洁净室检测洁净室检测报告

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1、洁净室检测洁净室检测报告洁净室检测篇一:洁净室各项目检测方法总结高效过滤器检漏一、说明过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，最复杂、最耗时间的测量项 目。泄漏测试的目的，是要确认：1. 滤网的材料无破损，2. 安装恰当。滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无 损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确 认滤材无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，微粒会从边框漏进无尘室风 口。就算是 FFU 系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后仍旧会 产生问题。因此，边框扫描一样重要。 滤网泄漏测试基本上是上游的颗 粒，然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏

2、。泄漏测试有 几种不同的方式，适用在不同的场合。测试方式有：1. 气胶光度计测试法， 2. 微粒计数器测试法， 3. 全效率测试法，4. 外气测试法。后两种现在使用非常少。二、方法气溶胶光度计测试法气胶光度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今 天仍旧沿用。气胶光度计( Aerosol Photometer )是微粒计数器的一 种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微 粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用 PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无 尘室的微粒，因此被当成验证微粒。 微粒计数器测试法半导体

3、业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着 制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用 干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻 找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因 为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前最广为使用的标准微粒。使用 时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可PAO/DOP 过滤器检漏一. 说明气胶光度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今 天仍旧沿用。气胶光度计(Aer osol Photomete r)是微粒计数器的一种， 也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的

4、微粒之后，所给的是微粒的 总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，加压或加热雾化 之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来仿真无尘室的微粒，因此被当 成验证微粒。1 泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶光度计可以直接 显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可 靠，美国食品与药品管制局(FDA)规定，在其管辖范围内(食品加工场 所与医疗制药场所)，所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶光度计。 近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO。PAO和DOP 的特性类似，使用上无多大差异。二. 测试仪器1本测试法使用仪器为气胶光度计(Ae roso

5、l Photomete r)与微粒产 生器(Aerosol Generator)。气胶光度计的显示版有模拟与数字两种，每 年必须校正一次。微粒产生器有两种，一种是普通的微粒产生器，只要求 高压空气，另一种是加热型微粒产生器，要高压空气和电源，微粒产生器 不需要校正。三. 测试方式滤网泄漏测试的步骤，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫 描以发现泄漏、更换或修补、重测，其步骤说明如下在图面上记录滤网数量并编号。 确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。使用气胶产生器在上游施放挑战微粒，将PAO打入滤网上游，微粒 浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多 愈

6、容易找出 泄漏，但是超过50微克以后差别不大，少于10则很难使用。微粒浓度可 用风量粗略计算，再用气胶光度计确认。上游微粒浓度确认后，就可以在滤网表面扫描，寻找泄漏，必要时滤 网四周可用塑料帘覆盖以确保测试之准确在滤网表面扫描，扫描之路径可由外而内或沿长/短边迂回检测.洁净度测试一、说明洁净度测试是无尘室性能测试的核心，气流测试、压力测试，与泄漏 测试，都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响，因此洁净度测试都放在 前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕，与落尘有关的性能因素就都 测试完毕，其它测试对洁净度影响不大，或是属于其它环境测试。二、测试仪器洁净度测试使用微粒计数器，仪器须经校正合格且仍在

7、有效期限内， 交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格，最常见的是流 量 1cfm ，最小粒径可测到 0.3mm 或是 0.1mm ，单位多是立方英呎。 至于应使用何种设备，要依业主的规范而定。一般在产业界，多依以下方 式选择微粒计数器。Class 1000 或更髙：0.5|amClass 100 :0.3|am , 0.5umClass 1 至H Class 10 : 0.1m若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围，则应该使用两 部微粒计数器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器，因此若是无尘室 的洁净度是以 ISO 为基准，则要把结果作换算。单位换算，不影响上限 的计算程序

8、。 三、测试步骤：(1) 确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄漏测试 均已完成，并已修换破损部分。(2) 确认测试位置与测试点数。(3) 取样时间：每点的取样时间依照等级与粒径不同而异，若取样时 间小于一分钟，则以一分钟为准。(4) 测试位置应均匀分布在无尘室内，避免在产生大量粒子之附近， 且将检测仪器以适当之架台支撑，不可以手持支撑。(5) 测量点数以公式计算(与 209E 相同)。四、验收标准： 洁净度的验收基准有二，首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定 值。洁净度的第二个验收基准就是，任一隔间若需使用信赖度上限分析， 则该分析值也必须小于规定值。风速及平衡性测试一、测试目

9、的气流是控制洁净度与温湿度的最主要因素，它对噪音也有一些影响。 因此风速测量，都是放在无尘室测试的第一步。风速测量的目的，是确认 滤网送出的气流满足设计规范，其次是确认气流的均匀度。在某些场合可 能因现场的限制，室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。单一流向型无尘室，很多都是设计成垂直层流，因此风速均匀度非常 重要，只有均匀的垂直层流，才能有效排除微粒污染。非单一流向型无尘 室，由于微粒控制的观念是稀释，不是立即排除，一般而言其换气量远比 风速重要。但是需注明是滤网风速测量或是无尘室室内风速测量。二、使用仪器无尘室里面使用的 HEPA/ULPA 滤网，其送出气流的速度多半都控制 在 0.5

