建设项目环境影响报告表,供生态环境主管部门审 查批准。二、产业政策符合性分析根据国民经济行业分类 (GB/T4754-2017) 及其第 1 号修改单,本项目属于其他专用 化学产品制造,项目代码为 C2669。根据中华人民共和国国
9、家发展和改革委员会令第 29 号产 业结构调整指导目录(2019 年本) (2020 年 1 月实施) ,本项目不属于其中的鼓励类、限 制类和淘汰类,根据促进产业结构调整暂行规定(国发200540 号) 第十三条: 产业结构调整指导目录由鼓励、限制和淘汰三类目录组成, 不属于鼓励类、限制类和淘汰类, 且符四川百翔嘉润环保科技有限公司第2页绵阳致知高新科技有限责任公司薄膜电路配套光刻药液研制项目环境影响报告表合国家有关法律、法规和政策规定的,为允许类。因此本项目属于“允许类”。同时, 2020 年 6 月 18 日绵阳经济技术开发区经济发展和科学技术局为本项目出具了四 川省固定资产投资项目备案表
10、(备案号: 川投资备【2020-510796-73-03-472278】FGQB-0101 号), 同意备案 (详见附件 2) 。因此,本项目的建设符合国家现行产业政策。三、 规划符合性分析1 、项目建设规划选址符合性分析本项目选址于绵阳经开区积家工业园内, 不新增土地, 租赁已建标准厂房。根据绵阳市 城市总体规划(2010-2020) 及绵阳市经开-小枧片区控制性详细规划(修编) ,项目建 设用地性质规划为工业用地(详见附图 2) 。因此,本项目建设选址符合绵阳市用地规划。2 、项目与绵阳经济技术开发区规划符合性分析根据附图 2-3 可知, 本项目选址于绵阳经开区内。绵阳市经开区管委会委托西
11、南交通大学 完成了绵阳经济技术开发区产业发展园区规划环境影响报告书的编制, 并于 2015 年 12 月 11 日取得了关于绵阳经济技术开发区产业发展园区规划环境影响报告书审查意见的函(川环建函2015176 号) ,见附件 5 。本项目与园区规划环评及审查意见符合性分析如下:表 1-1 项目与园区规划符合性分析一览表项目园区规划本项目情况符合性产业定 位以数字家电、化工、环保与机械制造为主导产业,大 力发展新一代信息技术、节能环保、新材料、包装、 物流和机械制造等战略性新兴产业。本项目为其他专用化 学产品制造,属于化 工项目。符合鼓励入 园行业1 、符合园区主导产业的项目; 2、与园区主导产
12、业向配套产业, 企业效益明显, 对区 域不造成明显污染,遵循清洁生产及循环经济的项目。本项目属于化工项 目, 符合园区主导产业的项目。符合禁止发展的行业1 、不符合产业政策及行业准入条件的项目; 2 、禁止引入皮革、屠宰、造纸、制药、印染、焦化、 黄磷、冶金类企业。本项目符合国家产业政策, 不属于园区禁止引入行业不符合清洁生 产要求入园企业必须采用国际、国内先进水平的生产工艺、 设备及污染治理技术,能耗、物料水耗等均应达到相 应行业的清洁生产水平二级或国内先进水平。本项目清洁生产水平 达到国内先进水平符合由上表可知,本项目为其他专用化学产品制造, 属于化工项目, 符合园区产业定位, 属于 园区
13、鼓励入园行业。本项目采用的工艺先进, 无生产废水产生, 废气经治理后污染物排放量小,符合园区清洁生产要求。四川百翔嘉润环保科技有限公司第3页绵阳致知高新科技有限责任公司薄膜电路配套光刻药液研制项目环境影响报告表因此,本项目建设符合绵阳经济技术开发区规划。3、与“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案符合性分析为了加强挥发性有机物(VOCs)污染防治工作,强化重点地区、重点行业、重点污染物 的减排, 提高管理的科学性、针对性和有效性, 遏制臭氧上升势头, 促进环境空气质量持续改 善, 2017 年 9 月,环境保护部联合国家发展和改革委员会、财政部、交通运输部、国家质量 监督检验检疫总局、国家能源
14、局发布了“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案(以下简 称方案)。本项目生产薄膜电路光刻药液, 属于其他专用化学产品制造,与“十三五”挥发性有机物 污染防治工作方案的符合性分析见下表。表 1-2 本项目与方案相关要求的符合性分析序 号方案规定本项目基本情况符合性分析项目主要内容1VOCs 防 治重点 地区京津冀及周边、长三角、珠三角、成 渝、武汉及其周边、辽宁中部、陕西 关中、长株潭等区域,涉及北京、天 津、河北、辽宁、上海、江苏、浙江、 安徽、山东、河南、广东、湖北、湖 南、重庆、四川、陕西等 16 个省(市)本项目位于四川省绵阳市。属于 VOCs防治重点地区2VOCs 防 治重点 行业重点推进石化、化工、包装印刷、工 业涂装等重点行业以及机动车、油品 储运销等交通源 VOCs 污染防治本项目属于精细化工。属于 VOCs防治重点行业3重点污染物加强活性强的 VOCs 排放控制, 主要 为芳香烃、烯烃、炔烃、醛类等本项目使用的含 VOCs 物料,主 要为醚类、醇类,不包含重点污 染物。不符合4环境准 入要求提高 VOC