10、m/s 以内，因此所使用的风速计必须是低速型。滤网风速测量可使 用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、热线式风速计。也可以使用 多点式风速计如 Shortridge Velgrid 16 点风速计。轮叶式风速计因使用 范围不同，通常不在无尘室内使用。热线式风速计( Hot Wire )虽然高 频响应良好，但是低速时 0.5m/s 以下 准确性很低，因此不很适 用，一般热反应风速计常用的是 Thermeister 式风速计。转轮式风速计由 于本身重量问题，也不适用低速。 检验仪器须经校正合格，且仍在有效 期限内。三、测试步骤(1) 在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。(2) 取样点位于滤网下方

11、75-150mm 处。(3) 每一个滤网下，若是使用单点式风速计，则每 1 平方英尺取一 点；若是使用多点式风速计，则每 4 平方英尺取一点。(4) 每测量点必须取 5 秒的平均。(5) 依验收标准分析所有风速，计算平均值、标准差、相对标准差， 并标明不合格测试点。(6) 记录所有原始数值，以及分析后的数值。重要的是在非单一流向 型无尘室测试时，特别注意取样时风速计不可受到干扰，以免影响准确 度。四、数据分析 风速测量很简单，但是均匀度必须由数据分析来判定。均匀度是由相 对标准差来代表，其计算步骤如下。1.平均值：2. 标准差风量及平衡性测试一、说明风量测量的目的通常是用来计算换气量，一般是在

12、非单一流向型无尘 室，或是测量空调系统中各式各样的出风口、回风口、排气口等的风量时 使用。只有在无法使用气罩的场合(气罩体积较大，有时会受限制)，才 能使用风速乘以面积等于风量的方式，用风速来换算风量。使用风速换算 风量时，须注意出风口之有效面积以及修正系数的取得。在回风口和排气 口，使用换算法的准确度非常差，应尽量避免。同样气罩通常可以测量送 风与回风，正值代表送风，负值代表回风或排气。须注意的是反向测量 时，其测量范围通常会降低。二、测试仪器风量测量应当使用气罩( Flow Measuring Hood )，气罩的测量范围 是 152500 cfm ，精确度要求为读数的 3% 。由于气罩本

13、身会产生压 损，因此其形状很重要，应尽量使用原厂气罩。若有必要自行制造罩子， 应注意气流顺畅并且做详细比对。气罩的校正非常重要，必须主机连同罩 子一起校正，才能得到准确校正值。检验时必须使用校正合格且仍在有效 期限的仪器，于正式检测前及缴交报告时均须检附合格之校正文件。三、测试步骤：(1) 在图面上记录滤网尺寸、数量并编号。(2) 使用恰当尺寸气罩将出风口完全罩住，然后测量与计录。(3) 依验收标准分析所有风量，计算平均值、标准差、相对标准差， 并标明不合格测试点。(4) 记录所有原始数值，以及分析后的数值。四、数据分析：风量均匀度的计算与风速向同，都是由相对标准差来代表，其计算步 骤如下。1

14、.平均值：将所有风测量量值取算数平均2. 标准差：计算所有风测量量值的标准差压差测试一、说明压力测量的目的是确认无尘室空调系统的压力设定。无尘室内维持相 当的正压以维持洁净度，这已经是个 mon sense ，在 209 的旧版本 中，正压有建议值，但是后来就取消了。目前常见的正压值约是 10 到 25 Pascal 之间。压力测量的时机，应该是在风速、风量、平行度等与气 流直接相关的测试结束之后立即测量，尤其不可在洁净度测量完毕之后才 测量压力。因为如果压力不对，要立刻调整以免影响洁净度。测量时，所 有门窗都必须关上，所有的风扇也必须维持正常运转。二、测试仪器 压力测量可使用倾斜管压力计，指

15、针式压力计，或是电子式压力计， 总之只要测量范围与精确度满足要求即可。压力计之精确度要求为读数的 5%，测量范围式压力设计值而定，一般05mm Aq ( 0-50 Pascal ) 即可涵盖室内外压力差之测量。仪器需经校正合格且仍在有效期限内之才 可以使用，检测前及交附报告时均须检附合格之校正文件。三、测试步骤必须在风速、风量、气流等测试完成后，才能测试压力，并且排气与MAU 要完全正常运转。全部门与开口都要关闭。室外大气压力假设为 0.0mmAq 表压力。 测定洁净区域与相邻较次级洁净区域之压差，再测量房间与 Gowning room 之间压差，最后测量 Gowning room 与外部之压

16、差。建议压差值为 512Pa ，并无强制规定。记录所有数值。温湿度检测一、说明温湿度测量的目的是确认室内之温湿度控制在范围之内，温湿度对微 粒控制没有甚么影响，因此温湿度测试属于第三级测试( Level 3 )。但 是因无尘室多半同时也是环控室，所以温湿度常常就一并测量了。温湿度 测量又分为一般测量和进阶测量( General Tests and Comprehensive Tests )，一般测量只是测量温湿度在测量点的实时数据(单一测数据)， 适用在对温湿度要求不高的场所。进阶测量就要纪录在测量点一段长时间 的温湿度，目的是要观察温湿度随时间的变化情形，以确认湿度在控制之 下。进阶测量适用在对温湿度要求比较高的场所。二